[實用新型]多晶硅還原爐用石墨支承套件

有效

• 申請號: 201820611469.2
• 申請日: 2018-04-26
• 公開（公告）號: CN208200393U
• 公開（公告）日: 2018-12-07
• 發明（設計）人: 張仕勇;甄友志
• 申請（專利權）人: 成都潤封電碳有限公司
• 主分類號: C01B33/035
• 分類號: C01B33/035
• 代理公司: 成都君合集專利代理事務所(普通合伙) 51228
• 代理人: 張鳴潔

本實用新型公開了一種多晶硅還原爐用石墨支承套件，包括石墨卡帽、石墨卡座、石墨卡瓣，所述石墨卡瓣穿過石墨卡帽并伸入石墨卡座的安裝空腔中；所述石墨卡帽分別與石墨卡瓣和石墨卡座螺紋連接；所述石墨卡帽的第一內螺紋和第二內螺紋的旋向相同，且所述石墨卡座的第一外螺紋與石墨卡瓣的第二外螺紋的旋向相反。本實用新型通過旋轉石墨卡帽同時將石墨卡瓣與石墨卡座、石墨卡帽與石墨卡座分離，本實用新型可以實現快速拆卸石墨支承套件，減小拆卸次數和受力誤差，從而實現精確快速的拆卸石墨支承套件，具有較好的實用性。

技術領域

本實用新型屬于多晶硅生產設備的技術領域，具體涉及一種多晶硅還原爐用石墨支承套件。

背景技術

目前在多晶硅生產領域中，大多是采用改良西門子法生產多晶硅，在進行多晶硅還原反應之前，將硅芯插在石墨件上，石墨件套在銅電極上，硅芯按照一定的電極連接方式進行安裝，安裝完成后，按照工藝程序進行置換、擊穿、進料并進而發生氣相沉積反應，反應產生的晶粒沉積在硅芯上，經過規定時間生長后形成多晶硅棒。

石墨件包括石墨卡座、石墨卡帽和用于夾持硅芯的石墨卡瓣，石墨卡瓣設置在石墨卡座上，石墨卡座與電氣設備的電極連接，石墨卡帽套設在石墨卡座的頂部，石墨卡帽與石墨卡座通過螺紋連接將石墨卡瓣固定于石墨卡座上，從而保證石墨卡瓣將硅芯加緊。

專利申請號為2015202242310、專利名稱為一種多晶硅還原爐石墨件的中國實用新型專利公開了在石墨卡座上設置第一凹槽和在石墨卡帽上第二凹槽，以借助扳手分離石墨卡座和石墨卡帽。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種多晶硅還原爐用石墨支承套件，包括石墨卡帽、石墨卡座、石墨卡瓣，本實用新型通過旋轉石墨卡帽同時將石墨卡瓣與石墨卡座、石墨卡帽與石墨卡座分離，本實用新型可以實現快速拆卸石墨支承套件，減小拆卸次數和受力誤差，從而實現精確快速的拆卸石墨支承套件，具有較好的實用性。

本實用新型主要通過以下技術方案實現：一種多晶硅還原爐用石墨支承套件，包括石墨卡帽、石墨卡座、石墨卡瓣，所述石墨卡瓣穿過石墨卡帽并伸入石墨卡座的安裝空腔中；所述石墨卡帽分別與石墨卡瓣和石墨卡座螺紋連接；所述石墨卡帽的底部為空腔結構，所述石墨卡座契合設置在石墨卡帽的空腔結構內；所述石墨卡座內設置有安裝空腔，所述石墨卡瓣契合設置在安裝空腔內；所述石墨卡瓣為倒錐形結構，所述石墨卡帽與石墨卡瓣連接處對應設置為倒錐形連接面；所述石墨卡座的外壁設置有第一外螺紋，所述石墨卡帽的底部空腔結構的內部對應設置有第一內螺紋；所述石墨卡帽的倒錐形連接面設置有第二內螺紋，所述石墨卡瓣的外壁上對應設置有第二外螺紋；所述石墨卡帽的第一內螺紋和第二內螺紋的旋向相同，且所述石墨卡座的第一外螺紋與石墨卡瓣的第二外螺紋的旋向相反。

為了更好的實現本實用新型，進一步的，所述石墨卡瓣與安裝空腔的側壁上下滑動連接；所述安裝空腔底部設置有卡接凸起，所述石墨卡瓣的底部對應設置有卡接凹槽；所述石墨卡瓣通過卡接凹槽與安裝空腔的卡接凸起滑動連接。

所述石墨卡瓣契合設置在石墨卡座的安裝空腔內，此時石墨卡瓣位于石墨卡座頂部處設置有外螺紋，所述石墨卡帽對應設置有內螺紋。

本實用新型在使用過程中，當石墨卡帽向一個方向旋轉時，固定石墨卡座，則石墨卡瓣相對石墨卡座向上直線運動；當石墨卡帽向相反方向旋轉時，固定石墨卡座，則石墨卡瓣相對石墨卡座向下直線運動。

為了更好的實現本實用新型，進一步的，所述石墨卡帽的頂部靠近石墨卡瓣處設置有環形的承接凹槽，所述承接凹槽的側壁為圓弧形側壁。

為了更好的實現本實用新型，進一步的，所述石墨卡帽的頂部為斜面，以使石墨卡帽的頂部與側壁之間形成鈍角；所述石墨卡帽的頂部與側壁之間的鈍角為倒圓角。

為了更好的實現本實用新型，進一步的，所述石墨卡帽的頂部靠近石墨卡瓣處設置有錐面。