[實用新型]一種晶圓可拆卸式修邊載具

有效

• 申請號: 201820628638.3
• 申請日: 2018-04-28
• 公開（公告）號: CN208189539U
• 公開（公告）日: 2018-12-04
• 發明（設計）人: 于政;汪洋;沈桂軍;許城城;趙亞東
• 申請（專利權）人: 寧波芯健半導體有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L21/687
• 代理公司: 上海泰能知識產權代理事務所 31233
• 代理人: 宋纓;孫健

1.一種晶圓可拆卸式修邊載具，包括圓形底板(1)，其特征在于：所述的圓形底板(1)中部開有圓形通孔(4)，該圓形底板(1)的側壁圍繞著圓周均勻布置有四個第一定位塊(2)，所述的第一定位塊(2)與圓形底板(1)相連的面為圓弧面(3)，該圓弧面(3)與圓形底板(1)的側壁相配，其中兩個相鄰的第一定位塊(2)之間安裝有第二定位塊(5)，該第二定位塊(5)靠近圓形通孔(4)一側的側壁為豎直面(6)，所述的第二定位塊(5)呈長方體結構，該第二定位塊(5)兩側的側壁上均豎直開有一字卡槽(7)，所述的一字卡槽(7)下端貫穿第二定位塊(5)的下端面，位于第二定位塊(5)兩側的第一定位塊(2)其側壁上均豎直布置有與一字卡槽(7)相配的限位條(8)。

2.根據權利要求1所述的一種晶圓可拆卸式修邊載具，其特征在于：所述的第一定位塊(2)的外側壁由多個棱面組成。

3.根據權利要求1所述的一種晶圓可拆卸式修邊載具，其特征在于：所述的第二定位塊(5)的上端中部設置有螺紋孔(9)，該螺紋孔(9)與提手(10)螺紋連接。