[實(shí)用新型]一種帶有把手的晶圓匣

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201820772016.8
• 申請日: 2018-05-22
• 公開（公告）號: CN208240641U
• 公開（公告）日: 2018-12-14
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 季建松;何志強(qiáng)
• 申請（專利權(quán)）人: 江陰佳泰電子科技有限公司
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種帶有把手的晶圓匣，包括相對設(shè)置的第一側(cè)壁（1）和第二側(cè)壁（2），其特征是：位于第一側(cè)壁（1）和第二側(cè)壁（2）之間設(shè)有擋板（4），遠(yuǎn)離擋板（4）一側(cè)的拐角處穿設(shè)有連接桿（3），擋板（4）背離限位槽（11）的一面設(shè)有把手（6），把手（6）設(shè)有用于手握持的握桿（63），所述握桿（63）平行于限位槽（11）。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種帶有把手的晶圓匣，其特征是：所述擋板（4）上可拆卸連接有把手蓋板（61），所述把手蓋板（61）扣合在把手（6）相對于握桿（63）的側(cè)邊上，所述把手（6）經(jīng)把手蓋板（61）轉(zhuǎn)動連接在擋板（4）上。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種帶有把手的晶圓匣，其特征是：所述把手（6）分別設(shè)置于第一側(cè)壁（1）和第二側(cè)壁（2）的外側(cè)面上，所述握桿（63）垂直于限位槽（11）。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種帶有把手的晶圓匣，其特征是：所述把手（6）呈U形，其端部固定連接有滑塊（62），所述第一側(cè)壁（1）和第二側(cè)壁（2）的外側(cè)開有供滑塊（62）滑移的滑槽（12）。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種帶有把手的晶圓匣，其特征是：所述滑塊（62）為燕尾塊，所述滑槽（12）為與燕尾塊相配合的燕尾槽。

6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種帶有把手的晶圓匣，其特征是：所述滑塊（62）遠(yuǎn)離把手（6）的端部開有U形槽口（621），所述滑槽（12）的相對面上設(shè)有供U形槽口（621）滑移的滑軌（121）。

7.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種帶有把手的晶圓匣，其特征是：所述滑槽（12）下方開有用于將滑塊（62）置入滑槽（12）內(nèi)的放置口（13），所述放置口（13）的尺寸大于滑塊（62）。