[實用新型]一種坩堝和蒸鍍用蒸發(fā)源

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201820791262.8
• 申請日: 2018-05-25
• 公開（公告）號: CN208183062U
• 公開（公告）日: 2018-12-04
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 李發(fā)順;賈曉晨;雷東
• 申請（專利權(quán)）人: 京東方科技集團股份有限公司;鄂爾多斯市源盛光電有限責任公司
• 主分類號: C23C14/26
• 分類號: C23C14/26
• 代理公司: 北京天昊聯(lián)合知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11112
• 代理人: 柴亮;張?zhí)焓?/td>

本實用新型提供一種坩堝和蒸鍍用蒸發(fā)源，屬于蒸鍍技術(shù)領(lǐng)域，其可解決現(xiàn)有的坩堝的不同區(qū)域的放熱量不同導致噴嘴的蒸鍍效率不一致，影響整體膜層的均一性的問題。本實用新型的坩堝中在金屬的壁面內(nèi)側(cè)設(shè)置了無機非金屬材質(zhì)的熱傳導層，該坩堝用于蒸鍍時，在其內(nèi)加入預蒸鍍的原料，坩堝外部的加熱元件將金屬的壁面加熱，金屬的壁面將熱量傳遞給熱傳導層，熱傳導層作為有機材料的熱源，由于熱傳導層為無機非金屬材質(zhì)，相較于現(xiàn)有的局部排布電熱絲對有機材料進行加熱的方式，熱傳導層的熱穩(wěn)定性和熱均一性更好。

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型屬于蒸鍍技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種坩堝和蒸鍍用蒸發(fā)源。

背景技術(shù)

在OLED真空蒸鍍工藝中，進行膜層蒸鍍時，一般是將有機材料放置槽型的坩堝中，坩堝的鍋體的兩側(cè)壁外設(shè)有電阻絲，坩堝頂部設(shè)有噴嘴，通過電阻絲對坩堝內(nèi)的有機材料進行加熱，有機材料進行物理狀態(tài)受熱發(fā)生變化后由噴嘴噴出，蒸鍍到基板上，形成有機膜層。

發(fā)明人發(fā)現(xiàn)現(xiàn)有技術(shù)中至少存在如下問題：目前使用的坩堝的材料為金屬鈦，受電熱絲(即加熱電阻絲)排布的影響，以及坩堝的金屬性質(zhì)的影響，不同區(qū)域的坩堝的放熱量不同，這就導致坩堝內(nèi)部的不同區(qū)域的材料受熱也不相同，不同噴嘴的蒸鍍效率不一致，最終致使蒸鍍在基板上的膜厚也不一致，使得整體膜層均一性差。

實用新型內(nèi)容

本實用新型針對現(xiàn)有的不同區(qū)域的坩堝的放熱量不同導致噴嘴的蒸鍍效率不一致，影響整體膜層的均一性的問題，提供一種坩堝和蒸鍍用蒸發(fā)源。

解決本實用新型技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是：

一種坩堝，包括鍋體，所述鍋體的至少部分壁面內(nèi)設(shè)有熱傳導層，所述壁面由金屬材料構(gòu)成，所述熱傳導層由無機非金屬材料構(gòu)成。

可選的是，所述熱傳導層由石英陶瓷構(gòu)成。

可選的是，所述壁面由金屬鈦構(gòu)成。

可選的是，所述鍋體還包括設(shè)于所述熱傳導層內(nèi)的內(nèi)壁，所述內(nèi)壁由金屬材料構(gòu)成。

可選的是，所述內(nèi)壁的厚度與所述壁面的厚度的比值范圍為1％-20％。

可選的是，所述內(nèi)壁由金屬鈦構(gòu)成。

可選的是，所述熱傳導層與內(nèi)壁之間設(shè)有間隙。

可選的是，所述加熱元件包括電熱絲。

可選的是，所述鍋體為槽底、槽壁圍成的槽狀鍋體，所述槽狀鍋體的開口位置處設(shè)置槽頂，所述槽頂上連接有噴嘴。

本實用新型還提供一種蒸鍍用蒸發(fā)源，包括上述的坩堝。

可選的是，所述蒸鍍用蒸發(fā)源還包括加熱元件，所述加熱元件設(shè)于所述坩堝的壁面的外部，用于加熱所述坩堝。

附圖說明

圖1為本實用新型的實施例1的坩堝的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本實用新型的實施例2的坩堝的一種結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3為本實用新型的實施例2的坩堝的另一種結(jié)構(gòu)示意圖；

圖4為本實用新型的實施例2的坩堝沿A-A’的截面圖；

其中，附圖標記為：1、壁面；2、熱傳導層；3、內(nèi)壁；4、槽底；5、槽壁；6、槽頂；7、噴嘴。

具體實施方式

為使本領(lǐng)域技術(shù)人員更好地理解本實用新型的技術(shù)方案，下面結(jié)合附圖和具體實施方式對本實用新型作進一步詳細描述。

實施例1：

本實施例提供一種坩堝，如圖1所示，包括鍋體，所述鍋體的至少部分壁面1內(nèi)設(shè)有熱傳導層2，所述壁面1由金屬材料構(gòu)成，所述熱傳導層2由無機非金屬材料構(gòu)成。