[實用新型]一種提高升華效率的真空升華舟裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201820852952.X
• 申請日: 2018-06-01
• 公開（公告）號: CN209076082U
• 公開（公告）日: 2019-07-09
• 發(fā)明（設計）人: 陳志寬;陳智學
• 申請（專利權）人: 宜興凡遠光電科技有限公司
• 主分類號: B01D7/00
• 分類號: B01D7/00
• 代理公司: 無錫華源專利商標事務所(普通合伙) 32228
• 代理人: 聶啟新

1.一種提高升華效率的真空升華舟裝置，其特征在于，包括外層石英管(4)；外層石英管(4)之內放置有升華舟(5)；還包括上溫區(qū)加熱模塊(2)和下溫區(qū)加熱模塊(3)；所述上溫區(qū)加熱模塊(2)和下溫區(qū)加熱模塊(3)合并包裹在所述外層石英管(4)之外；在上溫區(qū)加熱模塊(2)和下溫區(qū)加熱模塊(3)之外包裹有爐殼(1)；在上溫區(qū)加熱模塊(2)與外層石英管(4)之間和/或下溫區(qū)加熱模塊(3)與外層石英管(4)之間安裝有嵌入式可控電磁陣列(6)；還包括多個磁性球體(7)；所述磁性球體(7)均勻排列在所述升華舟(5)的內壁上；待升華材料放置在所述升華舟(5)之內。

2.如權利要求1所述的提高升華效率的真空升華舟裝置，其特征在于，在所述磁性球體(7)外包裹氮化硅或者石英。