[實用新型]半導體集成電路自動沖切系統的開模合模裝置

有效

• 申請號: 201820724076.2
• 申請日: 2018-05-16
• 公開（公告）號: CN208231940U
• 公開（公告）日: 2018-12-14
• 發明（設計）人: 王鐵生;徐勇
• 申請（專利權）人: 深圳市華龍精密模具有限公司
• 主分類號: B26F1/38
• 分類號: B26F1/38;B26D7/00
• 代理公司: 北京科億知識產權代理事務所(普通合伙) 11350
• 代理人: 湯東鳳

本實用新型涉及一種半導體集成電路自動沖切系統的開模合模裝置，包括驅動機構，傳動機構和動力連桿，驅動機構傳動連接所述的傳動機構，所述傳動機構定位于一底座內，所述動力連桿與傳動機構相連接，其特征在于：所述傳動機構包括一聯軸器，連接于聯軸器的驅動齒輪，與驅動齒輪相嚙合的開模齒輪組及一開模主軸。本實用新型由于采用齒輪傳動，不用擔心使用氣缸開模由于氣壓不穩定和氣動元器件的損壞導致模具強制合模給操作人員和模具造成傷害。當模具成型、刀具磨損或客戶產品成型外觀需要輕微調整時。無需大修模具，只需修改合模參數即可。

【技術領域】

本實用新型涉及半導體加工技術領域，尤其涉及一種大功率、高精度的半導體集成電路自動沖切系統的開模合模裝置。

【背景技術】

在半導體集成電路自動沖切系統運行過程中，由于沖切動作需要高速高效，因此，模具正常的開模高度很低，只有15-30mm。當需要對模具表面進行清潔或維修調試時，由于高度太小，操作起來極為不便。傳統的做法是增加氣缸開模裝置，這樣雖然能實現開模清潔維護的功能，卻因為氣缸受環境氣壓影響比較大，導致模具在沖切產品的過程中由于合模精度不夠導致產品不良率上升。

鑒于以上不足，為了可以高精度對模具進行開模維護，有必要提供一種不但能保證正常的開模合模功能，而且可以高精度進行重復定位，可承載沖裁力大的開模合模裝置。

【實用新型內容】

為克服現有半導體集成電路自動沖切系統中開模合模的諸多問題，本實用新型提供了一種新型的半導體集成電路自動沖切系統的開模合模裝置。

本實用新型解決技術問題的方案是提供一種半導體集成電路自動沖切系統的開模合模裝置，包括驅動機構，傳動機構和動力連桿，驅動機構傳動連接所述的傳動機構，所述傳動機構定位于一底座內，所述動力連桿與傳動機構相連接，所述傳動機構包括一聯軸器，連接于聯軸器的驅動齒輪，與驅動齒輪相嚙合的開模齒輪組及一開模主軸。

優選地，所述驅動機構包括一伺服電機和連接于伺服電機的減速器，所述減速器的傳動軸動力連接所述的傳動機構。

優選地，所述開模齒輪組包括兩個并行與開模主軸連接的齒輪，在該兩齒輪之間留有間隙，該開模齒輪組的兩個齒輪同步與所述驅動齒輪嚙合。

優選地，所述開模齒輪組的內壁設置為螺紋面，與所述開模主軸螺紋配合。

優選地，所述底座包括一齒輪腔和一主軸腔，開模齒輪組收容于齒輪腔內，開模主軸穿過主軸腔與動力連桿一起在主軸腔內進行連接。

優選地，所述開模主軸包括上半段與開模齒輪組進行螺紋配合的主軸螺紋段和下半段可在主軸腔內進行平滑上下移動的主軸滑動段，主軸螺紋段與主軸滑動段之間通過一間隔槽進行隔開。

優選地，在主軸螺紋段的下部，間隔槽的上部設置一擋塊。

優選地，在開模主軸的底部連接一主軸聯動桿，該主軸聯動桿與開模主軸同步上下移動，同時主軸聯動桿的端部會通過光柵感應觸發連接一開模傳感器。

優選地，在開模主軸的頂部開設一主軸連接槽，側壁開設一貫穿開模主軸的銷孔，所述銷孔位于主軸螺紋段的上部，所述的動力連桿的底部會卡入該主軸連接槽內，并用銷釘穿過銷孔將動力連桿與開模主軸連接固定。

與現有技術相比，本實用新型的開模主軸采用分段設計，上半段設置為主軸螺紋段，下半段設置為主軸滑動段，不但實現了精密定位的功能，還實現了齒輪傳動的功能。

開模齒輪組采用外齒輪內螺紋設計可極大提升開模扭矩及穩定性。并且，采用雙齒輪驅動設計，兩齒輪之間留有間隙，不但解決了開模齒輪組的鎖緊問題，還大大的提升了開模齒輪組的使用壽命。

本實用新型采用高精密伺服電機和大扭矩行星減速器作為驅動源，極大的提升了系統的穩定性，提高了產品質量。