[實用新型]發熱均勻的MOCVD加熱器用加熱片有效

申請號：	201820780923.7	申請日：	2018-05-23
公開（公告）號：	CN208362460U	公開（公告）日：	2019-01-11
發明（設計）人：	陳景升;黎子蘭;田青林;黎靜;莊軍港;張順	申請（專利權）人：	江蘇實為半導體科技有限公司
主分類號：	C23C16/46	分類號：	C23C16/46
代理公司：	徐州市淮海專利事務所 32205	代理人：	李鵬
地址：	221300 江蘇省徐州市***	國省代碼：	江蘇;32
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摘要：
搜索關鍵詞：	加熱片加熱環折彎部同心本實用新型錯開設置發熱均勻溫度均勻相對設置石墨盤限位體加熱絕緣接觸短路通電電流由外向內受熱不均勻晶元變形鄰近生長保證
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【權利要求書】：

1.一種發熱均勻的MOCVD加熱片，包括加熱片本體(1)，所述加熱片本體(1)包括由外向內設置的多個同心加熱環(11)，相鄰的同心加熱環(11)之間通過相對設置的折彎部(12)連接在一起，且相對設置的折彎部(12)之間形成切口Ⅱ(13)，其特征在于，加熱片本體(1)上從外至內任意兩個相鄰的切口Ⅱ(13)皆錯開設置，且每個切口Ⅱ(13)中設有一絕緣限位體(14)。

2.根據權利要求1所述的發熱均勻的MOCVD加熱片，其特征在于，所述相鄰的切口Ⅱ(13)相對加熱片本體(1)中心的夾角為45°。

3.根據權利要求1所述的發熱均勻的MOCVD加熱片，其特征在于，所述絕緣限位體(14)為絕緣陶瓷塊。

4.根據權利要求1所述的發熱均勻的MOCVD加熱片，其特征在于，所述加熱片本體(1)由一塊加熱板經表面處理后線切割形成。

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