[實用新型]掩膜板、顯示器件、顯示面板及顯示終端

有效

• 申請號: 201820707909.4
• 申請日: 2018-05-14
• 公開（公告）號: CN208266251U
• 公開（公告）日: 2018-12-21
• 發明（設計）人: 劉明星;王徐亮;張玄;甘帥燕;高峰
• 申請（專利權）人: 昆山國顯光電有限公司
• 主分類號: C23C14/04
• 分類號: C23C14/04;C23C14/24;H01L27/32
• 代理公司: 廣州華進聯合專利商標代理有限公司 44224
• 代理人: 唐清凱

本實用新型涉及一種掩膜板、顯示器件、顯示面板及顯示終端，掩膜板包括蒸鍍面和背向蒸鍍面的玻璃面，掩膜板上陣列分布有多個蒸鍍開口，蒸鍍開口貫穿蒸鍍面和玻璃面，且蒸鍍開口包括在蒸鍍面上的第一開口和在玻璃面上的第二開口，第一開口在玻璃面上的正投影為第一投影開口，第一投影開口覆蓋第二開口；其中，在拉伸掩膜板的第一方向上第一投影開口與第二開口之間的間距為第一間距，在與第一方向垂直的第二方向上第一投影開口與第二開口之間的間距為第二間距，第二間距小于第一間距，第一開口在第二方向上的開口范圍較小，掩膜板在第二方向上相鄰兩個第一開口之間的間距加寬，拉力沿第一方向傳遞的傳輸通道變寬，拉力傳輸更加順暢，不易引起褶皺。

技術領域

本實用新型涉及顯示器件制備技術領域，特別是涉及掩膜板、顯示器件、顯示面板及顯示終端。

背景技術

目前OLED(Organic Light-Emitting Diode，有機發光二極管)采用真空蒸鍍技術制備有機發光層。在器件制備過程中，有機材料通過高溫蒸鍍淀積在位于蒸發源上方的基板上，為使有機材料按照設計蒸鍍到特定的位置上，需要使用高精度金屬掩膜板，掩膜板(即高精度金屬掩膜板)上留有預先設計好的有效開口區域，通過該有效開口區域，有機材料沉積到背板上面，形成預設圖形。其中，有效開口區域內分布有多個蒸鍍開口，以允許蒸鍍材料通過。

在實際生產中，發明人發現，采用現有技術中的掩膜板，蒸鍍的有機材料與背板上設計的像素位置出現偏差，影響產品的性能。

實用新型內容

基于此，本實用新型提供了一種掩膜板，解決了蒸鍍的有機材料與背板上設計的像素位置出現偏差的問題，提高了產品性能。

為了實現上述目的，本實用新型提供了一種掩膜板。

一種掩膜板，包括蒸鍍面和背向所述蒸鍍面的玻璃面，所述掩膜板上陣列分布有多個蒸鍍開口，所述蒸鍍開口貫穿所述蒸鍍面和所述玻璃面，且所述蒸鍍開口包括在所述蒸鍍面上的第一開口和在所述玻璃面上的第二開口，所述第一開口在所述玻璃面上的正投影為第一投影開口，所述第一投影開口覆蓋所述第二開口；

其中，在拉伸掩膜板的第一方向上所述第一投影開口與第二開口之間的間距為第一間距，在與所述第一方向垂直的第二方向上所述第一投影開口與所述第二開口之間的間距為第二間距，所述第二間距小于所述第一間距。

上述掩膜板中，蒸鍍開口用于蒸鍍材料，并且蒸鍍開口在蒸鍍面和玻璃面上分別包括第一開口和第二開口，第一開口在玻璃面上的第一投影開口覆蓋第二開口，即第一開口大于第二開口。并且，第二間距小于第一間距，也就是第一開口和第二開口在第二方向上的間距，小于第一開口和第二開口在第一方向上的間距，所以第一開口在第二方向上的開口范圍小于其自身在第一方向上的開口范圍，如此掩膜板在第二方向上相鄰兩個第一開口之間的間距寬于在第一方向上相鄰兩個第一開口之間的間距，拉力沿第一方向傳遞的傳輸通道變寬，使掩膜板上承受拉力的受力面積變大，拉力的傳輸更加順暢，掩膜板不容易在拉力作用下產生褶皺，防止像素開口與背板上設計的像素位置異位，避免蒸鍍的有機材料混色，提高產品性能。

在其中一個實施例中，所述蒸鍍開口包括第一刻蝕孔和第二刻蝕孔，所述第一刻蝕孔具有所述第一開口，所述第二刻蝕孔具有所述第二開口；所述第一刻蝕孔在所述第一開口指向所述第二開口的方向上逐漸收攏，所述第二刻蝕孔在所述第二開口指向所述第一開口的方向上逐漸收攏至與所述第一刻蝕孔連通。

在其中一個實施例中，沿平行所述蒸鍍面的平面，所述第一刻蝕孔和所述第二刻蝕孔的橫截面均為矩形。