[實用新型]一種磁控濺射在線方阻測試系統(tǒng)有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201820584974.2 | 申請日： | 2018-04-23 |
| 公開（公告）號： | CN208188205U | 公開（公告）日： | 2018-12-04 |
| 發(fā)明（設計）人： | 王建強;王俊;劉鑫 | 申請（專利權(quán)）人： | 華豐源（成都）新能源科技有限公司 |
| 主分類號： | G01R27/02 | 分類號： | G01R27/02 |
| 代理公司： | 成都頂峰專利事務所(普通合伙) 51224 | 代理人： | 王霞 |
| 地址： | 610000 四川省成都市雙流*** | 國省代碼： | 四川;51 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 方阻 支架 磁控濺射 探頭 探針 本實用新型 方阻測試儀 測試系統(tǒng) 驅(qū)動裝置 上下滑動 測試系統(tǒng)設置 磁控濺射設備 太陽能晶片 實時監(jiān)測 出料口 電連接 晶片 驅(qū)動 制造 發(fā)現(xiàn) | ||
1.一種磁控濺射在線方阻測試系統(tǒng)，其特征在于：包括支架(5)、設置在支架(5)上的方阻測試儀(4)、上下滑動設置在支架(5)上的四探針探頭(7)以及驅(qū)動所述四探針探頭(7)上下滑動的驅(qū)動裝置；驅(qū)動裝置設置在支架(5)上；方阻測試儀(4)與所述四探針探頭(7)電連接。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種磁控濺射在線方阻測試系統(tǒng)，其特征在于：所述驅(qū)動裝置包括氣缸(6)；氣缸(6)的兩端分別與所述支架(5)和四探針探頭(7)固定連接。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種磁控濺射在線方阻測試系統(tǒng)，其特征在于：所述測試系統(tǒng)還包括控制裝置；控制裝置與所述驅(qū)動裝置電連接，控制裝置與所述方阻測試儀(4)通信連接。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種磁控濺射在線方阻測試系統(tǒng)，其特征在于：所述控制裝置包括PLC；所述PLC與方阻測試儀(4)通信連接。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種磁控濺射在線方阻測試系統(tǒng)，其特征在于：所述支架(5)設置有感應待測晶片(11)的接近傳感器(8)；接近傳感器(8)與PLC的輸入端電連接。
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種磁控濺射在線方阻測試系統(tǒng)，其特征在于：所述驅(qū)動裝置包括氣缸(6)、電磁換向閥(3)、過濾減壓閥(2)和氣源；所述氣源、過濾減壓閥(2)、電磁換向閥(3)和氣缸(6)依次氣連接；電磁換向閥(3)與PLC的輸出端電連接。
7.根據(jù)權(quán)利要求1-6任意一項所述的一種磁控濺射在線方阻測試系統(tǒng)，其特征在于：所述測試系統(tǒng)還包括存儲裝置和計算機；存儲裝置分別與所述方阻測試儀(4)和計算機通信連接。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種磁控濺射在線方阻測試系統(tǒng)，其特征在于：所述四探針探頭(7)設置有多個。
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