[實用新型]一種恒溫曝光機

有效

• 申請號: 201820592523.3
• 申請日: 2018-04-24
• 公開（公告）號: CN208126103U
• 公開（公告）日: 2018-11-20
• 發明（設計）人: 曾旭
• 申請（專利權）人: 寧波東順電子科技有限公司;寧波東盛集成電路元件有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 上海申新律師事務所 31272
• 代理人: 俞滌炯

1.一種恒溫曝光機，其特征在于，包括：進料口(1)、工作臺(2)、曝光室(3)、控制室(4)、曝光燈(5)、燈罩(6)、冷卻管(7)、循環水系統(8)、支撐架(9)、電機(10)、導軌(11)、微處理器(12)、控制面板(13)、進氣裝置(14)、排氣裝置(15)和溫度傳感器(16)，其中所述進料口(1)位于曝光室(3)的前端，所述工作臺(2)通過滑軌滑動安裝在進料口(1)的位置，所述曝光燈(5)陣列分布在燈罩(6)內，所述燈罩(6)背面安裝有冷卻管(7)，所述冷卻管(7)通過軟管與所述循環水系統(8)相連接，所述燈罩(6)背面中央與所述支撐架(9)的一端固定連接，所述支撐架(9)的另一端與所述電機(10)固定連接，所述電機(10)與導軌(11)滾動連接，所述微處理器(12)和所述循環水系統(8)安裝在控制室(4)內，所述曝光室(3)外側固定安裝有控制面板(13)，所述曝光室(3)內壁上還分別安裝有進氣裝置(14)、排氣裝置(15)和溫度傳感器(16)。

2.根據權利要求1所述的一種恒溫曝光機，其特征在于，所述導軌(11)為固定齒條，所述電機(10)上安裝有齒輪，所述齒輪與所述固定齒條相齒合。

3.根據權利要求2所述的一種恒溫曝光機，其特征在于，所述固定齒條的為豎直安裝。

4.根據權利要求1所述的一種恒溫曝光機，其特征在于，所述電機(10)為步進電機。

5.根據權利要求1所述的一種恒溫曝光機，其特征在于，所述工作臺(2)在工作時處于所述曝光燈(5)正下方。

6.根據權利要求1所述的一種恒溫曝光機，其特征在于，所述工作臺(2)的數量為兩個，所述溫度傳感器(16)的數量也為兩個。

7.根據權利要求1所述的一種恒溫曝光機，其特征在于，所述溫度傳感器(16)與所述微處理器(12)電性連接。