日韩在线一区二区三区,日本午夜一区二区三区,国产伦精品一区二区三区四区视频,欧美日韩在线观看视频一区二区三区 ,一区二区视频在线,国产精品18久久久久久首页狼,日本天堂在线观看视频,综合av一区

[實用新型]基板處理系統有效

專利信息
申請號: 201820718942.7 申請日: 2018-05-15
公開(公告)號: CN208589416U 公開(公告)日: 2019-03-08
發明(設計)人: 林鐘逸;趙珳技 申請(專利權)人: 凱斯科技股份有限公司
主分類號: H01L21/67 分類號: H01L21/67
代理公司: 北京鴻元知識產權代理有限公司 11327 代理人: 姜虎;陳英俊
地址: 韓國*** 國省代碼: 韓國;KR
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 相反面 基板 基板處理系統 研磨面 清洗 本實用新型 翻轉單元 清洗單元 研磨 基板翻轉 清洗基板 翻轉 異物 收率
【說明書】:

實用新型涉及基板處理系統,本實用新型提供一種基板處理系統,其具備:研磨面清洗單元,其針對經過研磨工序的基板,清洗所述基板的研磨面;翻轉單元,其使所述基板翻轉180度;相反面清洗單元,其對借助于所述翻轉單元而翻轉的所述基板的相反面進行清洗,從而借助于清洗部分全部清洗基板的研磨面和相反面,抑制因基板的相反面沾有的異物而在研磨工序之后發生錯誤,提高收率。

技術領域

本實用新型涉及基板處理系統,更詳細而言,涉及一種消除研磨后工序中的基板污染問題的基板處理系統。

背景技術

半導體元件由微細的電路線以高密度集成而制造,因此,在基板表面進行與此相應的精密的平坦研磨。為了更精密地進行基板的研磨,進行不僅是機械式研磨而且并行化學式研磨的化學機械式研磨工序(CMP工序)。

即,對基板進行平坦研磨工序,通過精巧的研磨層的厚度控制,以貼裝了微細元件的形態制造半導體封裝件。在此過程中,基板的研磨面發生研磨顆粒、漿料等附著的污染,在基板研磨面的相反面,也發生研磨顆?;驖{料等附著的污染。

盡管如此,以往在基板平坦研磨工序進行之后,只進行研磨面的清洗,因而沾在基板的相反面的研磨顆粒或漿料殘留于基板的相反面,在研磨工序之后的處理工序中,由于曾沾在相反面的研磨顆粒或漿料等異物,在將基板切斷分割成多個而制造半導體封裝件的工序中,存在發生錯誤的問題。

因此,迫切要求一種方案,在如上所述的半導體封裝件的制造工序中,消除沾在基板的相反面的異物問題。

實用新型內容

所要解決的技術問題

本實用新型正是在前述的技術背景下研發的,目的是解決在制造半導體封裝件所需的平坦研磨工序中發生的基板相反面的污染問題,在研磨之后的工序中,消除異物導致的錯誤問題。

解決技術問題的方案

為了達成所述目的,本實用新型提供一種基板處理系統,具備:研磨面清洗單元,其針對經過研磨工序的基板,清洗所述基板的研磨面;翻轉單元,其使所述基板翻轉180度;相反面清洗單元,其對借助于所述翻轉單元而翻轉的所述基板的相反面進行清洗,從而借助于清洗部分全部清洗基板的研磨面和相反面,抑制因基板的相反面沾有的異物而在研磨工序之后發生錯誤,提高收率。

本說明書及權利要求書中記載的術語“相反面”,定義為指稱形成有圖案或氧化物、金屬等膜的一側研磨面的相反側表面。

旨在達成本實用新型目的的本實用新型的基板處理系統,包括:研磨部分,其進行基板的研磨工序;清洗部分,其清洗經過所述研磨工序的所述基板的研磨面以及所述基板的相反面。

旨在達成本實用新型目的的本實用新型的基板處理系統中,所述清洗部分包括:研磨面清洗單元,其清洗所述基板的研磨面;翻轉單元,其使所述基板翻轉180度;相反面清洗單元,其清洗由所述翻轉單元翻轉的所述基板的相反面。

旨在達成本實用新型目的的本實用新型的基板處理系統中,還包括使所述基板干燥的干燥單元。

旨在達成本實用新型目的的本實用新型的基板處理系統中,所述研磨面清洗單元具備多個清洗腔室,所述多個清洗腔室包括:第一清洗腔室,其具備對所述基板進行接觸清洗的第一清洗部;第二清洗腔室,其具備對所述基板進行非接觸清洗的第二清洗部。

旨在達成本實用新型目的的本實用新型的基板處理系統中,所述第一清洗腔室連續排列兩個以上。

旨在達成本實用新型目的的本實用新型的基板處理系統中,所述第一清洗部具備分別接觸所述基板的研磨面與相反面的旋轉刷,從而同時清洗所述基板的研磨面與相反面。

旨在達成本實用新型目的的本實用新型的基板處理系統中,在所述第一清洗腔室中結束清洗的所述基板,在第二清洗腔室中清洗。

下載完整專利技術內容需要扣除積分,VIP會員可以免費下載。

該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息,商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于凱斯科技股份有限公司,未經凱斯科技股份有限公司許可,擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作,請聯系【客服

本文鏈接:http://www.szxzyx.cn/pat/books/201820718942.7/2.html,轉載請聲明來源鉆瓜專利網。

×

專利文獻下載

說明:

1、專利原文基于中國國家知識產權局專利說明書;

2、支持發明專利 、實用新型專利、外觀設計專利(升級中);

3、專利數據每周兩次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、內容包括專利技術的結構示意圖、流程工藝圖技術構造圖;

5、已全新升級為極速版,下載速度顯著提升!歡迎使用!

請您登陸后,進行下載,點擊【登陸】 【注冊】

關于我們 尋求報道 投稿須知 廣告合作 版權聲明 網站地圖 友情鏈接 企業標識 聯系我們

鉆瓜專利網在線咨詢

周一至周五 9:00-18:00

咨詢在線客服咨詢在線客服
tel code back_top
主站蜘蛛池模板: 国产一区影院| 99国产精品9| 欧美日韩中文字幕三区| 国产日韩欧美在线一区| 欧美亚洲精品一区二区三区| 午夜av男人的天堂| 日本一区二区三区免费视频 | 一区二区国产盗摄色噜噜| 欧美一区免费| 91看片app| 国产电影精品一区二区三区| 午夜无遮挡| 91狠狠操| 日本一区二区三区在线看| 99久久婷婷国产亚洲终合精品| 日日噜噜夜夜狠狠| 精品国产1区2区3区| 国产一区观看| 国产精品96久久久久久又黄又硬| 激情欧美一区二区三区| 亚洲精品国产精品国自产网站按摩| 国产免费一区二区三区网站免费 | 日韩精品免费看| 国产999精品视频| 色综合久久88| 国产午夜精品一区二区三区四区| 色就是色欧美亚洲| 91精品系列| 小萝莉av| 日韩欧美一区二区久久婷婷| 国产日韩欧美中文字幕| 少妇又紧又色又爽又刺激视频网站| 日韩av在线影院| 激情欧美一区二区三区| 曰韩av在线| 日韩av在线一区| 国产一区精品在线观看 | 天堂av色婷婷一区二区三区| 欧美日韩三区| freexxxxxxx| 亚洲欧美日韩视频一区| 亚洲精品乱码久久久久久写真| 亚洲精品www久久久久久广东| 免费精品一区二区三区视频日产| 午夜毛片在线| 国产精品女人精品久久久天天| 国产一区=区| 国产精品中文字幕一区二区三区| 国产一区二区三区黄| 国产精品一区在线观看| 亚洲第一天堂无码专区| 日韩av在线网| 国产精品一区二区人人爽| 欧美一区二区三区艳史| 国产亚洲久久| 日韩av中文字幕第一页| 狠狠色狠狠综合久久| 国产精品中文字幕一区 | www.日本一区| 国产精品亚发布| 欧美日韩国产免费观看| 日韩欧美国产高清91| 国产精品一二三区视频网站| 99re热精品视频国产免费| xxxx18日本护士高清hd| 999久久久国产| 夜夜躁日日躁狠狠久久av| 国产99网站| 国产视频1区2区| 综合在线一区| 狠狠躁夜夜躁人人爽天天天天97| 91福利视频免费观看| 亚洲码在线| 97国产精品久久久| 国产精品久久久爽爽爽麻豆色哟哟 | 日本一区二区三区在线看| 国产二区不卡| 久久国产精品网站| 欧美一区二区三区激情| 欧美日韩高清一区二区| 99视频一区| 狠狠躁天天躁又黄又爽| 国产69精品久久久久777| 亚洲欧洲一二三区| 日韩亚洲欧美一区二区| 欧美高清性xxxx| 91精品视频在线观看免费| 国产一区免费在线观看| 国产精品久久久久四虎| 99精品国产一区二区三区不卡| xxxx在线视频| 久久精品欧美一区二区| 国产丝袜一区二区三区免费视频 | 国产69精品久久久久按摩| 97涩国一产精品久久久久久久| 欧美hdxxxx| 国产精品九九九九九| 国产第一区二区| 午夜在线看片| 亚洲精品456| 久久96国产精品久久99软件| 国产精品欧美一区乱破| 久久99久国产精品黄毛片入口| 夜夜嗨av色一区二区不卡| 中文字幕一区二区三区免费视频| 国产精品高潮呻吟88av| 日韩欧美激情| 91麻豆文化传媒在线观看| 91精品综合| 欧美日韩国产一二| 中文字幕一区二区三区免费| 欧美精品久| 日韩av中文字幕在线| 99久久国产综合精品尤物酒店| 国产99久久九九精品| 欧美系列一区二区| 久久99精| 久久国产中文字幕| 91精品福利观看| 中文字幕区一区二| 欧美精品二区三区| 久久网站精品| 亚洲国产精品二区| 精品国产免费久久| 色婷婷噜噜久久国产精品12p| 97一区二区国产好的精华液| 精品福利一区| 欧美激情在线观看一区| 超碰97国产精品人人cao| 香蕉av一区| 国产精品二区一区二区aⅴ| 97久久国产精品| 欧美高清性xxxxhdvideos| 国产欧美一区二区三区在线看| 狠狠躁夜夜躁xxxxaaaa| 日韩久久电影| 午夜毛片在线观看| 国产精品一区在线播放| 亚洲伊人久久影院| 国产一级片子| 素人av在线| 天堂av一区二区| 精品一区二区三区自拍图片区| 激情aⅴ欧美一区二区三区| 日本精品99| 国产亚洲精品精品国产亚洲综合 | 色就是色欧美亚洲| 欧美精品一区久久| 欧美日韩精品不卡一区二区三区| 精品久久小视频| 亚洲区在线| 国产亚洲久久| 国产一级片大全| 国产欧美日韩一级| 日韩av在线网| 亚洲第一天堂无码专区| 国产日韩欧美亚洲综合| 三级视频一区| 国产麻豆精品久久| 视频一区二区国产| 欧美三级午夜理伦三级老人| 久久一区二区精品| 高清欧美xxxx| 欧美乱大交xxxxx胶衣| 性刺激久久久久久久久九色| av午夜电影| 亚洲国产精品日本| 99er热精品视频国产| 精品一区二区超碰久久久| 国产69精品福利视频| 91精品啪在线观看国产线免费| 国产精品99一区二区三区| 四虎国产精品久久| 亚洲国产精品97久久无色| 国产精品久久91| 国产精品高潮呻吟久| 久久国产欧美视频| 欧美国产一区二区三区激情无套| 美女啪啪网站又黄又免费| 国产区精品区| 2023国产精品久久久精品双| 99精品久久久久久久婷婷| 91精品国产一区二区三区| 国产日产精品一区二区三区| 欧美日韩一级二级三级| 国产精品视频1区| 午夜国产一区二区三区| 亚洲精品日日夜夜| 精品国产1区2区3区| 日韩区欧美久久久无人区| 日韩电影在线一区二区三区| 国产理论一区二区三区| 欧美乱妇在线视频播放| av狠狠干| 精品久久一区| 国产在线一区不卡| 国产色午夜婷婷一区二区三区 | 久久精品亚洲一区二区三区画质| 8x8x国产一区二区三区精品推荐| 处破大全欧美破苞二十三| 国产精品免费一视频区二区三区| 中文字幕一区二区三区又粗| 国产精品中文字幕一区| 三级视频一区| 国产女人和拘做受视频免费| 久久久999精品视频| 欧美日韩一区视频| 国产精品综合久久| 国产69精品久久99的直播节目| 热99re久久免费视精品频软件| 午夜免费片| 国产精品免费观看国产网曝瓜| 久久综合狠狠狠色97| 二区三区免费视频| 久久久999精品视频| 日本神影院一区二区三区| 性国产日韩欧美一区二区在线| 精品欧美一区二区在线观看| 欧美精品粉嫩高潮一区二区| 国产在线拍偷自揄拍视频| 欧美午夜羞羞羞免费视频app| 久久一二区| aaaaa国产欧美一区二区| 午夜激情电影在线播放| 欧美一区二三区人人喊爽| 国产91丝袜在线播放动漫| 91久久精品久久国产性色也91| 一区二区三区国产欧美| 国产精品九九九九九| 色综合久久88| 午夜亚洲国产理论片一二三四 | 国产精品一区二区不卡| 国产精品一区二区麻豆| 亚洲神马久久| 午夜影院黄色片| 国产精品一区二区免费视频| 国产日韩欧美亚洲综合| 欧美日韩一区不卡| 欧美日韩亚洲另类| 欧美一区二区三区艳史| 国产精品一区在线观看你懂的| 狠狠色噜噜狼狼狼色综合久| 国产欧美一区二区三区沐欲| 在线精品国产一区二区三区88 | 欧美一区二区三区激情| 日韩无遮挡免费视频|