[實(shí)用新型]用于基片的濕法處理設(shè)備

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201820801147.4
• 申請(qǐng)日: 2018-05-25
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN208796961U
• 公開(kāi)（公告）日: 2019-04-26
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: I.梅爾尼克;程強(qiáng)強(qiáng);P.費(fèi)斯;W.喬斯;J.瓊格-凱尼格
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: RCT解決方法有限責(zé)任公司
• 主分類號(hào): H01L21/67
• 分類號(hào): H01L21/67
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務(wù)所 11105
• 代理人: 侯宇

1.一種用于基片的濕法處理設(shè)備，具有主體外殼，其包括用藥液對(duì)基片進(jìn)行濕法化學(xué)處理的多個(gè)處理槽，沿處理槽延伸和傳送基片的水平傳動(dòng)系統(tǒng)，其特征在于，所述設(shè)備具有兩個(gè)處理區(qū)，但配套設(shè)施以及在設(shè)備上方頂部和下方槽部之間的連接位于這兩個(gè)處理區(qū)之間，由此使得可從兩側(cè)接近處理區(qū)。

2.按照權(quán)利要求1所述的濕法處理設(shè)備，其特征在于，所述兩個(gè)處理區(qū)分別具有能相互獨(dú)立運(yùn)行的水平傳動(dòng)機(jī)構(gòu)(15，16)。

3.按照權(quán)利要求2所述的濕法處理設(shè)備，其特征在于，所述兩個(gè)水平傳動(dòng)機(jī)構(gòu)(15,16)相對(duì)于設(shè)備的縱向中線呈鏡像對(duì)稱布置。

4.按照權(quán)利要求1至3之一所述的濕法處理設(shè)備，其特征在于，在所述設(shè)備的進(jìn)料端，但在設(shè)備的主體外殼之外附加設(shè)有第一輔助柜(1)，在該第一輔助柜(1)中設(shè)有用于控制藥液溫度的溫控裝置。

5.按照權(quán)利要求4所述的濕法處理設(shè)備，其特征在于，所述溫控裝置是冰水機(jī)，并且第一輔助柜(1)的高度低于主體外殼的一半高度。

6.按照權(quán)利要求5所述的濕法處理設(shè)備，其特征在于，所述第一輔助柜(1)的高度達(dá)到主體外殼的1/3高度。

7.按照權(quán)利要求4所述的濕法處理設(shè)備，其特征在于，在所述設(shè)備的出料端，但在所述主體外殼之外附加設(shè)有第二輔助柜(2)，在第二輔助柜(2)中設(shè)有用于設(shè)備的電控柜。

8.按照權(quán)利要求7所述的濕法處理設(shè)備，其特征在于，所述第二輔助柜(2)的高度低于主體外殼的一半高度。

9.按照權(quán)利要求8所述的濕法處理設(shè)備，其特征在于，所述第二輔助柜(2)的高度達(dá)到主體外殼的1/3高度。

10.按照權(quán)利要求7所述的濕法處理設(shè)備，其特征在于，所述第一輔助柜(1)和/或第二輔助柜(2)與所述主體外殼完全集成為一體，或者，所述溫控裝置不帶第一輔助柜(1)和/或所述電控柜不帶第二輔助柜(2)地被完全集成在所述主體外殼中。

11.按照權(quán)利要求1所述的濕法處理設(shè)備，其特征在于，所述設(shè)備的主體外殼具有長(zhǎng)方六面體型的下部和斜屋頂狀的上部。

12.按照權(quán)利要求11所述的濕法處理設(shè)備，其特征在于，所述上部具有大致等邊梯形的橫斷面，所述上部在其兩個(gè)斜屋頂側(cè)或所述等邊梯形在其兩個(gè)等斜邊側(cè)開(kāi)設(shè)有多個(gè)沿設(shè)備縱向連續(xù)的、可開(kāi)啟的上視窗(5)。

13.按照權(quán)利要求12所述的濕法處理設(shè)備，其特征在于，在所述主體外殼內(nèi)，大致在所述上視窗(5)下邊緣高度位置處或略低位置處設(shè)有水平放置的透明蓋板(22)。

14.按照權(quán)利要求13所述的濕法處理設(shè)備，其特征在于，在所述主體外殼內(nèi)，大致在所述上視窗(5)上邊緣高度位置處或略高位置處設(shè)有水平放置的透光隔板。

15.按照權(quán)利要求14所述的濕法處理設(shè)備，其特征在于，從所述設(shè)備的主體外殼的頂部中央垂直向下延伸有一抽風(fēng)墻(20)，其沿設(shè)備的縱向延伸而將設(shè)備的內(nèi)部空間分隔成相同并對(duì)稱的前側(cè)分區(qū)和后側(cè)分區(qū)。

16.按照權(quán)利要求15所述的濕法處理設(shè)備，其特征在于，所述上部具有帶有抽風(fēng)開(kāi)口的頂蓋板，在其上面設(shè)有用于連接廢氣排放管道的至少一個(gè)抽風(fēng)法蘭(4)。

17.按照權(quán)利要求16所述的濕法處理設(shè)備，其特征在于，所述頂蓋板在其前側(cè)和后側(cè)分別與可拆卸的過(guò)渡蓋板相連，所述過(guò)渡蓋板用于過(guò)渡連接水平的頂面板和在設(shè)備前面或后面傾斜設(shè)置的上視窗(5)的上邊緣。