[實用新型]一種真空規管保護裝置有效
| 申請號： | 201820629979.2 | 申請日： | 2018-04-28 |
| 公開（公告）號： | CN207908098U | 公開（公告）日： | 2018-09-25 |
| 發明（設計）人： | 王正安 | 申請（專利權）人： | 北京鉑陽頂榮光伏科技有限公司 |
| 主分類號： | G01L21/00 | 分類號： | G01L21/00;C23C14/00 |
| 代理公司： | 北京天馳君泰律師事務所 11592 | 代理人： | 孟銳 |
| 地址： | 100176 北京市大興區北京*** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 腔室 連接管道 真空規管 保護裝置 規管 本實用新型 伸入 耦接 遷移 方式設置 粒子沉積 真空腔室 持久性 可視化 密閉 過濾 粒子 測量 | ||
1.一種真空規管保護裝置，其特征在于，包括：
腔室；
第一連接管道，其一端與所述腔室耦接并伸入到所述腔室中；以及
第二連接管道，其一端與所述腔室耦接并伸入到所述腔室中；
其中，所述第一連接管道和所述第二連接管道以非相對方式設置于所述腔室中。
2.根據權利要求1所述的真空規管保護裝置，其特征在于，所述腔室內部經過增加所述腔室內部的表面積的處理。
3.根據權利要求1所述的真空規管保護裝置，其特征在于，所述腔室進一步包括：側壁，其定義了所述保護裝置的空間；上底面；以及下底面；其中所述第一連接管道和所述第二連接管道伸入通過所述上底面和/下底面伸入所述腔室中。
4.根據權利要求3所述的真空規管保護裝置，其特征在于，所述第一連接管道和/或所述第二連接管道伸入到所述腔室中的長度大于所述腔室側壁高度的1/2、3/4或者4/5。
5.根據權利要求1所述的真空規管保護裝置，其特征在于，所述真空規管保護裝置進一步包括連接裝置，配置其用于所述真空規管保護裝置與真空腔室和真空規管連接。
6.根據權利要求5所述的真空規管保護裝置，其特征在于，所述真空規管保護裝置進一步包括密封結構，配置其用于保證裝置的氣密性。
7.根據權利要求5所述的真空規管保護裝置，其特征在于，所述真空規管保護裝置進一步包括快卸連接器，配置其用于加緊所述真空規管保護裝置與所述真空腔室和所述真空規管之間的連接。
8.根據權利要求6所述的真空規管保護裝置，其特征在于，所述真空規管保護裝置進一步包括支撐架，配置其用于支撐所述密封結構。
9.根據權利要求1所述的真空規管保護裝置，其特征在于，所述腔室進一步包括一塊或多塊延伸部，配置其增加氣體通路長度。
10.根據權利要求1所述的真空規管保護裝置，其特征在于，所述第一連接管道和所述第二連接管道可以是螺旋狀的連接管道。
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