[實用新型]清洗裝置

有效

• 申請號: 201820692842.1
• 申請日: 2018-05-10
• 公開（公告）號: CN208157373U
• 公開（公告）日: 2018-11-27
• 發明（設計）人: 黃富源;吳宗恩;王志成
• 申請（專利權）人: 弘塑科技股份有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67
• 代理公司: 上海翼勝專利商標事務所(普通合伙) 31218
• 代理人: 翟羽

1.一種清洗裝置，用于去除一芯片堆疊結構上的殘留物，所述芯片堆疊結構包含一基板和多個芯片，所述芯片與所述基板相隔一間隙，以及所述殘留物位在所述芯片與所述基板之間的所述間隙中，其特征在于，所述清洗裝置包含：

一承載臺，用于放置所述芯片堆疊結構；

一供液裝置，用于施加一清洗液體至所述芯片堆疊結構的所述基板上，使得所述清洗液體沿著所述間隙的第一側流入所述間隙內；以及

一抽液裝置，用于提供一負壓以將位在所述間隙內的所述清洗液體通過所述間隙的第二側抽出，并且連帶地帶出所述殘留物，其中所述抽液裝置包含：

一抽出口；以及

一柔性遮蔽罩，環繞地設置在所述抽出口周圍，用于與所述芯片堆疊結構接觸，并且阻擋通過所述間隙的所述第二側抽出的所述清洗液體和氣體外逸，使得所述清洗液體和氣體會通過所述抽出口被抽出。

2.如權利要求1所述的清洗裝置，其特征在于，所述柔性遮蔽罩的材料包含聚乙烯醇海綿。

3.如權利要求1所述的清洗裝置，其特征在于，所述清洗裝置還包含：一精密驅動裝置，用于控制所述抽液裝置相對所述承載臺沿著一垂直方向移動和沿著一水平方向移動。

4.如權利要求3所述的清洗裝置，其特征在于，所述精密驅動裝置包含一垂直升降機構用于控制所述抽液裝置相對所述承載臺沿著一垂直方向移動，所述垂直升降機構包括步進馬達。

5.如權利要求3所述的清洗裝置，其特征在于，所述精密驅動裝置包含一水平移動機構用于控制所述抽液裝置相對所述承載臺沿著一水平方向移動，所述水平移動機構包括步X-Y軸坐標工作桌(X-Y Table)。

6.如權利要求5所述的清洗裝置，其特征在于，所述水平移動機構還可用于控制所述供液裝置的水平移動。

7.如權利要求1所述的清洗裝置，其特征在于，所述清洗裝置還包含：一荷重計，其一端與所述抽液裝置接觸以偵測所述抽液裝置施加在所述芯片堆疊結構上的壓力值。

8.如權利要求1所述的清洗裝置，其特征在于，所述清洗裝置還包含：一氣液分離裝置，與所述抽液裝置連接，用于將通過所述抽出口抽出的所述清洗液體和所述氣體分離。

9.如權利要求1所述的清洗裝置，其特征在于，所述清洗裝置還包含：一負壓感測器，與所述抽液裝置連接，用以偵測當所述抽液裝置的所述柔性遮蔽罩與所述芯片堆疊結構接觸時，所述抽液裝置與所述芯片堆疊結構之間的負壓值。

10.一種清洗裝置，用于去除一芯片堆疊結構上的殘留物，所述芯片堆疊結構包含一基板和多個芯片，所述芯片與所述基板相隔一間隙，以及所述殘留物位在所述芯片與所述基板之間的所述間隙中，其特征在于，所述清洗裝置包含：

一承載臺，用于放置所述芯片堆疊結構；

一供液裝置，用于施加一清洗液體至所述芯片堆疊結構的所述基板上，使得所述清洗液體沿著所述間隙的第一側流入所述間隙內；

一抽液裝置，用于提供一負壓以將位在所述間隙內的所述清洗液體通過所述間隙的第二側抽出，并且連帶地帶出所述殘留物；以及

一精密驅動裝置，用于控制所述抽液裝置相對所述承載臺沿著一垂直方向移動和沿著一水平方向移動，其中所述精密驅動裝置包含：

一垂直升降機構，用于控制所述抽液裝置相對所述承載臺沿著一垂直方向移動，所述垂直升降機構包括步進馬達；以及

一水平移動機構，用于控制所述抽液裝置相對所述承載臺沿著一水平方向移動，所述水平移動機構包括步X-Y軸坐標工作桌(X-Y Table)。

11.如權利要求10所述的清洗裝置，其特征在于，所述水平移動機構還可用于控制所述供液裝置的水平移動。