[實用新型]一種能夠提高鍍膜均勻性的石墨載具

有效

• 申請號: 201820681766.4
• 申請日: 2018-05-09
• 公開（公告）號: CN208336169U
• 公開（公告）日: 2019-01-04
• 發明（設計）人: 韓曉輝;秦積海
• 申請（專利權）人: 晉能清潔能源科技股份公司
• 主分類號: H01L21/673
• 分類號: H01L21/673;H01L21/67;H01L31/18
• 代理公司: 鎮江京科專利商標代理有限公司 32107
• 代理人: 夏哲華

1.一種能夠提高鍍膜均勻性的石墨載具，包括沉積爐，沉積爐內設置有若干橫向并列設置的能夠裝載太陽能晶硅電池片(1)的石墨舟，每片石墨舟通過支撐架支撐固定，相鄰支撐架之間通過陶瓷支撐套(2)分隔支撐，其特征在于：所述每片支撐架上石墨舟中的太陽能晶硅電池片(1)與相鄰支撐架上石墨舟中的太陽能晶硅電池片(1)之間距離不均勻，位于外側的支撐架上石墨舟中的太陽能晶硅電池片(1)之間距離大于位于內側的支撐架上石墨舟中的太陽能晶硅電池片(1)架之間距離。

2.根據權利要求1所述能夠提高鍍膜均勻性的石墨載具，其特征在于：所述位于外側的第一根支撐架上石墨舟中的太陽能晶硅電池片(1)與第二根支撐架上石墨舟中的太陽能晶硅電池片(1)之間距離最大，位于內側的最后一根支撐架上石墨舟中的太陽能晶硅電池片(1)與倒數第二根支撐架上石墨舟中的太陽能晶硅電池片(1)之間距離最小；外側第一根支撐架上石墨舟中的太陽能晶硅電池片(1)與第二根支撐架上石墨舟中的太陽能晶硅電池片(1)之間距離至內側最后一根支撐架上石墨舟中的太陽能晶硅電池片(1)與倒數第二根支撐架上石墨舟中的太陽能晶硅電池片(1)之間距離依次縮小。

3.根據權利要求1所述能夠提高鍍膜均勻性的石墨載具，其特征在于：所述相鄰支撐架上石墨舟中的太陽能晶硅電池片(1)之間距離變化由陶瓷支撐套(2)長度分隔支撐構成。

4.根據權利要求1所述能夠提高鍍膜均勻性的石墨載具，其特征在于：所述陶瓷支撐套(2)的長度變化系數為：

……以此類推。

5.根據權利要求1所述能夠提高鍍膜均勻性的石墨載具，其特征在于：所述……值由傳統等長度陶瓷支撐套造成的太陽能晶硅電池片鍍膜層變化規律計算得出補償系數。

6.根據權利要求1所述能夠提高鍍膜均勻性的石墨載具，其特征在于：所述沉積爐為等離子體增強化學氣相沉積爐。

7.根據權利要求1所述能夠提高鍍膜均勻性的石墨載具，其特征在于：所述沉積爐內并列設置有240片石墨舟，支撐架上石墨舟中的太陽能晶硅電池片(1)為常規P型156多晶硅片。