[實(shí)用新型]一種能夠提高鍍膜均勻性的石墨載具

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201820681766.4
• 申請(qǐng)日: 2018-05-09
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN208336169U
• 公開(kāi)（公告）日: 2019-01-04
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 韓曉輝;秦積海
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 晉能清潔能源科技股份公司
• 主分類(lèi)號(hào): H01L21/673
• 分類(lèi)號(hào): H01L21/673;H01L21/67;H01L31/18
• 代理公司: 鎮(zhèn)江京科專(zhuān)利商標(biāo)代理有限公司 32107
• 代理人: 夏哲華

本實(shí)用新型的能夠提高鍍膜均勻性的石墨載具，沉積爐內(nèi)設(shè)置若干橫向并列的能夠裝載太陽(yáng)能晶硅電池片的石墨舟，每片石墨舟通過(guò)支撐架支撐固定，相鄰支撐架之間通過(guò)陶瓷支撐套分隔支撐，支撐架之間距離不均勻，位于外側(cè)的支撐架上石墨舟中的太陽(yáng)能晶硅電池片之間距離大于位于內(nèi)側(cè)的支撐架上石墨舟中的太陽(yáng)能晶硅電池片之間距離，從外側(cè)向內(nèi)側(cè)支撐架上石墨舟中的太陽(yáng)能晶硅電池片間距逐漸縮小，以提高電場(chǎng)強(qiáng)度，補(bǔ)償因溫度不同導(dǎo)致的膜層沉積速度的不同，實(shí)現(xiàn)了對(duì)膜層沉積速度的有效控制，使得膜層厚度均勻性表現(xiàn)更為優(yōu)異。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及一種能夠提高鍍膜均勻性的石墨載具。

背景技術(shù)

太陽(yáng)能晶硅電池需在電池片表面通過(guò)相關(guān)工藝生成減反射鈍化氮化硅膜，以確保太陽(yáng)能晶硅電池工作效率，太陽(yáng)能晶硅電池一般通過(guò)管式等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積法鍍膜，以提高電池片表面鈍化、減小太陽(yáng)光在硅片表面的反射，從而提高光電轉(zhuǎn)換效率；膜層的外觀顏色主要體現(xiàn)在膜層的厚度上，單位時(shí)間膜層的沉積厚度是關(guān)鍵控制的因子，管式等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積法沉積速率受很多因素影響，如硅烷和氨氣氣體總量和比例、熱場(chǎng)、電場(chǎng)強(qiáng)度、載片間距等，而整個(gè)區(qū)域的溫度均衡需要長(zhǎng)時(shí)間的等待才可以滿(mǎn)足工藝需求，但產(chǎn)能需求要求盡可能短的溫度穩(wěn)定時(shí)間；因此如何平衡熱場(chǎng)和產(chǎn)能對(duì)時(shí)間的矛盾成為的核心技術(shù)矛盾；現(xiàn)有技術(shù)中的管式等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積法使用的石墨載具載片為等距分布，該載具保證了硅片間電池強(qiáng)度的高度一致，但未考慮由加熱原理導(dǎo)致的載具外側(cè)硅片升溫速度快，而內(nèi)部升溫速度慢的現(xiàn)象，由于內(nèi)外溫度的不同，膜層沉積速度會(huì)有明顯變化，導(dǎo)致外側(cè)載片上的硅片膜厚較厚，整個(gè)載具內(nèi)硅片間膜厚跨度大，顏色分布廣；而隨著光伏發(fā)電的推廣應(yīng)用，特別是家庭分布式電站對(duì)太陽(yáng)能電池組件外觀的裝飾性需求越來(lái)越高，因此提高鍍膜顏色外觀的一致性顯得尤為重要；等節(jié)距載具要實(shí)現(xiàn)膜厚集中，需要更長(zhǎng)的溫度穩(wěn)定時(shí)間，還影響了單位時(shí)間成品輸出產(chǎn)量。

發(fā)明內(nèi)容

本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問(wèn)題是，提供一種能夠提高電場(chǎng)強(qiáng)度，適應(yīng)不同區(qū)域不同溫度的膜層沉積速度，有效控制膜層厚度，能夠提高鍍膜均勻性的石墨載具。

本實(shí)用新型的能夠提高鍍膜均勻性的石墨載具，包括沉積爐，沉積爐內(nèi)設(shè)置有若干橫向并列設(shè)置的能夠裝載太陽(yáng)能晶硅電池片的石墨舟，每片石墨舟通過(guò)支撐架支撐固定，相鄰支撐架之間通過(guò)陶瓷支撐套分隔支撐，其特征在于：所述每片支撐架上石墨舟中的太陽(yáng)能晶硅電池片與相鄰支撐架上石墨舟中的太陽(yáng)能晶硅電池片之間距離不均勻，位于外側(cè)的支撐架上石墨舟中的太陽(yáng)能晶硅電池片之間距離大于位于內(nèi)側(cè)的支撐架上石墨舟中的太陽(yáng)能晶硅電池片架之間距離；

所述位于外側(cè)的第一根支撐架上石墨舟中的太陽(yáng)能晶硅電池片與第二根支撐架上石墨舟中的太陽(yáng)能晶硅電池片之間距離最大，位于內(nèi)側(cè)的最后一根支撐架上石墨舟中的太陽(yáng)能晶硅電池片與倒數(shù)第二根支撐架上石墨舟中的太陽(yáng)能晶硅電池片之間距離最小；外側(cè)第一根支撐架上石墨舟中的太陽(yáng)能晶硅電池片與第二根支撐架上石墨舟中的太陽(yáng)能晶硅電池片之間距離至內(nèi)側(cè)最后一根支撐架上石墨舟中的太陽(yáng)能晶硅電池片與倒數(shù)第二根支撐架上石墨舟中的太陽(yáng)能晶硅電池片之間距離依次縮小；

所述相鄰支撐架上石墨舟中的太陽(yáng)能晶硅電池片之間距離變化由陶瓷支撐套長(zhǎng)度分隔支撐構(gòu)成；

所述陶瓷支撐套的長(zhǎng)度變化系數(shù)為：

……以此類(lèi)推；

所述……值由傳統(tǒng)等距離陶瓷支撐套造成的太陽(yáng)能晶硅電池片片鍍膜層變化規(guī)律計(jì)算得出補(bǔ)償系數(shù)；

所述沉積爐為等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積爐；

所述沉積爐內(nèi)并列設(shè)置有240片石墨舟，支撐架上石墨舟中的太陽(yáng)能晶硅電池片為常規(guī)P型156多晶硅片。