[實(shí)用新型]一種硅片脫膠用承載架

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201820769912.9
• 申請(qǐng)日: 2018-05-23
• 公開（公告）號(hào): CN208529449U
• 公開（公告）日: 2019-02-22
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王永超;郭城;呂明;李忠泉
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 濟(jì)南科盛電子有限公司
• 主分類號(hào): B28D7/00
• 分類號(hào): B28D7/00
• 代理公司: 青島高曉專利事務(wù)所(普通合伙) 37104
• 代理人: 黃曉敏

1.一種硅片脫膠用承載架，包括左側(cè)架體（1）、右側(cè)架體（2）和對(duì)稱設(shè)置于左側(cè)架體（1）和右側(cè)架體（2）底端之間的矩形連桿（3），其特征在于：所述左側(cè)架體（1）和右側(cè)架體（2）均呈由多根矩形桿固定形成的倒置的“凸”字型框架結(jié)構(gòu)，左側(cè)架體（1）和右側(cè)架體（2）的倒置的“凸”字型框架結(jié)構(gòu)下端均設(shè)置有限位擋片（4），兩限位限位擋片（4）的底部之間對(duì)稱設(shè)置有“L”型晶托限位承載板（5），兩限位擋片（4）的頂部之間對(duì)稱設(shè)置有晶托限位承載桿（6），左側(cè)架體（1）和右側(cè)架體（2）之間設(shè)置有硅片隔板位置調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)。

2.如權(quán)利要求1所述的一種硅片脫膠用承載架，其特征在于：所述硅片隔板位置調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)包括對(duì)稱設(shè)置于左側(cè)架體（1）內(nèi)部左右兩側(cè)和對(duì)稱設(shè)置與右側(cè)架體（2）內(nèi)部左右兩側(cè)的“U”型板（7）、設(shè)置于各“U”型板（7）上的“U”型孔（8）、對(duì)稱設(shè)置于左側(cè)架體（1）與右側(cè)架體（2）“U”型板（7）的“U”型孔（8）內(nèi)的兩個(gè)硅片隔板支撐桿（9）。

3.如權(quán)利要求2所述的一種硅片脫膠用承載架，其特征在于：所述“U”型板（7）倒置設(shè)置于左側(cè)架體（1）和右側(cè)架體（2）的倒置的“凸”字型框架結(jié)構(gòu)的框架彎折過渡端（10），“U”型板（7）的一側(cè)豎板固定于框架彎折過渡端（10）的上端矩形桿（11）上，“U”型板（7）的另一側(cè)豎板固定于框架彎折過渡端（10）的下端矩形桿（12）上。

4.如權(quán)利要求2所述的一種硅片脫膠用承載架，其特征在于：所述硅片隔板支撐桿（9）左右兩端均伸出“U”型孔（8），且其伸出“U”型孔（8）部分的外壁設(shè)置有螺紋，螺紋上設(shè)置有鎖緊螺母（13）。

5.如權(quán)利要求4所述的一種硅片脫膠用承載架，其特征在于：所述硅片隔板支撐桿（9）的左右兩端伸出“U”型孔（8）的部分和硅片隔板支撐桿（9）的中部均設(shè)置有限位槽（14），脫膠用硅片隔板（15）通過硅片隔板支撐桿（9）上的限位槽（14）卡接固定。

6.如權(quán)利要求5所述的一種硅片脫膠用承載架，其特征在于：所述脫膠用硅片隔板（15）為矩形板，硅片隔板（15）的底部對(duì)稱設(shè)置有兩個(gè)第一開口槽（16）和兩個(gè)第二開口槽（17）。

7.如權(quán)利要求6所述的一種硅片脫膠用承載架，其特征在于：所述位于同一側(cè)的第一開口槽（16）和第二開口槽（17）之間的距離與“U”型孔（8）的兩豎向開口間的距離相配合。

8.如權(quán)利要求1所述的一種硅片脫膠用承載架，其特征在于：所述限位擋片（4）上設(shè)置有通孔（18）。