[實(shí)用新型]一種恒溫曝光機(jī)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201820592523.3
• 申請(qǐng)日: 2018-04-24
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN208126103U
• 公開(kāi)（公告）日: 2018-11-20
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 曾旭
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 寧波東順電子科技有限公司;寧波東盛集成電路元件有限公司
• 主分類號(hào): G03F7/20
• 分類號(hào): G03F7/20
• 代理公司: 上海申新律師事務(wù)所 31272
• 代理人: 俞滌炯

本實(shí)用新型提供了一種恒溫曝光機(jī)，包括：進(jìn)料口、工作臺(tái)、曝光室、控制室、曝光燈、燈罩、冷卻管、循環(huán)水系統(tǒng)、支撐架、電機(jī)、導(dǎo)軌、微處理器、控制面板、進(jìn)氣裝置、排氣裝置和溫度傳感器，進(jìn)料口位于曝光室的前端，工作臺(tái)通過(guò)滑軌滑動(dòng)安裝在進(jìn)料口的位置，曝光燈陣列分布在燈罩內(nèi)，燈罩背面安裝有冷卻管，冷卻管通過(guò)軟管與循環(huán)水系統(tǒng)相連接，燈罩背面中央與支撐架的一端固定連接，支撐架的另一端與電機(jī)固定連接，電機(jī)與導(dǎo)軌滾動(dòng)連接，微處理器和循環(huán)水系統(tǒng)安裝在控制室內(nèi)，曝光室外側(cè)固定安裝有控制面板，曝光室內(nèi)壁上還分別安裝有進(jìn)氣裝置排氣裝置和溫度傳感器，本實(shí)用新型可以有效控制工件表面溫度，提高生產(chǎn)效率，減少殘次品。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及一種曝光設(shè)備領(lǐng)域，尤其涉及一種恒溫曝光機(jī)。

背景技術(shù)

曝光機(jī)是一種通過(guò)紫外線將膠片或其他透明體上的圖像轉(zhuǎn)移到涂有感光物質(zhì)的材料上的設(shè)備，其利用紫外線對(duì)有機(jī)聚合物進(jìn)行曝光，受紫外線輻照后的光刻膠，其物理化學(xué)性質(zhì)發(fā)生變化，在一定的溶劑中形成良溶或非良溶區(qū)域，從而在抗蝕劑上形成精細(xì)圖形。

而由于曝光機(jī)需要產(chǎn)生足夠能量的輻照，在輻照過(guò)程中會(huì)產(chǎn)生大量的熱量，雖然曝光機(jī)一般設(shè)置在恒溫恒濕的室內(nèi)，但是其機(jī)體內(nèi)部產(chǎn)生的大量熱能往往不容易冷卻，而在曝光過(guò)程中使用到的底片如果長(zhǎng)期暴露了在高溫環(huán)境下容易產(chǎn)生相應(yīng)的形變，甚至?xí)绊懖牧媳砻娴母泄馔繉樱罱K導(dǎo)致次品的產(chǎn)生，如果不能解決溫度影響將會(huì)大大影響生產(chǎn)的效率。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問(wèn)題是：針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)的缺陷，提供一種恒溫曝光機(jī)。

本實(shí)用新型為解決上述技術(shù)問(wèn)題采用以下技術(shù)方案：

一種恒溫曝光機(jī)，包括：進(jìn)料口、工作臺(tái)、曝光室、控制室、曝光燈、燈罩、冷卻管、循環(huán)水系統(tǒng)、支撐架、電機(jī)、導(dǎo)軌、微處理器、控制面板、進(jìn)氣裝置、排氣裝置和溫度傳感器，其中所述進(jìn)料口位于曝光室的前端，所述工作臺(tái)通過(guò)滑軌滑動(dòng)安裝在進(jìn)料口的位置，所述曝光燈陣列分布在燈罩內(nèi)，所述燈罩背面安裝有冷卻管，所述冷卻管通過(guò)軟管與所述循環(huán)水系統(tǒng)相連接，所述燈罩背面中央與所述支撐架的一端固定連接，所述支撐架的另一端與所述電機(jī)固定連接，所述電機(jī)與導(dǎo)軌滾動(dòng)連接，所述微處理器和所述循環(huán)水系統(tǒng)安裝在控制室內(nèi)，所述曝光室外側(cè)固定安裝有控制面板，所述曝光室內(nèi)壁上還分別安裝有進(jìn)氣裝置排氣裝置和溫度傳感器。

特別的，所述導(dǎo)軌為固定齒條，所述電機(jī)上安裝有齒輪，所述齒輪與所述固定齒條相齒合。

特別的，所述固定齒條的為豎直安裝。

特別的，所述電機(jī)為步進(jìn)電機(jī)。

特別的，所述工作臺(tái)在工作時(shí)處于所述曝光燈正下方。

特別的，所述工作臺(tái)的數(shù)量為兩個(gè)，與工作臺(tái)相對(duì)應(yīng)的溫度傳感器的數(shù)量也為兩個(gè)。

特別的，所述溫度傳感器與所述微處理器電性連接。

特別的，所述工作臺(tái)與對(duì)應(yīng)的溫度傳感器處在相同高度。

本實(shí)用新型采用以上技術(shù)方案，與現(xiàn)有技術(shù)相比，具有如下技術(shù)效果：本實(shí)用新型通過(guò)步進(jìn)電機(jī)和導(dǎo)軌進(jìn)行配合可以使曝光燈進(jìn)行豎直方向的運(yùn)動(dòng)，從而控制曝光燈與工件的距離達(dá)到控制工件表面溫度的目的，同時(shí)因?yàn)槭峭ㄟ^(guò)溫度傳感器與微處理器進(jìn)行控制，所以本實(shí)用新型具是自動(dòng)化的設(shè)備，不需要進(jìn)行人工調(diào)試，大大提高企業(yè)生產(chǎn)效率，同時(shí)有效避免因曝光溫度過(guò)高導(dǎo)致次品產(chǎn)生。

附圖說(shuō)明

圖1為本實(shí)用新型的側(cè)面結(jié)構(gòu)示意圖。

圖中：進(jìn)料口-1、工作臺(tái)-2、曝光室-3、控制室-4、曝光燈-5、燈罩-6、冷卻管-7、循環(huán)水系統(tǒng)-8、支撐架-9、電機(jī)-10、導(dǎo)軌-11、微處理器-12、控制面板 -13、進(jìn)氣裝置-14、排氣裝置-15、溫度傳感器-16

具體實(shí)施方式