[實用新型]一種晶舟盒微污染檢測設備

有效

• 申請號: 201820675206.8
• 申請日: 2018-05-07
• 公開（公告）號: CN208520747U
• 公開（公告）日: 2019-02-19
• 發明（設計）人: 張家如
• 申請（專利權）人: 上海密亞科技有限公司
• 主分類號: G01N21/25
• 分類號: G01N21/25;G01N21/00;G01N33/00;G01N27/62
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種晶舟盒微污染檢測設備，其特征在于，包括：

承載座，具有第一通孔和第二通孔；

第一氣體供應模塊，連接所述第一通孔；

第一檢測器；

第一通道，連接所述第二通孔與所述第一檢測器；

第二氣體供應模塊，連接所述第一通道；

感測組件，電性連接所述承載座及所述第一氣體供應模塊，當晶圓搬運盒設置于所述承載座上時，第一氣體供應模塊提供第一氣體由所述第一通孔進入晶圓搬運盒，并由所述第二通孔離開晶圓搬運盒，接著通過所述第一通道進入所述第一檢測器，且所述第二氣體供應模塊提供第二氣體通過所述第一通道進入所述第一檢測器，當晶圓搬運盒從所述承載座上去除時，感測組件傳送信號至所述第一氣體供應模塊使所述第一氣體供應模塊停止供應所述第一氣體，所述第二氣體供應模塊提供的所述第二氣體通過所述第一通道并由所述第二通孔排出晶舟盒微污染檢測設備。

2.如權利要求1所述的晶舟盒微污染檢測設備，其特征在于，還包括：

主通道，連接所述第二通孔和所述第一通道；

第二檢測器；

第二通道，連接所述主通道和所述第二檢測器，所述第二氣體供應模塊連接所述第二通道。

3.如權利要求2所述的晶舟盒微污染檢測設備，其特征在于：還包括第一電磁閥和第二電磁閥，所述第一電磁閥設置于所述第二氣體供應模塊和所述第一通道之間，且所述第二電磁閥設置于所述第二氣體供應模塊和所述第二通道之間。

4.如權利要求2所述的晶舟盒微污染檢測設備，其特征在于，還包括：

主電磁閥；連接所述主通道與所述第一通道；

第一連接管，連接所述第二通孔與所述主電磁閥；

第二連接管，其中所述承載座還包括第三通孔和第四通孔，所述第三通孔連接所述第一氣體供應模塊，且所述第二連接管連接所述第四通孔與所述主電磁閥。

5.如權利要求1所述的晶舟盒微污染檢測設備，其特征在于，還包括排氣通道，連接所述第一檢測器與外部環境。

6.如權利要求5所述的晶舟盒微污染檢測設備，其特征在于，還包括泵，設置于所述排氣通道或所述第一通道內。

7.如權利要求1所述的晶舟盒微污染檢測設備，其特征在于，還包括殼體和氣體分析組件，所述第一氣體供應模塊、所述第一檢測器、所述第一通道、所述第二氣體供應模塊、所述感測組件以及所述氣體分析組件設置于所述殼體內，且所述承載座凸出于所述殼體表面，其中所述氣體分析組件用以測量所述殼體內的氣體濃度或成分。

8.如權利要求1所述的晶舟盒微污染檢測設備，其特征在于，所述第一氣體供應模塊包括質流控制器。

9.如權利要求1所述的晶舟盒微污染檢測設備，其特征在于，所述第一氣體包括氮氣，第二氣體包括干燥干凈氣體。

10.如權利要求1所述的晶舟盒微污染檢測設備，其特征在于，所述第一檢測器包括離子電泳光譜分析儀、光游離偵測器、氟化氫氣體分析儀或飛行時間質譜儀。