[實用新型]一種真空規管保護裝置

有效

• 申請號: 201820629979.2
• 申請日: 2018-04-28
• 公開（公告）號: CN207908098U
• 公開（公告）日: 2018-09-25
• 發明（設計）人: 王正安
• 申請（專利權）人: 北京鉑陽頂榮光伏科技有限公司
• 主分類號: G01L21/00
• 分類號: G01L21/00;C23C14/00
• 代理公司: 北京天馳君泰律師事務所 11592
• 代理人: 孟銳

本實用新型涉及一種真空規管保護裝置，包括：腔室；第一連接管道，其一端與所述腔室耦接并伸入到所述腔室中；以及第二連接管道，其一端與所述腔室耦接并伸入到所述腔室中；其中，所述第一連接管道和所述第二連接管道以非相對方式設置于所述腔室中。本實用新型真空規管保護裝置采用兩根單獨的連接管道，通過腔室密閉相互連接。可以避免真空腔室與真空規管之間的直接可視化通路，對遷移粒子可以起到過濾的作用，避免遷移粒子沉積在規管的內部，可以最大程度的保護規管，提高規管的測量準確性和使用的持久性。

技術領域

本實用新型涉及真空設備領域，特別地涉及一種真空規管保護裝置。

背景技術

在真空鍍膜系統中，用于測量真空系統內部氣體壓強的真空規管一般直接連接在真空腔室上。而部分鍍膜的粒子有著很強的遷移特性，在目標位置沉積鍍膜的同時，還會隨意的遷移至真空腔室的各個部分，當然也包括真空規管的內部，當遷移粒子沉積在真空規管的相關功能部件上時，會造成真空規管的靈敏度下降、測試結果失真等問題，嚴重的還會損壞真空規管。傳統情況下，一般都是真空規管的制造商在真空規管與真空腔室的連接部分增加帶孔的金屬薄板，雖然可以起到一定的保護作用，但是遷移粒子還是與真空規管直接連通，薄板的過濾所用有限，不能從根本上解決問題。

實用新型內容

針對現有技術中存在的技術問題，本實用新型提出了一種真空規管保護裝置，包括：腔室；第一連接管道，其一端與所述腔室耦接并伸入到所述腔室中；以及第二連接管道，其一端與所述腔室耦接并伸入到所述腔室中；其中，所述第一連接管道和所述第二連接管道以非相對方式設置于所述腔室中。

如上所述的真空規管保護裝置，所述腔室內部經過增加所述腔室內部的表面積的處理。

如上所述的真空規管保護裝置，所述腔室進一步包括：側壁，其定義了所述保護裝置的空間；上底面；以及下底面；其中所述第一管道和所述第二管道伸入通過所述上底面和/下底面伸入所述腔室中。

如上所述的真空規管保護裝置，所述第一連接管道和/或所述第二連接管道伸入到所述腔室中的長度大于所述腔室側壁高度的1/2、3/4或者4/5。

如上所述的真空規管保護裝置，所述真空規管保護裝置進一步包括連接裝置，配置其用于所述真空規管保護裝置與真空腔室和真空規管連接。

如上所述的真空規管保護裝置，所述真空規管保護裝置進一步包括密封結構，配置其用于保證裝置的氣密性。

如上所述的真空規管保護裝置，所述真空規管保護裝置進一步包括快卸連接器，配置其用于加緊所述真空規管保護裝置與所述真空腔室和所述真空規管之間的連接。

如上所述的真空規管保護裝置，所述真空規管保護裝置進一步包括支撐架，配置其用于支撐所述密封結構。

如上所述的真空規管保護裝置，所述腔室進一步包括一塊或多塊延伸部，配置其增加氣體通路長度。

如上所述的真空規管保護裝置，所述第一連接管道和所述第二連接管道可以是螺旋狀的連接管道。

本實用新型真空規管保護裝置采用兩根單獨的連接管道，通過腔室密閉相互連接。可以避免真空腔室與真空規管之間的直接可視化通路，對遷移粒子可以起到過濾的作用，避免遷移粒子沉積在規管的內部，可以最大程度的保護規管，提高規管的測量準確性和使用的持久性。

附圖說明

下面，將結合附圖對本實用新型的優選實施方式進行進一步詳細的說明，其中：

圖1A-圖1C為根據本實用新型一個實施例的真空規管保護裝置示意圖；

圖2A-圖2D為根據本實用新型另一個實施例的真空規管保護裝置示意圖；以及

圖3為根據本實用新型另一個實施例的真空規管保護裝置示意圖。