[實(shí)用新型]一種電注入均衡退火裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201820735805.4
• 申請(qǐng)日: 2018-05-17
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN208352320U
• 公開(kāi)（公告）日: 2019-01-08
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 蔣新;劉濤;陳國(guó)才;劉斌;竇福存
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 蘇州晶洲裝備科技有限公司
• 主分類號(hào): H01L31/18
• 分類號(hào): H01L31/18
• 代理公司: 蘇州根號(hào)專利代理事務(wù)所(普通合伙) 32276
• 代理人: 項(xiàng)麗

本實(shí)用新型涉及一種電注入均衡退火裝置，用于電池片退火，包括框架主體，所述框架主體的底部設(shè)置有滾輪輸送系統(tǒng)，用于承載電池片的載具經(jīng)所述滾輪輸送系統(tǒng)依次經(jīng)過(guò)所述上料工位、反向電流注入工位、冷卻工位和下料工位進(jìn)行退火處理，所述反向電流注入工位用于對(duì)所述載具內(nèi)的電池片進(jìn)行電注入，所述反向電流注入工位中包括多個(gè)工藝腔，每個(gè)工藝腔中設(shè)有一組輔熱系統(tǒng)，用于對(duì)載具上承載的電池片進(jìn)行輔助加熱以維持電池片上下溫度均衡。本實(shí)用新型能夠?qū)崿F(xiàn)對(duì)于電池片的電注入狀況下的退火，能夠保證上下及中部的電池片均能保持溫度一致，處理效率高，能夠有效提高電池片的轉(zhuǎn)換效率。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及電池片加工技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及一種用于對(duì)電池片進(jìn)行退火的裝置，尤其涉及一種電注入的可實(shí)現(xiàn)電池片均衡退火的裝置。

背景技術(shù)

硅片（電池片）中含有氧，氧有吸取雜質(zhì)的作用，對(duì)硅片進(jìn)行退火處理，能夠促進(jìn)存留于硅中的氧向外擴(kuò)散，在硅片表面形成低氧環(huán)境（潔凈區(qū)），從而減少甚至能夠消除由氧造成的晶體缺陷，有利于后期器件制造，硅片退火能夠?qū)ζ潆娮杪始吧僮訅勖斐捎绊憽Ａ硗猓庵滤p(LID)是指太陽(yáng)能電池及組件在光照過(guò)程中引起的功率衰減現(xiàn)象。為了提高電池效率，目前研發(fā)出了PERC（鈍化發(fā)射極及背局域接觸電池）高效電池，但經(jīng)過(guò)實(shí)踐發(fā)現(xiàn)，如果不對(duì)成品電池進(jìn)行處理，高效電池的LID現(xiàn)象會(huì)減小電池的效率增益，降低電池片的轉(zhuǎn)換效率。

針對(duì)上述缺陷，現(xiàn)在多采用退火處理，但發(fā)現(xiàn)在硅片退火過(guò)程中如保持其處于通電狀態(tài)，能夠使得硅片的退火效果更好，具備更優(yōu)越的性能，但目前還沒(méi)有硅片退火設(shè)備對(duì)此制造出相應(yīng)的裝置，且電池片退火時(shí)很難保證整體的溫度一致性，因此急需一種可靠工作的硅片退火設(shè)備來(lái)解決這一問(wèn)題。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的是要提供一種電注入均衡退火裝置，能夠?qū)崿F(xiàn)對(duì)于電池片的電注入狀況下的退火，能夠保證上下及中部的電池片均能保持溫度一致，處理效率高，能夠有效提高電池片的轉(zhuǎn)換效率。

為達(dá)到上述目的，本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案是：

本實(shí)用新型提供了一種電注入均衡退火裝置，用于電池片退火，包括框架主體，所述框架主體的底部設(shè)置有滾輪輸送系統(tǒng)，沿所述滾輪輸送系統(tǒng)的行進(jìn)方向所述框架主體中依序設(shè)置有上料工位、反向電流注入工位、冷卻工位和下料工位，用于承載電池片的載具經(jīng)所述滾輪輸送系統(tǒng)依次經(jīng)過(guò)所述上料工位、反向電流注入工位、冷卻工位和下料工位進(jìn)行退火處理，所述反向電流注入工位用于對(duì)所述載具內(nèi)的電池片進(jìn)行電注入，所述反向電流注入工位中包括多個(gè)工藝腔，每個(gè)工藝腔中設(shè)有一組輔熱系統(tǒng)，用于對(duì)載具上承載的電池片進(jìn)行輔助加熱以維持電池片上下溫度均衡。

對(duì)于上述技術(shù)方案，發(fā)明人還有進(jìn)一步的優(yōu)化措施。

優(yōu)選地，每組輔熱系統(tǒng)包括上輔熱裝置和下輔熱裝置，所述上輔熱裝置包括固定連接電極架下方的第一金屬加熱板，所述第一金屬加熱板內(nèi)配置有用于感應(yīng)上部電池片溫度的第一熱電偶，所述下輔熱裝置包括固定在所述框架主體上的第二金屬加熱板，所述第二金屬加熱板內(nèi)配置有第二熱電偶，其中，所述第一金屬加熱板、第二金屬加熱板的外殼同時(shí)用于導(dǎo)入直流電源，向夾持在所述第一金屬加熱板、第二金屬加熱板之間的電池片進(jìn)行電注入。

進(jìn)一步地，在所述反向電流注入工位中對(duì)應(yīng)于每個(gè)工藝腔分別配置有一個(gè)電流注入系統(tǒng)，所述電流注入系統(tǒng)包括第一電極氣缸、第一電極架、第二電極氣缸和第二電極架，所述第一電極氣缸豎直固定在所述框架主體上并位于每個(gè)工藝腔的上方，所述第一電極架固定在所述第一電極氣缸的底部，所述上輔熱裝置固定在所述電極架的下方，所述第二電極氣缸豎直固定在所述框架主體上并位于每個(gè)工藝腔的下方，所述第二電極架固定在所述第二電極氣缸的上部，所述下輔熱裝置固定在所述第二電極架的上方。

進(jìn)一步地，在所述框架主體的側(cè)板對(duì)應(yīng)于堆疊在載具上的電池片的中部設(shè)置有紅外傳感器，所述紅外傳感器用于檢測(cè)位于中部的電池片的溫度。