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[實(shí)用新型]一種溝槽式MOS勢(shì)壘肖特基二極管有效

專利信息
申請(qǐng)?zhí)枺?/td> 201820842476.3 申請(qǐng)日: 2018-06-01
公開(公告)號(hào): CN208352298U 公開(公告)日: 2019-01-08
發(fā)明(設(shè)計(jì))人: 關(guān)仕漢;薛濤;遲曉麗 申請(qǐng)(專利權(quán))人: 淄博漢林半導(dǎo)體有限公司
主分類號(hào): H01L29/872 分類號(hào): H01L29/872;H01L29/06
代理公司: 淄博佳和專利代理事務(wù)所 37223 代理人: 孫愛華
地址: 255086 山東省淄博市高*** 國(guó)省代碼: 山東;37
權(quán)利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關(guān)鍵詞: 溝槽式MOS 耐壓 勢(shì)壘 肖特基二極管 芯片切割 芯片 切割面 外延層 切割 半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域 陰極 陽(yáng)極 表面設(shè)置 耐壓性能 上下邊緣 彎曲弧度 鈍化層 肖特基 襯底 光刻 源區(qū) 生產(chǎn)成本 覆蓋 制造
【權(quán)利要求書】:

1.一種溝槽式MOS勢(shì)壘肖特基二極管,包括溝槽式MOS勢(shì)壘肖特基芯片以及自芯片上通過引線(15)分別引出的陰極和陽(yáng)極,溝槽式MOS勢(shì)壘肖特基芯片包括襯底(6)以及襯底(6)上方的外延層(4),在外延層(4)的表面設(shè)置有有源區(qū)溝槽(5)和位于有源區(qū)外圈的耐壓環(huán)溝槽(3),在外延層(4)的表面形成有與引線(15)連接的陽(yáng)極金屬層(1),在襯底(6)的底面形成與引線(15)連接的陰極金屬層(8),其特征在于:芯片切割位置(12)在所述耐壓環(huán)溝槽(3)的中部,自芯片切割位置(12)切割形成切割面(10),在切割面(10)及切割面(10)的上下邊緣處覆蓋有鈍化層(16)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的溝槽式MOS勢(shì)壘肖特基二極管,其特征在于:在所述的耐壓環(huán)溝槽(3)的內(nèi)壁上設(shè)置有溝槽內(nèi)氧化層(2)并填充多晶硅(9)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的溝槽式MOS勢(shì)壘肖特基二極管,其特征在于:在所述的有源區(qū)溝槽(5)的內(nèi)壁上設(shè)置有溝槽內(nèi)氧化層(2)并填充有多晶硅(9)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的溝槽式MOS勢(shì)壘肖特基二極管,其特征在于:在所述陽(yáng)極金屬層(1)和陰極金屬層(8)的表面分別通過焊錫層(13)焊接所述的引線(15)。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的溝槽式MOS勢(shì)壘肖特基二極管,其特征在于:在所述陽(yáng)極金屬層(1)和陰極金屬層(8)的表面外側(cè)同樣覆蓋有鈍化層(16)。

6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的溝槽式MOS勢(shì)壘肖特基二極管,其特征在于:所述的焊錫層(13)位于鈍化層(16)的內(nèi)側(cè)。

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