[實(shí)用新型]一種電注入均衡退火裝置有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201820735805.4 | 申請(qǐng)日: | 2018-05-17 |
| 公開(公告)號(hào): | CN208352320U | 公開(公告)日: | 2019-01-08 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 蔣新;劉濤;陳國(guó)才;劉斌;竇福存 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人: | 蘇州晶洲裝備科技有限公司 |
| 主分類號(hào): | H01L31/18 | 分類號(hào): | H01L31/18 |
| 代理公司: | 蘇州根號(hào)專利代理事務(wù)所(普通合伙) 32276 | 代理人: | 項(xiàng)麗 |
| 地址: | 215500 江蘇省蘇州*** | 國(guó)省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 電池片 電注入 反向電流 工位 退火 本實(shí)用新型 框架主體 輸送系統(tǒng) 退火裝置 工藝腔 滾輪 載具 承載 均衡 處理效率 輔熱系統(tǒng) 輔助加熱 冷卻工位 上料工位 退火處理 溫度均衡 溫度一致 下料工位 轉(zhuǎn)換效率 保證 | ||
1.一種電注入均衡退火裝置,用于電池片退火,包括框架主體,所述框架主體的底部設(shè)置有滾輪輸送系統(tǒng),沿所述滾輪輸送系統(tǒng)的行進(jìn)方向所述框架主體中依序設(shè)置有上料工位、反向電流注入工位、冷卻工位和下料工位,用于承載電池片的載具經(jīng)所述滾輪輸送系統(tǒng)依次經(jīng)過所述上料工位、反向電流注入工位、冷卻工位和下料工位進(jìn)行退火處理,所述反向電流注入工位用于對(duì)所述載具內(nèi)的電池片進(jìn)行電注入,所述反向電流注入工位中包括多個(gè)工藝腔,其特征在于,每個(gè)工藝腔中設(shè)有一組輔熱系統(tǒng),用于對(duì)載具上承載的電池片進(jìn)行輔助加熱以維持電池片上下溫度均衡。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電注入均衡退火裝置,其特征在于,每組輔熱系統(tǒng)包括上輔熱裝置和下輔熱裝置,所述上輔熱裝置包括固定連接電極架下方的第一金屬加熱板,所述第一金屬加熱板內(nèi)配置有用于感應(yīng)上部電池片溫度的第一熱電偶,所述下輔熱裝置包括固定在所述框架主體上的第二金屬加熱板,所述第二金屬加熱板內(nèi)配置有第二熱電偶,其中,所述第一金屬加熱板、第二金屬加熱板的外殼同時(shí)用于導(dǎo)入直流電源,向夾持在所述第一金屬加熱板、第二金屬加熱板之間的電池片進(jìn)行電注入。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的電注入均衡退火裝置,其特征在于,在所述反向電流注入工位中對(duì)應(yīng)于每個(gè)工藝腔分別配置有一個(gè)電流注入系統(tǒng),所述電流注入系統(tǒng)包括第一電極氣缸、第一電極架、第二電極氣缸和第二電極架,所述第一電極氣缸豎直固定在所述框架主體上并位于每個(gè)工藝腔的上方,所述第一電極架固定在所述第一電極氣缸的底部,所述上輔熱裝置固定在所述電極架的下方,所述第二電極氣缸豎直固定在所述框架主體上并位于每個(gè)工藝腔的下方,所述第二電極架固定在所述第二電極氣缸的上部,所述下輔熱裝置固定在所述第二電極架的上方。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的電注入均衡退火裝置,其特征在于,在所述框架主體的側(cè)板對(duì)應(yīng)于堆疊在載具上的電池片的中部設(shè)置有紅外傳感器,所述紅外傳感器用于檢測(cè)位于中部的電池片的溫度。
5.根據(jù)權(quán)利要求1至4中任一項(xiàng)所述的電注入均衡退火裝置,其特征在于,所述輔熱系統(tǒng)還包括均熱氣路裝置,所述均熱氣路裝置包括固定所述框架主體的側(cè)板中部固定有上氣路、中氣路和下氣路,開啟或關(guān)閉所述上氣路、中氣路或者下氣路,用于對(duì)所述載具上堆疊的電池片鼓風(fēng),提高氣體流動(dòng)進(jìn)行熱量均布。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電注入均衡退火裝置,其特征在于,所述多個(gè)工藝腔包括至少一個(gè)高溫工藝腔和至少一個(gè)低溫工藝腔,所述載具帶動(dòng)電池片先在高溫工藝腔中退火再進(jìn)入所述低溫工藝腔進(jìn)行退火。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電注入均衡退火裝置,其特征在于,在所述框架主體的頂部設(shè)置有用于對(duì)各工位抽風(fēng)控溫的抽風(fēng)裝置,在反向電流注入工位中設(shè)有中壓風(fēng)機(jī),所述中壓風(fēng)機(jī)設(shè)置在所述反向電流注入工位的頂部,用于在抽風(fēng)不足時(shí)控制所述反向電流注入工位的溫度,在所述反向電流注入工位的四壁上設(shè)有保溫壁板,且在每個(gè)工位之間均設(shè)置有隔熱門,在隔熱門的側(cè)邊處設(shè)有升降氣缸,所述升降氣缸通過連接板與所述隔熱門相連。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電注入均衡退火裝置,其特征在于,所述載具包括由云母制成的底托,在所述底托上固定有若干個(gè)豎直設(shè)置的擋板,所述若干個(gè)擋板在所述底托上限定出放置電池片的承載腔體,其中,所述底托的底部具有開孔,用于第二金屬加熱板接觸堆疊的最下層電池片,在所述載具的底托上還對(duì)稱設(shè)置有至少一組鎖板,用于鎖止限定所述電池片在底托上的位置。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電注入均衡退火裝置,其特征在于,所述滾輪輸送系統(tǒng)包括多根連續(xù)且平行設(shè)置的滾輪,滾輪通過其端部設(shè)置的滾輪軸連接電機(jī)驅(qū)動(dòng)鏈,所述滾輪直接由電機(jī)驅(qū)動(dòng)鏈傳動(dòng)來驅(qū)動(dòng),滾輪軸上依次裝有C型卡環(huán)、固定環(huán)、軸承和軸承座法蘭。
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H01L 半導(dǎo)體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L31-00 對(duì)紅外輻射、光、較短波長(zhǎng)的電磁輻射,或微粒輻射敏感的,并且專門適用于把這樣的輻射能轉(zhuǎn)換為電能的,或者專門適用于通過這樣的輻射進(jìn)行電能控制的半導(dǎo)體器件;專門適用于制造或處理這些半導(dǎo)體器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半導(dǎo)體本體為特征的
H01L31-04 .用作轉(zhuǎn)換器件的
H01L31-08 .其中的輻射控制通過該器件的電流的,例如光敏電阻器
H01L31-12 .與如在一個(gè)共用襯底內(nèi)或其上形成的,一個(gè)或多個(gè)電光源,如場(chǎng)致發(fā)光光源在結(jié)構(gòu)上相連的,并與其電光源在電氣上或光學(xué)上相耦合的





