[實用新型]電漿火炬

有效

• 申請號: 201820649918.2
• 申請日: 2018-05-03
• 公開（公告）號: CN208353689U
• 公開（公告）日: 2019-01-08
• 發明（設計）人: 徐逸明;王立民;王齊中
• 申請（專利權）人: 馗鼎奈米科技股份有限公司
• 主分類號: H05H1/34
• 分類號: H05H1/34
• 代理公司: 北京律誠同業知識產權代理有限公司 11006
• 代理人: 徐金國

一種電漿火炬。此電漿火炬包含外電極、內電極、以及噴嘴。外電極具有腔室，腔室的末端具有開口。內電極設于外電極內的腔室中，并相對于腔室的開口。噴嘴接合于外電極的開口，其中噴嘴具有主要開孔以及數個凹槽，這些凹槽設于主要開孔的外緣且與主要開孔連通。主要開孔中的大氣流有分流會旋入凹槽中而破壞大氣流，可破壞因大氣流所造成的電漿被局限在中心區域的機制，因此可放大電漿火炬的電漿區域，使得電漿火炬可進行大面積的電漿處理。

技術領域

本實用新型是有關于一種電漿裝置，且特別是有關于一種電漿火炬(PlasmaTorch)。

背景技術

電漿火炬是一種常見的大氣電漿裝置。電漿火炬產生電漿的基本原理為高壓電端的電極對接地端的電極放電后產生電弧。工作氣體所形成的旋轉氣流可穩定電弧，在此同時工作氣體也會被電弧解離而形成電漿。

由于冷空氣的密度熱空氣較大，因此冷空氣被旋轉氣流帶動旋轉后，容易因離心力的緣故而保持在外側旋轉。而密度較低的熱空氣則會被局限在中心區域。電漿通常朝氣體密度較低的方向移動，由于密度較低的熱空氣局限在中心區域，因此電漿也會局限在中心區域。電漿火炬這樣的電漿輸出型態無法達到大面積的電漿處理。

實用新型內容

因此，本實用新型的一目的就是在提供一種電漿火炬，其噴嘴具有主要開孔、以及數個微小凹槽設于主要開孔外緣。由于氣流可旋入各微小凹槽中而破壞主要開孔中的大旋轉氣流，因大氣流旋轉所造成的電漿被局限在中心區域的機制會被旋入凹槽的分流破壞，因此可放大電漿火炬的電漿區域，使得電漿火炬可進行大面積的電漿處理。

根據本實用新型的上述目的，提出一種電漿火炬。此電漿火炬包含外電極、內電極、以及噴嘴。外電極具有腔室，腔室的末端具有開口。內電極設于外電極內的腔室中，并相對于腔室的開口。噴嘴接合于外電極的開口，其中噴嘴具有主要開孔以及數個凹槽，這些凹槽設于主要開孔的外緣且與主要開孔連通。

依據本實用新型的一實施例，上述的凹槽等間距排列于主要開孔的外緣。

依據本實用新型的一實施例，上述的主要開孔為圓形開孔，這些凹槽基于圓形開孔的中心環狀排列。

依據本實用新型的一實施例，上述的主要開孔的形狀為圓形、橢圓、或多邊形。

依據本實用新型的一實施例，上述的凹槽的形狀為圓弧、橢圓弧、或多邊形。

依據本實用新型的一實施例，上述的噴嘴為金屬噴嘴或陶瓷噴嘴。

依據本實用新型的一實施例，上述的主要開孔的中心軸與該外電極的中心軸平行。

依據本實用新型的一實施例，上述的主要開孔的中心軸與外電極的中心軸不平行。

附圖說明

為讓本實用新型的上述和其他目的、特征、優點與實施例能更明顯易懂，所附附圖的說明如下：

圖1是繪示依照本實用新型的一實施方式的一種電漿火炬的裝置示意圖；

圖2A與圖2B是分別繪示依照本實用新型的一實施方式的一種電漿火炬的噴嘴的上視示意圖與局部放大上視示意圖；

圖3A與圖3B是分別繪示依照本實用新型的一實施方式的一種電漿火炬的噴嘴的上視示意圖與局部放大上視示意圖；

圖4A與圖4B是分別繪示依照本實用新型的一實施方式的一種電漿火炬的噴嘴的上視示意圖與局部放大上視示意圖；以及

圖5是繪示依照本實用新型的一實施方式的一種電弧式大氣電漿裝置的噴嘴的剖面示意圖。

具體實施方式