[實(shí)用新型]一種用于二極管制備的酸洗機(jī)有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201820655478.1 | 申請(qǐng)日: | 2018-05-03 |
| 公開(公告)號(hào): | CN208077946U | 公開(公告)日: | 2018-11-09 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 黃發(fā)良;黃祥旺;黃志和 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人: | 黃山市弘泰電子有限公司 |
| 主分類號(hào): | H01L21/67 | 分類號(hào): | H01L21/67;H01L21/329 |
| 代理公司: | 深圳市百瑞專利商標(biāo)事務(wù)所(普通合伙) 44240 | 代理人: | 李振泉;楊大慶 |
| 地址: | 245614*** | 國(guó)省代碼: | 安徽;34 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 酸洗 二極管 酸洗槽 循環(huán)冷卻水箱 酸洗機(jī) 通管 制備 本實(shí)用新型 冷卻水盤管 隔離 料盤 驅(qū)動(dòng)裝置 上下運(yùn)動(dòng) 制備過程 便捷性 內(nèi)壁 | ||
1.一種用于二極管制備的酸洗機(jī),其特征在于:包括機(jī)體,機(jī)體的底部設(shè)置有循環(huán)冷卻水箱,循環(huán)冷卻水箱的上方設(shè)置有酸洗臺(tái),酸洗臺(tái)上設(shè)置有一組酸洗槽,酸洗槽內(nèi)設(shè)置有和循環(huán)冷卻水箱相接的冷卻水盤管,酸洗槽內(nèi)設(shè)置有可提出的酸洗隔離通管,冷卻水盤管設(shè)置在酸洗隔離通管和酸洗槽內(nèi)壁之間;酸洗隔離通管內(nèi)設(shè)置有酸洗料盤,酸洗料盤上設(shè)置有用于帶動(dòng)其上下運(yùn)動(dòng)的驅(qū)動(dòng)裝置。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于二極管制備的酸洗機(jī),其特征在于:機(jī)體位于酸洗臺(tái)的上方設(shè)置有掛鉤,掛鉤上設(shè)置有掛繩;酸洗料盤上設(shè)置有提手,掛繩的另一端系在提手上;機(jī)體上還設(shè)置有和用于驅(qū)動(dòng)掛鉤上下運(yùn)動(dòng)的氣動(dòng)裝置。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于二極管制備的酸洗機(jī),其特征在于:循環(huán)冷卻水箱連接設(shè)置有水冷設(shè)備。
4.根據(jù)權(quán)利要求1至3任意一項(xiàng)所述的用于二極管制備的酸洗機(jī),其特征在于:機(jī)體還設(shè)置有抽風(fēng)裝置,抽風(fēng)裝置對(duì)應(yīng)各酸洗槽均設(shè)置有抽風(fēng)管。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的用于二極管制備的酸洗機(jī),其特征在于:酸洗槽呈圓柱狀,冷卻水盤管緊貼酸洗槽內(nèi)壁設(shè)置。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于二極管制備的酸洗機(jī),其特征在于:酸洗隔離通管的外側(cè)壁設(shè)置有若干個(gè)通孔。
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H01L 半導(dǎo)體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個(gè)器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測(cè)試或測(cè)量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個(gè)固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





