[實(shí)用新型]一種用于射頻前端制冷杜瓦的多層聚酰薄膜真空窗結(jié)構(gòu)有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201820597714.9 | 申請日： | 2018-04-25 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN208111647U | 公開（公告）日： | 2018-11-16 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 金乘進(jìn);曹洋;石向瑋 | 申請（專利權(quán)）人： | 中國科學(xué)院國家天文臺(tái) |
| 主分類號(hào)： | H01P1/08 | 分類號(hào)： | H01P1/08 |
| 代理公司： | 北京輕創(chuàng)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11212 | 代理人： | 談杰 |
| 地址： | 100012 *** | 國省代碼： | 北京;11 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 聚酰亞胺薄膜 真空窗 多層 射頻前端 容置槽 杜瓦 制冷 薄膜 本實(shí)用新型 薄膜變形 薄膜真空 傳統(tǒng)的 窗結(jié)構(gòu) 體內(nèi)部 相鄰腔 壓強(qiáng)差 單層 法蘭 減小 腔體 申請 | ||
【權(quán)利要求書】：
1.一種用于射頻前端制冷杜瓦的多層聚酰薄膜真空窗結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述多層聚酰薄膜真空窗結(jié)構(gòu)包括若干層聚酰薄膜，相鄰的所述聚酰薄膜之間設(shè)置有法蘭，所述法蘭以及真空窗的窗口與聚酰薄膜的接觸面均設(shè)置有O型密封圈容置槽，所述O型密封圈容置槽內(nèi)設(shè)置有O型密封圈。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于射頻前端制冷杜瓦的多層聚酰薄膜真空窗結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述聚酰薄膜不少于3層。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于射頻前端制冷杜瓦的多層聚酰薄膜真空窗結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述法蘭的厚度從下至上依次減小。
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