[實用新型]鑄錠爐熱場結構

有效

• 申請號: 201820641205.1
• 申請日: 2018-04-28
• 公開（公告）號: CN208266301U
• 公開（公告）日: 2018-12-21
• 發明（設計）人: 田野;居發亮
• 申請（專利權）人: 江蘇協鑫硅材料科技發展有限公司
• 主分類號: C30B11/00
• 分類號: C30B11/00;C30B28/06;C30B29/06
• 代理公司: 廣州華進聯合專利商標代理有限公司 44224
• 代理人: 唐清凱

本實用新型公開了一種鑄錠爐熱場結構，用于鑄錠晶體硅錠，包括：爐體；隔熱籠體，設置在所述爐體的內部，其中，所述隔熱籠體包括固定的上隔熱籠，以及可相對上隔熱籠升降的下隔熱籠；可升降的隔熱底板，與所述隔熱籠體可形成密閉空間；熱交換臺，設置在所述隔熱底板的上方；坩堝，放置在所述熱交換臺上；頂加熱器，設置在所述坩堝的上方；側加熱器，設置在所述坩堝的外側。上述鑄錠爐熱場結構中，隔熱籠體分成固定的上隔熱籠和可升降的下隔熱籠，在長晶過程中，通過移動下隔熱籠，使得側部加熱器上半部分的熱量能夠有效地散失，防止熱應力的產生，從而能夠更有效地控制晶體生長后的固液界面，更加精確地控制晶體生長周期以及晶體質量。

技術領域

本實用新型涉及晶體硅錠鑄錠技術領域，特別是涉及一種鑄錠爐熱場結構。

背景技術

鑄錠爐可以用來鑄錠多晶硅或準單晶硅，通過誘導式的方法鑄造結晶獲得目標晶體，再經過開方、切片環節，從而生產出具有高轉換率的硅片。

傳統的鑄錠爐熱場結構，在晶體生長過程中，隔熱籠設計為一體結構，且與熱場大底板一起組成密閉式的熱場空間。當長晶時，大底板逐漸打開，進行熱量的散失以達到晶體生長的目的。

但是，由于側部加熱器的存在，側部加熱器的下半部分可以通過大底板的打開，從而達到熱量散失的目的。而側部加熱器的上半部分，由于遠離大底板，所以熱量不能有效散失。

實用新型內容

基于此，有必要針對側部加熱器的上半部分的熱量不能有效散失問題，提供一種鑄錠爐熱場結構。

一種鑄錠爐熱場結構，用于鑄錠晶體硅錠，包括：

爐體；

隔熱籠體，設置在所述爐體的內部，其中，所述隔熱籠體包括固定的上隔熱籠，以及可相對上隔熱籠升降的下隔熱籠；

可升降的隔熱底板，與所述隔熱籠體可形成密閉空間；

熱交換臺，設置在所述隔熱底板的上方；

坩堝，放置在所述熱交換臺上；

頂加熱器，設置在所述坩堝的上方；

側加熱器，設置在所述坩堝的外側。

上述鑄錠爐熱場結構中，隔熱籠體分成固定的上隔熱籠和可相對上隔熱籠升降的下隔熱籠，在長晶過程中，通過移動下隔熱籠，使得側部加熱器上半部分的熱量能夠有效地散失，從而能夠更有效地控制晶體生長后的固液界面，防止應熱力的產生，更加精確地控制晶體生長周期以及晶體質量。

在其中一個實施例中，所述上隔熱籠為倒扣在所述坩堝頂部和側部的桶狀結構。

在其中一個實施例中，所述下隔熱籠為環狀結構。

在其中一個實施例中，所述上隔熱籠與下隔熱籠的周向尺寸相同。

上述上隔熱籠與下隔熱籠的周向尺寸相同，才能保證長晶開始之前，上隔熱籠與下隔熱籠密閉，且與隔熱底板形成密閉空間。

在其中一個實施例中，所述下隔熱籠的底部邊緣設置成階梯狀。

在其中一個實施例中，所述隔熱底板的的邊緣也設置成階梯狀，且能夠與所述下隔熱籠的底部邊緣配合。

上述下隔熱籠和隔熱底板的配合處采用階梯狀結構，配合更加緊湊。

在其中一個實施例中，所述下隔熱籠的升降高度范圍為0cm～30cm。

在其中一個實施例中，所述隔熱底板的升降高度范圍為0cm～30cm。

在其中一個實施例中，還包括第一升降機構，與所述下隔熱籠連接。

在其中一個實施例中，還包括第二升降機構，與所述隔熱底板連接。