[實用新型]電機驅(qū)動型硅片除塵托架

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201820852006.5
• 申請日: 2018-06-01
• 公開（公告）號: CN208208737U
• 公開（公告）日: 2018-12-07
• 發(fā)明（設計）人: 梅婕
• 申請（專利權(quán)）人: 梅婕
• 主分類號: H01L21/687
• 分類號: H01L21/687;H01L21/67
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種電機驅(qū)動型硅片除塵托架，其特征在于，包含一支架（2），所述支架（2）的底部設有多個支撐腳（3），所述支架（2）的頂部設有一第一導軌（4）和一第二導軌（5），所述第一導軌（4）和第二導軌（5）相互平行，所述第一導軌（4）和第二導軌（5）上活動連接一滑板（6），所述滑板（6）可在第一導軌（4）和第二導軌（5）上自由滑動，所述支架（2）上可轉(zhuǎn)動地設有一驅(qū)動桿（7），所述驅(qū)動桿（7）由一驅(qū)動電機（8）驅(qū)動轉(zhuǎn)動，所述驅(qū)動桿（7）的桿體布滿外螺紋，所述驅(qū)動桿（7）和滑板（6）間通過螺紋連接驅(qū)動，所述滑板（6）的上表面設有一轉(zhuǎn)盤（9），所述轉(zhuǎn)盤（9）上固定連接一第一支撐體（10）和一第二支撐體（11），所述第一支撐體（10）和第二支撐體（11）間設有一轉(zhuǎn)軸（12），所述轉(zhuǎn)軸（12）由一電機（13）驅(qū)動旋轉(zhuǎn)，所述轉(zhuǎn)軸（12）上固定連接一托盤（14），所述托盤（14）上設有多個固定插孔（15）。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電機驅(qū)動型硅片除塵托架，其特征在于，所述的轉(zhuǎn)盤（9）、第一支撐體（10）和第二支撐體（11）一體成型。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的電機驅(qū)動型硅片除塵托架，其特征在于，所述的驅(qū)動電機（8）為直流異步電機。