[實用新型]一種用于晶片精準切割的多刀機

有效

• 申請號: 201820849102.4
• 申請日: 2018-05-31
• 公開（公告）號: CN208368475U
• 公開（公告）日: 2019-01-11
• 發明（設計）人: 潘芳琳
• 申請（專利權）人: 浙江羅克光電科技有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L21/304
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種用于晶片精準切割的多刀機，包括機架，機架的工作臺面上設有夾具，夾具的上方設有刀具，其特征是：所述夾具包括對應設置的兩塊擋條，該兩塊擋條的兩端分別通過第一連接架及第二連接架連接，第一連接架包括固定體及連接體，連接體分別置于固定體的兩端且和擋條連接，第二連接架體包括和固定體結構相同的固定部及和擋條連接的連接部，晶片的兩端分別和固定體和固定部連接，所述刀具包括刀架盤機及冷卻水管，機架上設有用于控制冷卻水管升降的活動件。

2.根據權利要求1所述的一種用于晶片精準切割的多刀機，其特征是：所述固定體和固定部均包括上壓板及下壓板，上壓板和下壓板之間構成有滑槽，滑槽內設有中心軸，中心軸上滑動連接有若干擋片，相鄰兩個擋片之間構成用于夾持晶片的間隙，擋片包括觸頭及片體，觸頭和中心軸滑動連接，片體上開設有導孔，全部擋片通過長軸桿貫穿導孔串聯。

3.根據權利要求1所述的一種用于晶片精準切割的多刀機，其特征是：所述活動件包括套筒及和套筒滑動連接的連接桿，連接桿的一端和冷卻水管連接，另一端接有升降氣缸，套筒和工作臺固定。

4.根據權利要求2所述的一種用于晶片精準切割的多刀機，其特征是：所述冷卻水管的端部上接有出水圓盤，出水圓盤和刀架盤固定，出水圓盤內開設有若干出水孔，刀架盤下端面上設有均布有切刀。