[實(shí)用新型]一種堆疊式頂升分片機(jī)構(gòu)有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201820705029.3 | 申請(qǐng)日: | 2018-05-13 |
| 公開(公告)號(hào): | CN208835085U | 公開(公告)日: | 2019-05-07 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 董華強(qiáng);謝威武;韓藝疇;鄧小明;夏德洪 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人: | 東莞晟能自動(dòng)化設(shè)備有限公司 |
| 主分類號(hào): | H01L31/18 | 分類號(hào): | H01L31/18;H01L21/677 |
| 代理公司: | 暫無信息 | 代理人: | 暫無信息 |
| 地址: | 523000 廣東省東莞市南*** | 國(guó)省代碼: | 廣東;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 硅片 載具 頂升 本實(shí)用新型 分片機(jī)構(gòu) 橫移機(jī)構(gòu) 堆疊式 抬升力 最頂端 風(fēng)刀 硅片升降裝置 對(duì)稱設(shè)置 風(fēng)刀機(jī)構(gòu) 風(fēng)機(jī)連接 橫向方向 機(jī)臺(tái)故障 驅(qū)動(dòng)連接 生產(chǎn)效率 豎直向上 送風(fēng)機(jī) 疊片 堆疊 兩組 裝入 驅(qū)動(dòng) 移動(dòng) | ||
本實(shí)用新型公開了一種堆疊式頂升分片機(jī)構(gòu),包括硅片載具,用于裝入堆疊好的硅片;載具橫移機(jī)構(gòu),設(shè)置在硅片載具下方并與之驅(qū)動(dòng)連接,以實(shí)現(xiàn)驅(qū)動(dòng)硅片載具沿橫向方向移動(dòng);硅片升降裝置,設(shè)置在載具橫移機(jī)構(gòu)的下方,并且與硅片載具對(duì)應(yīng)設(shè)置,以實(shí)現(xiàn)將硅片載具內(nèi)的硅片沿豎直向上的方向頂升輸送;風(fēng)刀機(jī)構(gòu),設(shè)置在硅片載具的旁側(cè),并與送風(fēng)機(jī)連接,能發(fā)出有規(guī)律的氣流,形成穩(wěn)定的抬升力,將最頂端的硅片與下方的硅片分離;本實(shí)用新型通過在硅片載具的兩側(cè)對(duì)稱設(shè)置兩組風(fēng)刀,風(fēng)刀與風(fēng)機(jī)連接,能夠發(fā)出有規(guī)律的氣流,形成穩(wěn)定的抬升力,將最頂端的硅片以下方的硅片分離,避免疊片的情況,減少機(jī)臺(tái)故障,提高產(chǎn)品的生產(chǎn)效率和品質(zhì)。
技術(shù)領(lǐng)域
本實(shí)用新型涉及自動(dòng)化設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域,尤其是涉及一種堆疊式頂升分片機(jī)構(gòu)。
背景技術(shù)
目前太陽能電池生產(chǎn)線或者光伏板生產(chǎn)線中,硅片上料大多是由操作者手動(dòng)來完成,不僅工作效率低,操作者的勞動(dòng)強(qiáng)度大,還由于人手接觸,導(dǎo)致硅片的光電轉(zhuǎn)化效率降低,甚至損壞硅片。另外,在生產(chǎn)過程中,還會(huì)設(shè)計(jì)到濕法工藝處理步驟,在經(jīng)過濕法工藝處理后,硅片的重量會(huì)存在不同程度的變化,若重量變化過大,則可判定該硅片為不良品,無法滿足工藝生產(chǎn)需求,應(yīng)該將不良品剔除,避免影響產(chǎn)品質(zhì)量,然而,現(xiàn)有技術(shù)中,并有可以全自動(dòng)檢測(cè)硅片重量的上料機(jī),因此,采用不良品的硅片制造出來的產(chǎn)品,因質(zhì)量而被召回,給企業(yè)帶來巨大的損失,因此申請(qǐng)人申請(qǐng)了一種自動(dòng)堆疊式上料機(jī),可以自動(dòng)輸送硅片,并且同日申請(qǐng)了實(shí)用新型專利,然而,自動(dòng)堆疊式上料在自動(dòng)輸送硅片的過程中,相鄰的兩片硅片之間會(huì)發(fā)生粘黏,無法分開,影響后續(xù)的生產(chǎn)工藝,因此需要改進(jìn)。
實(shí)用新型內(nèi)容
針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)存在的不足,本實(shí)用新型的目的是提供一種能夠?qū)⑾噜弮蓧K硅片分離的堆疊式頂升分片機(jī)構(gòu)。
為了實(shí)現(xiàn)上述目的,本實(shí)用新型所采用的技術(shù)方案是:
一種堆疊頂升分片機(jī)構(gòu),包括硅片載具,用于裝入堆疊好的硅片;載具橫移機(jī)構(gòu),設(shè)置在硅片載具下方并與之驅(qū)動(dòng)連接,以實(shí)現(xiàn)驅(qū)動(dòng)硅片載具沿橫向方向移動(dòng);硅片升降裝置,設(shè)置在載具橫移機(jī)構(gòu)的下方,并且與硅片載具對(duì)應(yīng)設(shè)置,以實(shí)現(xiàn)將硅片載具內(nèi)的硅片沿豎直向上的方向頂升輸送;風(fēng)刀機(jī)構(gòu),設(shè)置在硅片載具的旁側(cè),并與送風(fēng)機(jī)連接,能發(fā)出有規(guī)律的氣流,形成穩(wěn)定的抬升力,將最頂端的硅片與下方的硅片分離。
進(jìn)一步的技術(shù)方案中,所述硅片載具包括載物筐,載物筐的底板上設(shè)有通孔,載物筐底板的上方設(shè)有硅片托板,堆疊好的硅片放置在硅片托板上方,硅片托板能在載物筐內(nèi)沿豎直方向運(yùn)動(dòng)。
進(jìn)一步的技術(shù)方案中,所述載具橫移機(jī)構(gòu)包括固定底板,固定板設(shè)置在所述硅片升降裝置上方,固定底板的下方設(shè)有橫推氣缸,固定底板的表面設(shè)有滑軌副,滑軌副上設(shè)有橫移板,橫移板與橫推氣缸的輸出端驅(qū)動(dòng)連接,以實(shí)現(xiàn)在橫推氣缸的推動(dòng)下沿橫向方向來回移動(dòng),所述硅片載具固定在橫移板的表面或上方。
進(jìn)一步的技術(shù)方案中,所硅片述升降機(jī)構(gòu)包括升降底板、硅片頂桿、升降絲杠、升降滑塊和升降伺服電機(jī),升降底板固定連接所述載具橫移機(jī)構(gòu)的下方,升降滑塊固通過滑軌副與升降底板滑動(dòng)連接,硅片頂桿的一端與升降滑塊固定連接,另一端穿過通孔與所述硅片托板接觸,升降絲杠豎直設(shè)置在升降底板上,并與升降滑塊驅(qū)動(dòng)連接,升降伺服電機(jī)的動(dòng)力輸出端與升降絲杠驅(qū)動(dòng)連接。
進(jìn)一步的技術(shù)方案中,所述硅片頂桿與硅片托板的一端設(shè)有第一感應(yīng)器,用于檢測(cè)所述硅片載具中是否有硅片。
進(jìn)一步的技術(shù)方案中,所述風(fēng)刀機(jī)構(gòu)包括對(duì)稱設(shè)置在所述硅片載具前后兩側(cè)的風(fēng)刀安裝架,風(fēng)刀安裝架上設(shè)有左右對(duì)稱設(shè)置的第一風(fēng)刀和第二風(fēng)刀,第一風(fēng)刀和第二風(fēng)刀之間設(shè)有第二感應(yīng)器,第二感應(yīng)器用于檢測(cè)所述硅片升降裝置是否將最頂端硅片頂升到位。
進(jìn)一步的技術(shù)方案中,所述第二感應(yīng)器選用光纖感應(yīng)器。
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H01L 半導(dǎo)體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L31-00 對(duì)紅外輻射、光、較短波長(zhǎng)的電磁輻射,或微粒輻射敏感的,并且專門適用于把這樣的輻射能轉(zhuǎn)換為電能的,或者專門適用于通過這樣的輻射進(jìn)行電能控制的半導(dǎo)體器件;專門適用于制造或處理這些半導(dǎo)體器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半導(dǎo)體本體為特征的
H01L31-04 .用作轉(zhuǎn)換器件的
H01L31-08 .其中的輻射控制通過該器件的電流的,例如光敏電阻器
H01L31-12 .與如在一個(gè)共用襯底內(nèi)或其上形成的,一個(gè)或多個(gè)電光源,如場(chǎng)致發(fā)光光源在結(jié)構(gòu)上相連的,并與其電光源在電氣上或光學(xué)上相耦合的





