[實(shí)用新型]一種硅片脫膠用承載架

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201820769912.9
• 申請(qǐng)日: 2018-05-23
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN208529449U
• 公開(kāi)（公告）日: 2019-02-22
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王永超;郭城;呂明;李忠泉
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 濟(jì)南科盛電子有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): B28D7/00
• 分類(lèi)號(hào): B28D7/00
• 代理公司: 青島高曉專(zhuān)利事務(wù)所(普通合伙) 37104
• 代理人: 黃曉敏

本實(shí)用新型涉及硅片脫膠技術(shù)領(lǐng)域，尤其是一種硅片脫膠用承載架。該種硅片脫膠用承載架，包括左側(cè)架體、右側(cè)架體和對(duì)稱(chēng)設(shè)置于左側(cè)架體和右側(cè)架體底端之間的矩形連桿，左側(cè)架體和右側(cè)架體均呈由多根矩形桿固定形成的倒置的“凸”字型框架結(jié)構(gòu)，左側(cè)架體和右側(cè)架體的倒置的“凸”字型框架結(jié)構(gòu)下端均設(shè)置有限位擋片，兩限位限位擋片的底部之間對(duì)稱(chēng)設(shè)置有“L”型晶托限位承載板，兩限位擋片的頂部之間對(duì)稱(chēng)設(shè)置有晶托限位承載桿，左側(cè)架體和右側(cè)架體之間設(shè)置有硅片隔板位置調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)。本實(shí)用新型的一種硅片脫膠用承載架通過(guò)硅片隔板位置調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)靈活調(diào)節(jié)硅片隔板的位置，并對(duì)硅片隔板進(jìn)行限位固定，便于硅片隔板的取放。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及硅片脫膠技術(shù)領(lǐng)域，尤其是一種硅片脫膠用承載架。

背景技術(shù)

目前單晶硅棒加工成硅片都是采用多線(xiàn)鋸切割，切割前需要通過(guò)專(zhuān)用粘膠將硅棒、樹(shù)脂板和呈“工”字型的晶托粘接在一起，切割后需要進(jìn)行沖洗和脫膠，將硅片從樹(shù)脂板上脫離開(kāi)，在此過(guò)程中，切割好的硅片很容易因傾倒而造成破裂，破裂后的硅片就無(wú)法進(jìn)行下步工序，造成硅片生產(chǎn)成品率不高等問(wèn)題。為解決這一問(wèn)題，多采用在脫膠前往硅片間插入硅片隔板，借以起到防止硅片傾倒產(chǎn)生破裂的作用。但是目前的硅片脫膠用承載架大多不包括硅片隔板位置調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，對(duì)硅片隔板位置調(diào)節(jié)精確性差，且硅片隔板大多獨(dú)立于硅片脫膠用承載架，且在脫膠完成后需要取下單獨(dú)存放，易丟失，造成后續(xù)使用的不便。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的在于提供一種硅片脫膠用承載架，克服前述現(xiàn)有技術(shù)存在的不足，通過(guò)硅片隔板位置調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)靈活調(diào)節(jié)硅片隔板的位置，并對(duì)硅片隔板進(jìn)行限位固定，便于硅片隔板的取放。

本實(shí)用新型解決其技術(shù)問(wèn)題所采取的技術(shù)方案是：一種硅片脫膠用承載架，包括左側(cè)架體、右側(cè)架體和對(duì)稱(chēng)設(shè)置于左側(cè)架體和右側(cè)架體底端之間的矩形連桿，其特征在于：所述左側(cè)架體和右側(cè)架體均呈由多根矩形桿固定形成的倒置的“凸”字型框架結(jié)構(gòu)，脫膠機(jī)中的承載架起升抓手通過(guò)倒置的“凸”字型框架結(jié)構(gòu)頂端抓起硅片脫膠用承載架，且倒置的“凸”字型框架結(jié)構(gòu)頂端在承載架搬運(yùn)移動(dòng)時(shí)可作為手持端；左側(cè)架體和右側(cè)架體的倒置的“凸”字型框架結(jié)構(gòu)下端均設(shè)置有用于限制“工”字型的晶托位置的限位擋片，兩限位限位擋片的底部之間對(duì)稱(chēng)設(shè)置有“L”型晶托限位承載板，“L”型晶托限位承載板用于限制“工”字型的晶托底板的位置，兩限位擋片的頂部之間對(duì)稱(chēng)設(shè)置有晶托限位承載桿，晶托限位承載桿用于支撐“工”字型的晶托頂板并限制其位置，左側(cè)架體和右側(cè)架體之間設(shè)置有硅片隔板位置調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，硅片隔板位置調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)用于靈活調(diào)節(jié)硅片隔板的位置，對(duì)硅片隔板起到限位固定作用，并用于支撐脫膠后的硅片。

進(jìn)一步的，所述硅片隔板位置調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)包括對(duì)稱(chēng)設(shè)置于左側(cè)架體內(nèi)部左右兩側(cè)和對(duì)稱(chēng)設(shè)置與右側(cè)架體內(nèi)部左右兩側(cè)的“U”型板、設(shè)置于各“U”型板上的“U”型開(kāi)口、對(duì)稱(chēng)設(shè)置于左側(cè)架體與右側(cè)架體“U”型板的“U”型開(kāi)口內(nèi)的兩個(gè)硅片隔板支撐桿，硅片隔板支撐桿能夠在“U”型開(kāi)口內(nèi)靈活移動(dòng)。

進(jìn)一步的，所述“U”型板倒置設(shè)置于左側(cè)架體和右側(cè)架體的倒置的“凸”字型框架結(jié)構(gòu)的框架彎折過(guò)渡端，“U”型板的一側(cè)豎板固定于框架彎折過(guò)渡端的上端矩形桿上，“U”型板的另一側(cè)豎板固定于框架彎折過(guò)渡端的下端矩形桿上。

進(jìn)一步的，所述硅片隔板支撐桿左右兩端均伸出“U”型開(kāi)口，且其伸出“U”型開(kāi)口部分的外壁設(shè)置有螺紋，螺紋上設(shè)置有鎖緊螺母，鎖緊螺母用于將隔板支撐桿鎖緊于“U”型板上，固定隔板支撐桿的位置。

進(jìn)一步的，所述硅片隔板支撐桿的左右兩端伸出“U”型開(kāi)口的部分和硅片隔板支撐桿的中部均設(shè)置有限位槽，脫膠用硅片隔板通過(guò)硅片隔板支撐桿上的限位槽卡接固定。

進(jìn)一步的，所述脫膠用硅片隔板為矩形板，硅片隔板的底部對(duì)稱(chēng)設(shè)置有兩個(gè)第一開(kāi)口槽和兩個(gè)第二開(kāi)口槽。

進(jìn)一步的，所述位于同一側(cè)的第一開(kāi)口槽和第二開(kāi)口槽之間的距離與“U”型開(kāi)口的兩豎向開(kāi)口間的距離相配合。