[實用新型]電漿火炬有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201820649918.2 | 申請日： | 2018-05-03 |
| 公開（公告）號： | CN208353689U | 公開（公告）日： | 2019-01-08 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 徐逸明;王立民;王齊中 | 申請（專利權(quán)）人： | 馗鼎奈米科技股份有限公司 |
| 主分類號： | H05H1/34 | 分類號： | H05H1/34 |
| 代理公司： | 北京律誠同業(yè)知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金國 |
| 地址： | 中國臺灣臺南市永康區(qū)亞*** | 國省代碼： | 中國臺灣;71 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 電漿火炬 外電極 開孔 腔室 噴嘴 大氣流 開口 內(nèi)電極 電漿處理 電漿區(qū)域 中心區(qū)域 接合 電漿 旋入 連通 放大 分流 局限 | ||
1.一種電漿火炬，其特征在于，該電漿火炬包含：
一外電極，其中該外電極具有一腔室，該腔室的一末端具有一開口；
一內(nèi)電極，設(shè)于該外電極內(nèi)的該腔室中，并相對于該腔室的該開口；以及
一噴嘴，接合于該外電極的該開口，其中該噴嘴具有一主要開孔以及多個凹槽，所述多個凹槽設(shè)于該主要開孔的一外緣且與該主要開孔連通。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電漿火炬，其特征在于，所述多個凹槽等間距排列于該主要開孔的該外緣。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電漿火炬，其特征在于，該主要開孔為一圓形開孔，所述多個凹槽基于該圓形開孔的一中心環(huán)狀排列。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電漿火炬，其特征在于，該主要開孔的形狀為圓形、橢圓、或多邊形。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電漿火炬，其特征在于，所述多個凹槽的形狀為圓弧、橢圓弧、或多邊形。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電漿火炬，其特征在于，該噴嘴為一金屬噴嘴或一陶瓷噴嘴。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電漿火炬，其特征在于，該主要開孔的一中心軸與該外電極的一中心軸平行。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電漿火炬，其特征在于，該主要開孔的一中心軸與該外電極的一中心軸不平行。
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