[實用新型]一種坩堝和蒸鍍用蒸發源有效
| 申請號： | 201820791262.8 | 申請日： | 2018-05-25 |
| 公開（公告）號： | CN208183062U | 公開（公告）日： | 2018-12-04 |
| 發明（設計）人： | 李發順;賈曉晨;雷東 | 申請（專利權）人： | 京東方科技集團股份有限公司;鄂爾多斯市源盛光電有限責任公司 |
| 主分類號： | C23C14/26 | 分類號： | C23C14/26 |
| 代理公司： | 北京天昊聯合知識產權代理有限公司 11112 | 代理人： | 柴亮;張天舒 |
| 地址： | 100015 *** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 坩堝 熱傳導層 蒸鍍 壁面 本實用新型 無機非金屬 有機材料 均一性 蒸發源 金屬 加熱 加熱元件 熱量傳遞 熱穩定性 噴嘴 不一致 電熱絲 放熱量 整體膜 熱源 排布 預蒸 外部 | ||
【權利要求書】：
1.一種坩堝，包括鍋體，其特征在于，所述鍋體的至少部分壁面內設有熱傳導層，所述壁面由金屬材料構成，所述熱傳導層由無機非金屬材料構成。
2.根據權利要求1所述的坩堝，其特征在于，所述熱傳導層由石英陶瓷構成。
3.根據權利要求1所述的坩堝，其特征在于，所述壁面由金屬鈦構成。
4.根據權利要求1所述的坩堝，其特征在于，所述鍋體還包括設于所述熱傳導層內的內壁，所述內壁由金屬材料構成。
5.根據權利要求4所述的坩堝，其特征在于，所述內壁的厚度與所述壁面的厚度的比值范圍為1％-20％。
6.根據權利要求4所述的坩堝，其特征在于，所述內壁由金屬鈦構成。
7.根據權利要求4所述的坩堝，其特征在于，所述熱傳導層與內壁之間設有間隙。
8.根據權利要求1所述的坩堝，其特征在于，所述鍋體為槽底、槽壁圍成的槽狀鍋體，所述槽狀鍋體的開口位置處設置槽頂，所述槽頂上連接有噴嘴。
9.一種蒸鍍用蒸發源，其特征在于，包括權利要求1-8任一項所述的坩堝。
10.根據權利要求9所述的蒸鍍用蒸發源，其特征在于，所述蒸鍍用蒸發源還包括加熱元件，所述加熱元件設于所述坩堝的壁面的外部，用于加熱所述坩堝。
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