[實用新型]一種半導體加工設備部件暫存裝置有效
| 申請號： | 201820727302.2 | 申請日： | 2018-05-16 |
| 公開（公告）號： | CN208157374U | 公開（公告）日： | 2018-11-27 |
| 發明（設計）人： | 張遠;熊志紅 | 申請（專利權）人： | 深圳仕上電子科技有限公司 |
| 主分類號： | H01L21/67 | 分類號： | H01L21/67;H01L21/673 |
| 代理公司： | 深圳市漢唐知識產權代理有限公司 44399 | 代理人： | 劉海軍 |
| 地址： | 518000 廣東省深圳市寶安區*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 底板支架 頂部支架 支撐柱 底板 轉向塊 半導體加工設備 本實用新型 固定頂盤 剎車裝置 暫存裝置 滑輪 裝置內部空間 柔性保護層 節省空間 裝置結構 蓋板 固定輪 固定片 轉向輪 擋塵 輪架 塑膠 把手 安全 | ||
1.一種半導體加工設備部件暫存裝置，其特征在于：包括底板支架、底板、支撐柱，所述底板支架上設置有所述底板，所述底板支架下設置有固定頂盤，所述固定頂盤下設置有轉向塊，所述轉向塊下設置有輪架，所述轉向塊下設置有剎車裝置，所述剎車裝置下設置有滑輪，所述滑輪上設置有連軸，所述底板支架上設置有所述支撐柱，所述底板上設置有柔性保護層，所述支撐柱上設置有頂部支架，所述頂部支架上設置有把手，所述頂部支架上設置有固定片，所述支撐柱之間設置有塑膠擋塵膜，所述頂部支架上設置有蓋板，所述蓋板上設置有起板環。
2.根據權利要求1所述的一種半導體加工設備部件暫存裝置，其特征在于：所述連軸與所述滑輪傳動連接，所述輪架通過螺母與所述連軸連接，所述剎車裝置通過螺釘與所述輪架連接。
3.根據權利要求1所述的一種半導體加工設備部件暫存裝置，其特征在于：所述轉向塊通過螺釘與所述輪架連接，所述固定頂盤通過螺釘與所述轉向塊連接，所述固定頂盤通過螺釘與所述底板支架連接。
4.根據權利要求1所述的一種半導體加工設備部件暫存裝置，其特征在于：所述底板鑲嵌在所述底板支架上，所述柔性保護層通過黏膠粘結在所述底板上。
5.根據權利要求1所述的一種半導體加工設備部件暫存裝置，其特征在于：所述支撐柱焊接在所述底板支架上，所述支撐柱一端焊接在所述頂部支架上，所述底板支架鑲嵌在所述頂部支架上。
6.根據權利要求1所述的一種半導體加工設備部件暫存裝置，其特征在于：所述固定片焊接在所述頂部支架上，所述把手焊接在所述頂部支架一側面上。
7.根據權利要求1所述的一種半導體加工設備部件暫存裝置，其特征在于：所述蓋板鑲嵌在所述頂部支架上，所述起板環通過螺釘固定在所述蓋板上，所述塑膠擋塵膜通過螺釘固定在所述支撐柱上。
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H01L 半導體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置；專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理；集成電路器件或其特殊部件的制造
