[實用新型]晶圓切片機及其收放線裝置

有效

• 申請號: 201820588900.6
• 申請日: 2018-04-23
• 公開（公告）號: CN208232109U
• 公開（公告）日: 2018-12-14
• 發明（設計）人: 雷世爵;郭智揚;陳展添
• 申請（專利權）人: 友達晶材股份有限公司
• 主分類號: B28D5/04
• 分類號: B28D5/04;B28D7/00
• 代理公司: 北京泰吉知識產權代理有限公司 11355
• 代理人: 張雅軍;秦小耕

1.一種晶圓切片機的收放線裝置，其特征在于包含：

移載單元，包括至少一條沿第一水平方向延伸的軌道；

第一繞線單元，沿該第一水平方向延伸且位于該軌道上方，并能相對于自身軸線自轉，該自身軸線的延伸方向平行該第一水平方向；及

第二繞線單元，沿該第一水平方向延伸且位于該軌道上方，并能相對于該自身軸線自轉，該第一繞線單元與該第二繞線單元的至少其中一個能相對該軌道在該第一水平方向上移動，其中，該第一繞線單元、第二繞線單元彼此能在結合狀態與非結合狀態間切換，在該結合狀態下，該第一繞線單元、第二繞線單元彼此靠近在一起，在該非結合狀態下，該第一繞線單元、第二繞線單元件彼此遠離且在該第一水平方向上相間隔設置。

2.根據權利要求1所述的晶圓切片機的收放線裝置，其特征在于：該移載單元還包括分別能移動地設置于該軌道的第一滑座與第二滑座，該第一繞線單元、第二繞線單元分別能轉動地對應設置于該第一滑座、第二滑座，在該結合狀態下，該第一滑座、第二滑座彼此相向靠近且該第一繞線單元、第二繞線單元彼此靠近，在該非結合狀態下，該第一滑座、第二滑座彼此遠離。

3.根據權利要求1所述的晶圓切片機的收放線裝置，其特征在于：該移載單元還包括分別能移動地設置于該軌道的第一滑座與第二滑座，該第一繞線單元包括能轉動地設置于該第一滑座且沿該第一水平方向延伸的第一轉動件，該第二繞線單元包括能轉動地設置于該第二滑座且沿該第一水平方向延伸的第二轉動件，在該結合狀態下，該第一滑座、第二滑座彼此靠近且該第一轉動件環繞該第二轉動件，在該非結合狀態下，該第一滑座、第二滑座彼此遠離。

4.根據權利要求1所述的晶圓切片機的收放線裝置，其特征在于：該第一繞線單元包括沿該第一水平方向延伸且能轉動的第一轉動件，該第二繞線單元包括沿該第一水平方向延伸且能轉動的第二轉動件，在該結合狀態下，該第一繞線單元、第二繞線單元彼此靠近且該第一轉動件環繞該第二轉動件，在該非結合狀態下，該第一轉動件、第二轉動件彼此遠離。

5.根據權利要求1所述的晶圓切片機的收放線裝置，其特征在于：該第一繞線單元包括沿該第一水平方向延伸且能轉動的第一轉動件及至少一個自該第一轉動件的端緣延伸的線導引件，該第二繞線單元包括沿該第一水平方向延伸且能轉動的第二轉動件，在該結合狀態下，該第一轉動件、第二轉動件彼此靠近，在該非結合狀態下，該第一轉動件、第二轉動件彼此遠離。

6.根據權利要求3所述的晶圓切片機的收放線裝置，其特征在于：該第一轉動件呈中空狀且其端緣界定出供該第二轉動件伸入的開放端口，且該第一轉動件的內周面與該第二轉動件的外周面間具有間隔距離，該第一繞線單元還包括至少一個自該第一轉動件的端緣延伸的線導引件。

7.根據權利要求3所述的晶圓切片機的收放線裝置，其特征在于：該第一轉動件呈中空圓柱狀且其端緣界定出供該第二轉動件伸入的開放端口，該第一繞線單元還包括設置于該第一轉動件且鄰近該開放端口的線導引座，該線導引座具有環繞該自身軸線的圍繞壁，及多個呈角度間隔設置于該圍繞壁的線導引件，該圍繞壁具有連接該第一轉動件的第一側部，及相反于該第一側部且供所述線導引件設置的第二側部，每一個線導引件具有鄰近該自身軸線的內側面，及至少一個自該內側面的兩相反側邊的其中一側邊朝遠離該自身軸線方向延伸的導引面。

8.根據權利要求7所述的晶圓切片機的收放線裝置，其特征在于：每一個線導引件還具有兩個分別自該內側面的兩相反側邊朝遠離該自身軸線方向延伸且相向靠近的導引面。

9.根據權利要求7或8所述的晶圓切片機的收放線裝置，其特征在于：每一個線導引件還具有連接各自的所述導引面且相反于各自的該內側面的外側面，每一個導引面呈梯形且具有連接各自的該外側面的寬部，及連接各自的該內側面的窄部。