[實用新型]一種提高升華效率的真空升華舟裝置

有效

• 申請號: 201820852952.X
• 申請日: 2018-06-01
• 公開（公告）號: CN209076082U
• 公開（公告）日: 2019-07-09
• 發明（設計）人: 陳志寬;陳智學
• 申請（專利權）人: 宜興凡遠光電科技有限公司
• 主分類號: B01D7/00
• 分類號: B01D7/00
• 代理公司: 無錫華源專利商標事務所(普通合伙) 32228
• 代理人: 聶啟新

本實用新型公開了一種提高升華效率的真空升華舟裝置，包括外層石英管；外層石英管之內放置有升華舟；還包括上溫區加熱模塊和下溫區加熱模塊；所述上溫區加熱模塊和下溫區加熱模塊合并包裹在所述外層石英管之外；在上溫區加熱模塊和下溫區加熱模塊之外包裹有爐殼；在上溫區加熱模塊與外層石英管之間和/或下溫區加熱模塊與外層石英管之間安裝有嵌入式可控電磁陣列；還包括多個磁性球體；所述磁性球體均勻排列在所述升華舟的內壁上；待升華材料放置在所述升華舟之內。本實用新型增加了材料的升華面積，還可以加強熱傳遞效果，提高升華效率。

技術領域

本實用新型涉及升華裝置，具體涉及一種提高升華效率的真空升華舟裝置。

背景技術

常規的升華提純裝置，通常是材料放置在升華舟內，生華舟一端封閉，另一端設置高度為管徑1/3的擋板，升華舟后放置集料管，利用熱梯度使氣化態的材料凝固，升華舟、集料管靜止。材料通過二個方式接受熱量，一是材料底弧面接觸石英管吸收熱量及底弧面受紅外線照射吸收熱量，二是材料上平面受紅外線照射吸收熱量。只有材料的上平面是氣化面，氣化速度受到材料的氣化面的限制。材料氣化分子從高密度向低密度方向擴散，通過熱梯度路徑時釋放熱量凝固，集料管底部的凝固量較大，底部溫度較其它地方高些，凝固面逐漸變小。由于材料在升華舟中的氣化面積有限，所以嚴重影響材料升華提純的速度和效率。

實用新型內容

針對現有技術的不足，本實用新型公開了一種提高升華效率的真空升華舟裝置。

本實用新型的技術方案如下：

一種提高升華效率的真空升華舟裝置，包括外層石英管；外層石英管之內放置有升華舟；還包括上溫區加熱模塊和下溫區加熱模塊；所述上溫區加熱模塊和下溫區加熱模塊合并包裹在所述外層石英管之外；在上溫區加熱模塊和下溫區加熱模塊之外包裹有爐殼；在上溫區加熱模塊與外層石英管之間和/或下溫區加熱模塊與外層石英管之間安裝有嵌入式可控電磁陣列；還包括多個磁性球體；所述磁性球體均勻排列在所述升華舟的內壁上；待升華材料放置在所述升華舟之內。

其進一步的技術方案為，在所述磁性球體外包裹氮化硅或者石英。

本實用新型的有益技術效果是：

本實用新型在升華舟中放入磁性球體，并通過外部的可控電磁陣列的操作，來控制磁性球體的轉動和移動，則可以達到翻轉材料、增加材料的升華面積的效果，還可以加強熱傳遞效果，提高升華效率。

附圖說明

圖1是本實用新型的示意圖。

具體實施方式

圖1是本實用新型的示意圖。如圖1所示，本實用新型公開了一種提高升華效率的真空升華舟裝置。包括外層石英管4，在系統處于工作狀態時，外層石英管4是處于真空狀態的，所以外層石英管4還連接有真空泵，不斷的進行抽真空動作，使得外層石英管4保持一定的真空度。

還包括上溫區加熱模塊2和下溫區加熱模塊3。外層石英管4是圓柱體狀，上溫區加熱模塊2和下溫區加熱模塊3合并包裹在外層石英管4之外，組裝為一個整體的加熱模塊，對外層石英管4進行整體的加熱。在上溫區加熱模塊2和下溫區加熱模塊3之外包裹有爐殼1。

外層石英管4之內放置有升華舟5。

在上溫區加熱模塊2與外層石英管4之間，或者在下溫區加熱模塊3與外層石英管4之間，或者在以上兩個位置同時，安裝有嵌入式可控電磁陣列6。還包括多個磁性球體7。磁性球體7均勻排列在升華舟5的內壁上。待升華材料放置在升華舟5之內。

進一步的，可以在磁性球體7之外包裹氮化硅或者石英。