[實(shí)用新型]硅片分片及吸片送片裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201820567337.4
• 申請日: 2018-04-19
• 公開（公告）號: CN207977303U
• 公開（公告）日: 2018-10-16
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 劉真
• 申請（專利權(quán)）人: 無錫喆創(chuàng)科技有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L21/677;H01L21/683
• 代理公司: 長沙惟盛赟鼎知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 43228
• 代理人: 周友福

1.硅片分片及吸片送片裝置，其特征在于，包括傳送裝置、分片裝置、升片裝置和送片裝置；所述傳送裝置安裝在分片裝置一端，分片裝置安裝在水箱內(nèi)，分片裝置的另一端裝有升片裝置，升片裝置的上方裝有送片裝置；所述分片裝置的分片水刀（21）將豎向放置的硅片（8）分離，分離后的硅片（8）由升片裝置的升片皮帶（31）吸附并傳送到送片裝置的送片皮帶（61）上，送片皮帶（61）將豎向的硅片（8）變成水平狀。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅片分片及吸片送片裝置，其特征在于，所述傳送裝置包括硅片料盒（13）、料盒導(dǎo)軌（12）和直線模組；所述料盒導(dǎo)軌（12）設(shè)置在水箱的底部，硅片料盒（13）活動放置在料盒導(dǎo)軌（12）上，直線模組與料盒導(dǎo)軌（12）平行安裝，直線模座的滑臺上裝有推板（11），推板（11）與硅片料盒（13）連接；硅片料盒（13）的擋料板（14）上裝有噴水口（15），噴水口（15）與電磁閥連接。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅片分片及吸片送片裝置，其特征在于，所述分片裝置包括兩個分片水刀（21）和分片傳感器（22）；所述分片水刀（21）位于升片裝置的一端，且位于硅片料盒（13）的兩側(cè)，分片水刀（21）傾斜安裝，兩個分片水刀（21）的水流相交于硅片（8）的下方；分片水刀（21）的一側(cè)裝有分片傳感器（22）。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅片分片及吸片送片裝置，其特征在于，所述升片裝置包括升片皮帶（31）、升片帶輪（33）和吸片盒（32）；所述升片皮帶（31）的正面為光滑的平面，背面設(shè)有帶齒（313），所述升片帶輪（33）上設(shè)有與帶齒（313）相匹配的驅(qū)動齒，驅(qū)動齒與帶齒（313）嚙合；所述升片帶輪（33）分別固定在升片主動軸（37）和升片從動軸（36）上，升片主動軸（37）與電機(jī)（71）連接；所述升片皮帶（31）上還設(shè)有多個吸片孔（311），吸片孔（311）與吸片盒（32）上的吸水孔（321）相對應(yīng)，吸片盒（32）位于升片主動軸（37）和升片從動軸（36）之間，吸片盒（32）與水泵連接。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的硅片分片及吸片送片裝置，其特征在于，所述吸片盒（32）包括吸水板（325）和背板（324），所述吸水板（325）的正面設(shè)有吸水孔（321），吸水孔（321）為腰形孔，吸水板（325）的背面設(shè)有吸水槽（323），吸水槽（323）與吸水孔（321）相通；所述背板（324）安裝在吸水板（325）的背面，背板（324）上裝有吸水管（326），吸水管（326）與吸水槽（323）相通，吸水管（326）還與水泵的吸水口連接。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的硅片分片及吸片送片裝置，其特征在于，所述吸水板（325）的正面設(shè)有限位臺（322），限位臺（322）上設(shè)有吸水孔（321）；所述升片皮帶（31）的背面設(shè)有限位槽（312），吸盤孔位于限位槽（312）內(nèi)，且吸片孔（311）與限位槽（312）相通，限位槽（312）與限位臺（322）相匹配，限位臺（322）位于限位槽（312）內(nèi)。

7.根據(jù)權(quán)利要求4所述的硅片分片及吸片送片裝置，其特征在于，還包括清洗塊（38），所述清洗塊（38）上設(shè)有清洗孔（381），清洗孔（381）與吸片孔（311）相對，清洗塊（38）位于升片主動軸（37）和升片從動軸（36）之間，清洗塊（38）與水泵連接。

8.根據(jù)權(quán)利要求4所述的硅片分片及吸片送片裝置，其特征在于，還包括擋片板，所述擋片板固定在升片皮帶（31）兩側(cè)，且位于升片從動軸（36）的上方，擋片板的端面高出升片皮帶（31）的正面，所述升片皮帶（31）上的吸片孔（311）分組設(shè)置，吸片孔組不少于兩組，相鄰吸片孔組之間的距離不小于硅片（8）的長度，吸片孔組的吸片孔（311）不少于兩個。