[實(shí)用新型]一種堆疊式頂升分片機(jī)構(gòu)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201820705029.3
• 申請(qǐng)日: 2018-05-13
• 公開（公告）號(hào): CN208835085U
• 公開（公告）日: 2019-05-07
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 董華強(qiáng);謝威武;韓藝疇;鄧小明;夏德洪
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 東莞晟能自動(dòng)化設(shè)備有限公司
• 主分類號(hào): H01L31/18
• 分類號(hào): H01L31/18;H01L21/677
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種堆疊式頂升分片機(jī)構(gòu)，其特征在于：包括

硅片載具，用于裝入堆疊好的硅片；

載具橫移機(jī)構(gòu)，設(shè)置在硅片載具下方并與之驅(qū)動(dòng)連接，以實(shí)現(xiàn)驅(qū)動(dòng)硅片載具沿橫向方向移動(dòng)；

硅片升降裝置，設(shè)置在載具橫移機(jī)構(gòu)的下方，并且與硅片載具對(duì)應(yīng)設(shè)置，以實(shí)現(xiàn)將硅片載具內(nèi)的硅片沿豎直向上的方向頂升輸送；

風(fēng)刀機(jī)構(gòu)，設(shè)置在硅片載具的旁側(cè)，并與送風(fēng)機(jī)連接，能發(fā)出有規(guī)律的氣流，形成穩(wěn)定的抬升力，將最頂端的硅片與下方的硅片分離。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種堆疊式頂升分片機(jī)構(gòu)，其特征在于：所述硅片載具包括載物筐，載物筐的底板上設(shè)有通孔，載物筐底板的上方設(shè)有硅片托板，堆疊好的硅片放置在硅片托板上方，硅片托板能在載物筐內(nèi)沿豎直方向運(yùn)動(dòng)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種堆疊式頂升分片機(jī)構(gòu)，其特征在于：所述載具橫移機(jī)構(gòu)包括固定底板，固定板設(shè)置在所述硅片升降裝置上方，固定底板的下方設(shè)有橫推氣缸，固定底板的表面設(shè)有滑軌副，滑軌副上設(shè)有橫移板，橫移板與橫推氣缸的輸出端驅(qū)動(dòng)連接，以實(shí)現(xiàn)在橫推氣缸的推動(dòng)下沿橫向方向來回移動(dòng)，所述硅片載具固定在橫移板的表面或上方。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種堆疊式頂升分片機(jī)構(gòu)，其特征在于：所硅片述升降機(jī)構(gòu)包括升降底板、硅片頂桿、升降絲杠、升降滑塊和升降伺服電機(jī)，升降底板固定連接所述載具橫移機(jī)構(gòu)的下方，升降滑塊固通過滑軌副與升降底板滑動(dòng)連接，硅片頂桿的一端與升降滑塊固定連接，另一端穿過通孔與所述硅片托板接觸，升降絲杠豎直設(shè)置在升降底板上，并與升降滑塊驅(qū)動(dòng)連接，升降伺服電機(jī)的動(dòng)力輸出端與升降絲杠驅(qū)動(dòng)連接。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種堆疊式頂升分片機(jī)構(gòu)，其特征在于：所述硅片頂桿與硅片托板的一端設(shè)有第一感應(yīng)器，用于檢測所述硅片載具中是否有硅片。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種堆疊式頂升分片機(jī)構(gòu)，其特征在于：所述風(fēng)刀機(jī)構(gòu)包括對(duì)稱設(shè)置在所述硅片載具前后兩側(cè)的風(fēng)刀安裝架，風(fēng)刀安裝架上設(shè)有左右對(duì)稱設(shè)置的第一風(fēng)刀和第二風(fēng)刀，第一風(fēng)刀和第二風(fēng)刀之間設(shè)有第二感應(yīng)器，第二感應(yīng)器用于檢測所述硅片升降裝置是否將最頂端硅片頂升到位。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種堆疊式頂升分片機(jī)構(gòu)，其特征在于：所述第二感應(yīng)器選用光纖感應(yīng)器。