[實用新型]一種抗光衰機臺溫控系統有效
| 申請號: | 201820670895.3 | 申請日: | 2018-05-07 |
| 公開(公告)號: | CN208422867U | 公開(公告)日: | 2019-01-22 |
| 發明(設計)人: | 王振交;艾凡凡;韓培育 | 申請(專利權)人: | 蘇州中世太新能源科技有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/67 | 分類號: | H01L21/67;H01L31/18 |
| 代理公司: | 南京科知維創知識產權代理有限責任公司 32270 | 代理人: | 梁珺 |
| 地址: | 215121 江蘇省蘇州市工業*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 溫控系統 光衰 機臺 加熱模塊 冷卻模塊 溫度量測 電注入 加熱板 氣冷 非接觸式溫度傳感器 壓縮空氣吹氣 本實用新型 抽風管道 吹風冷卻 多點測溫 溫度超過 系統提供 效率提升 自控開關 散熱 加電 排出 腔內 熱排 溫控 加熱 發熱 冷卻 測量 反饋 | ||
1.一種抗光衰機臺溫控系統,其特征在于包括:
電注入腔,所述電注入腔具有頂壁、底壁和相對的第一側壁和第二側壁,所述兩個側壁設置于所述頂壁和所述底壁之間;
加熱模塊,所述加熱模塊包括上電極板、下電極板、上升降桿、下升降桿、上氣缸和下氣缸,所述上電極板和所述下電極板沿豎直方向相對地設置于所述電注入腔內,所述上升降桿穿設于所述頂壁,所述上升降桿的一端連接于所述上電極板,所述上升降桿的另一端連接于所述上氣缸的輸出端,所述下升降桿穿設于所述底壁,所述下升降桿的一端連接于所述下電極板,所述下升降桿的另一端連接于所述下氣缸的輸出端;
溫度量測模塊,所述溫度量測模塊包括多個非接觸式溫度傳感器,所述非接觸式溫度傳感器設置在所述電注入腔內;以及冷卻模塊,所述冷卻模塊包括兩個吹氣孔和冷卻風產生部,所述兩個吹氣孔沿水平方向分別設在所述第一側壁和第二側壁上,且所述兩個吹氣孔在豎直方向上對應于所述上電極板和所述下電極板之間的位置,所述冷卻風產生部電性連接于所述溫度量測模塊,所述冷卻風產生部用以根據所述溫度量測模塊檢測到的溫度值高低并通過所述兩個吹氣孔向所述電注入腔內吹入壓縮空氣。
2.如權利要求1所述的抗光衰機臺溫控系統,其特征在于所述上電極板和所述下電極板里均安裝有加熱絲。
3.如權利要求1所述的抗光衰機臺溫控系統,其特征在于所述上電極板和所述下電極板為兩個通電后為產品注入電流的電極。
4.如權利要求1所述的抗光衰機臺溫控系統,其特征在于所述加熱模塊還包括電池片載片盒,所述電池片載片盒位于所述上電極板和所述下電極板之間。
5.如權利要求1所述的抗光衰機臺溫控系統,其特征在于所述多個非接觸式溫度傳感器分別安裝在所述電注入腔的腔體內壁上。
6.如權利要求1所述的抗光衰機臺溫控系統,其特征在于所述多個非接觸式溫度傳感器分別安裝在所述上升降桿和所述下升降桿上。
7.如權利要求1所述的抗光衰機臺溫控系統,其特征在于還包括外部恒流源,所述外部恒流源電性連接于所述上電極板和所述下電極板。
8.如權利要求1所述的抗光衰機臺溫控系統,其特征在于所述冷卻風產生部包括用以控制冷卻風開啟或停止的自控開關,所述自控開關用以在所述溫度量測模塊檢測到的溫度值超過預設值時開啟吹入壓縮空氣且在所述溫度量測模塊檢測到的溫度值低于所述預設值時停止吹入壓縮空氣。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





