[實用新型]鑄錠爐熱場結構有效
| 申請號: | 201820641205.1 | 申請日: | 2018-04-28 |
| 公開(公告)號: | CN208266301U | 公開(公告)日: | 2018-12-21 |
| 發明(設計)人: | 田野;居發亮 | 申請(專利權)人: | 江蘇協鑫硅材料科技發展有限公司 |
| 主分類號: | C30B11/00 | 分類號: | C30B11/00;C30B28/06;C30B29/06 |
| 代理公司: | 廣州華進聯合專利商標代理有限公司 44224 | 代理人: | 唐清凱 |
| 地址: | 221004 江蘇*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 隔熱籠體 熱場結構 上隔熱籠 下隔熱籠 鑄錠爐 坩堝 隔熱底板 固定的 可升降 爐體 熱交換 本實用新型 側部加熱器 有效地控制 側加熱器 頂加熱器 固液界面 晶體硅錠 晶體生長 控制晶體 密閉空間 熱交換臺 生長周期 熱應力 有效地 鑄錠 升降 移動 | ||
1.一種鑄錠爐熱場結構,用于鑄錠晶體硅錠,其特征在于,包括:
爐體;
隔熱籠體,設置在所述爐體的內部,其中,所述隔熱籠體包括固定的上隔熱籠,以及可相對上隔熱籠升降的下隔熱籠;
可升降的隔熱底板,與所述隔熱籠體可形成密閉空間;
熱交換臺,設置在所述隔熱底板的上方;
坩堝,放置在所述熱交換臺上;
頂加熱器,設置在所述坩堝的上方;
側加熱器,設置在所述坩堝的外側。
2.根據權利要求1所述的鑄錠爐熱場結構,其特征在于,所述上隔熱籠為倒扣在所述坩堝頂部和側部的桶狀結構。
3.根據權利要求2所述的鑄錠爐熱場結構,其特征在于,所述下隔熱籠為環狀結構。
4.根據權利要求3所述的鑄錠爐熱場結構,其特征在于,所述上隔熱籠與下隔熱籠的周向尺寸相同。
5.根據權利要求1所述的鑄錠爐熱場結構,其特征在于,所述下隔熱籠的底部邊緣設置成階梯狀。
6.根據權利要求5所述的鑄錠爐熱場結構,其特征在于,所述隔熱底板的邊緣也設置成階梯狀,且能夠與所述下隔熱籠的底部邊緣配合。
7.根據權利要求1所述的鑄錠爐熱場結構,其特征在于,所述下隔熱籠的升降高度范圍為0cm~30cm。
8.根據權利要求7所述的鑄錠爐熱場結構,其特征在于,所述隔熱底板的升降高度范圍為0cm~30cm。
9.根據權利要求1所述的鑄錠爐熱場結構,其特征在于,還包括第一升降機構,與所述下隔熱籠連接。
10.根據權利要求1所述的鑄錠爐熱場結構,其特征在于,還包括第二升降機構,與所述隔熱底板連接。
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