[實用新型]一種帶有把手的晶圓匣

有效

• 申請號: 201820772016.8
• 申請日: 2018-05-22
• 公開（公告）號: CN208240641U
• 公開（公告）日: 2018-12-14
• 發明（設計）人: 季建松;何志強
• 申請（專利權）人: 江陰佳泰電子科技有限公司
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本實用新型屬于晶圓匣，旨在提供一種帶有把手的晶圓匣，其技術方案要點是包括相對設置的第一側壁和第二側壁，位于第一側壁和第二側壁之間設有擋板，遠離擋板一側的拐角處穿設有連接桿，擋板背離限位槽的一面設有把手，把手設有用于手握持的握桿，所述握桿平行于限位槽。這種帶有把手的晶圓匣具有減緩手部負荷，從而避免晶圓從晶圓匣內滑落出來的優點。

技術領域

本實用新型涉及晶圓匣，特別涉及一種帶有把手的晶圓匣。

背景技術

晶圓匣，是在晶圓的制造工序中，于晶圓的切割、烘烤等工藝流程中用來盛放、運送晶圓的裝置。

現有技術中有一種晶圓匣，參照圖1，它包括第一側壁1、第二側壁2和連接桿3，第一側壁1和第二側壁2分別連接于連接桿3相對的兩側，第一側壁1與第二側壁2上橫向層疊設置有多條限位槽11，第一側壁1與第二側壁2的限位槽11兩兩對應并用于承載晶圓，當一晶圓被放置于晶圓匣中時，晶圓被插入第一側壁1與第二側壁2上兩兩對應的限位槽11中，位于第一側壁1和第二側壁2的底部分別設有底托5，底托5上開有槽口，槽口的位置與限位槽11相對應，當一晶圓被放置于晶圓匣中時，晶圓被插入第一側壁1與第二側壁2上兩兩對應的限位槽11中，晶圓底部被卡在槽口內，通過第一側壁1、第二側壁2以及底托5的限制，晶圓被盛放在黑晶匣，位于第一側壁1和第二槽壁的外側固定有把手6，把手6固定于第一側壁1和第二側壁2外側，把手6設有握桿63，握桿63平行于限位槽11，底托5位于把手6的下方。

當晶圓匣內裝滿晶圓后，工作人員需要從兩側雙手握住握桿63，搬運晶圓匣，為了防止晶圓從晶圓匣內滑落出來，工作人員需要保持限位槽11不偏離豎直方向，但是由于晶圓匣和晶圓具有重力，而工作人員僅僅通過手握住握桿63來抵消來自于重力的分力，沒有其他地方給予手部支撐，工作人員經過長時間的握持后，手腕部會產生酸楚感，晶圓匣的限位槽11偏離豎直方向，導致晶圓在晶圓匣中容易錯位滑動，甚至從晶圓匣中掉落出來，從而損壞晶圓。

實用新型內容

本實用新型的目的是提供一種帶有把手的晶圓匣，其具有減緩手部負荷，從而避免晶圓從晶圓匣內滑落出來的優點。

本實用新型的上述技術目的是通過以下技術方案得以實現的：

一種帶有把手的晶圓匣，包括相對設置的第一側壁和第二側壁，位于第一側壁和第二側壁之間設有擋板，遠離擋板一側的拐角處穿設有連接桿，擋板背離限位槽的一面設有把手，把手設有用于手握持的握桿，所述握桿平行于限位槽。

通過采用上述技術方案，工作人員在對晶圓匣進行搬運時，手握住把手的握桿，同時手指的關節處抵觸在擋板上，手與擋板之間形成杠桿結構，從而有效減小了手部來自于晶圓匣的負荷，使得晶圓匣在搬運過程中更加平穩，避免了晶圓由于晶圓匣的傾斜而從晶圓匣內滑落出來。

進一步設置：所述擋板上可拆卸連接有把手蓋板，所述把手蓋板扣合在把手相對于握桿的側邊上，所述把手經把手蓋板轉動連接在擋板上。

通過采用上述技術方案，在需要使用把手時，工作人員將把手調整至垂直于側板的狀態，從而抓住把手；在不需要使用把手時，工作人員調整把手貼合在擋板上，節省了較大的空間。

進一步設置：所述把手分別設置第一側壁和第二側壁外側面上，所述把手的握桿垂直于限位槽。

通過采用上述技術方案，把手橫置在第一側壁和第二側壁的外側，在晶圓沿著限位槽被放在晶圓匣內后，工作人員提拉把手，改變了搬運晶圓匣的施力方式，手壁呈豎直向下，晶圓匣的滑槽始終保持豎直方向，同時利用手臂的拉力抵消來自于晶圓和晶圓匣的重力，搬運過程減少了手腕處的負荷。

進一步設置：所述把手呈U形，其端部固定連接有滑塊，所述第一側壁和第二側壁的外側開有供滑塊滑移的滑槽。