[實用新型]化學水浴薄膜的沉積裝置

有效

• 申請號: 201820833550.5
• 申請日: 2018-05-31
• 公開（公告）號: CN208829763U
• 公開（公告）日: 2019-05-07
• 發明（設計）人: 陳騰
• 申請（專利權）人: 北京鉑陽頂榮光伏科技有限公司
• 主分類號: C23C18/00
• 分類號: C23C18/00;H01L31/18
• 代理公司: 北京志霖恒遠知識產權代理事務所(普通合伙) 11435
• 代理人: 郭棟梁

1.一種化學水浴薄膜的沉積裝置，其特征在于，包括：

放卷輥，包括第一放卷輥和第二放卷輥，其中所述第一放卷輥用于纏繞隔離保護層，所述第二放卷輥用于纏繞鍍膜襯底，并且，所述第一放卷輥和第二放卷輥被配置為使得所述隔離保護層覆蓋所述鍍膜襯底以形成復合層；

水浴反應室，被配置為容納所述復合層使其進行沉積反應；

收卷輥，被配置為接收完成沉積反應的復合層。

2.根據權利要求1所述的沉積裝置，其特征在于，所述收卷輥包括第一收卷輥和第二收卷輥，其中第一收卷輥用于接收完成沉積反應的隔離保護層，第二收卷輥用于接收完成沉積反應的鍍膜襯底。

3.根據權利要求1所述的沉積裝置，其特征在于，所述放卷輥還包括放卷定位滾軸，所述放卷定位滾軸設置在第一放卷輥和第二放卷輥靠近水浴反應室的一側。

4.根據權利要求3所述的沉積裝置，其特征在于，所述收卷輥還包括收卷定位滾軸，所述收卷定位滾軸設置在第一收卷輥和第二收卷輥靠近水浴反應室的一側。

5.根據權利要求4所述的沉積裝置，其特征在于，所述水浴反應室內設有滾軸，所述滾軸包括第一滾軸和第二滾軸，所述第一滾軸設置在所述放卷定位滾軸的斜下方，所述第二滾軸設置在所述收卷定位滾軸的斜下方。

6.根據權利要求5所述的沉積裝置，其特征在于，所述放卷輥與所述收卷輥對稱設置在所述水浴反應室的側上方。

7.根據權利要求5所述的沉積裝置，其特征在于，所述第二滾軸與所述收卷定位滾軸之間設有清洗噴淋裝置和干燥裝置。

8.根據權利要求1-7任一項所述的沉積裝置，其特征在于，所述隔離保護層為柔性磁鐵，所述鍍膜襯底為不銹鋼襯底。

9.根據權利要求8所述的沉積裝置，其特征在于，所述柔性磁鐵為具有強磁性的橡膠磁條或磁鐵薄膜。

10.根據權利要求5、6或7所述的沉積裝置，其特征在于，所述水浴反應室包括耐腐蝕的反應槽體、加熱恒溫裝置、反應溶液排放裝置和反應溶液補給裝置，所述滾軸放置于耐腐蝕的反應槽體中，所述滾軸為耐腐蝕滾軸。

11.根據權利要求1-7任一項所述的沉積裝置，其特征在于，所述鍍膜襯底上設有背電極金屬層和p型光吸收層，所述隔離保護層覆蓋在所述鍍膜襯底遠離背電極金屬層的一面。