[實用新型]一種晶舟盒微污染檢測設備

有效

• 申請號: 201820675206.8
• 申請日: 2018-05-07
• 公開（公告）號: CN208520747U
• 公開（公告）日: 2019-02-19
• 發明（設計）人: 張家如
• 申請（專利權）人: 上海密亞科技有限公司
• 主分類號: G01N21/25
• 分類號: G01N21/25;G01N21/00;G01N33/00;G01N27/62
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本實用新型公開了一種晶舟盒微污染檢測設備，用以檢測晶圓搬運盒，包括承載座、第一氣體供應模塊、第一檢測器、第一通道、以及第二氣體供應模塊。承載座設有第一通孔和第二通孔。第一氣體供應模塊連接第一通孔。第一通道連接第二通孔與第一檢測器。當晶圓搬運盒設置在承載座上時，第一氣體供應模塊提供第一氣體通過晶圓搬運盒進入第一檢測器，第二氣體供應模塊提供第二氣體進入第一檢測器。當晶圓搬運盒由承載座上去除時，第一氣體供應模塊停止供應第一氣體，第二氣體通過第一通道并由第二通孔排出晶舟盒微污染檢測設備。該實用新型具有實時監控、檢測時間短、檢測效率高的特點。

技術領域

本實用新型涉及檢測技術領域，具體是一種晶舟盒微污染檢測設備。

背景技術

一般檢測晶圓搬運盒內氣體元素是否符合標準時，需利用多個晶舟盒微污染檢測設備以檢測不同的元素，如此一來除了耗費大量的檢測時間，晶圓搬運盒在晶舟盒微污染檢測設備之間的移動也導致時間的消耗，使檢測效率難以提升。再者，檢測時晶圓搬運盒內的元素可能會污染晶舟盒微污染檢測設備，使晶舟盒微污染檢測設備在檢測另一晶圓搬運盒產生不準確的結果。

實用新型內容

本實用新型所要解決的技術問題是提供一種檢測精度高、檢測時間短的晶舟盒微污染檢測設備。

為了實現上述目的，本實用新型晶舟盒微污染檢測設備，包括：

承載座，具有第一通孔和第二通孔；

第一氣體供應模塊，連接所述第一通孔；

第一檢測器；

第一通道，連接所述第二通孔與所述第一檢測器；

第二氣體供應模塊，連接所述第一通道；

感測組件，電性連接所述承載座及所述第一氣體供應模塊，當晶圓搬運盒設置于所述承載座上時，第一氣體供應模塊提供第一氣體由所述第一通孔進入晶圓搬運盒，并由所述第二通孔離開晶圓搬運盒，接著通過所述第一通道進入所述第一檢測器，且所述第二氣體供應模塊提供第二氣體通過所述第一通道進入所述第一檢測器，當晶圓搬運盒從所述承載座上去除時，感測組件傳送信號至所述第一氣體供應模塊使所述第一氣體供應模塊停止供應所述第一氣體，所述第二氣體供應模塊提供的所述第二氣體通過所述第一通道并由所述第二通孔排出晶舟盒微污染檢測設備。

上述的晶舟盒微污染檢測設備，其中，還包括：

主通道，連接所述第二通孔和所述第一通道；

第二檢測器；

第二通道，連接所述主通道和所述第二檢測器，所述第二氣體供應模塊連接所述第二通道。

上述的晶舟盒微污染檢測設備，其中，還包括第一電磁閥和第二電磁閥，所述第一電磁閥設置于所述第二氣體供應模塊和所述第一通道之間，且所述第二電磁閥設置于所述第二氣體供應模塊和所述第二通道之間。

上述的晶舟盒微污染檢測設備，其中，還包括：

主電磁閥；連接所述主通道與所述第一通道；

第一連接管，連接所述第二通孔與所述主電磁閥；

第二連接管，其中所述承載座還包括第三通孔和第四通孔，所述第三通孔連接所述第一氣體供應模塊，且所述第二連接管連接所述第四通孔與所述主電磁閥。

上述的晶舟盒微污染檢測設備，其中，還包括排氣通道，連接所述第一檢測器與外部環境。

上述的晶舟盒微污染檢測設備，其中，還包括泵，設置于所述排氣通道或所述第一通道內。