[實用新型]一種硅片脫膠工裝

有效

• 申請號: 201820563392.6
• 申請日: 2018-04-19
• 公開（公告）號: CN208407882U
• 公開（公告）日: 2019-01-22
• 發明（設計）人: 陳忠海
• 申請（專利權）人: 蘇州德瑞姆超聲科技有限公司
• 主分類號: B08B3/08
• 分類號: B08B3/08;B08B3/10;B08B3/02;B08B3/04
• 代理公司: 蘇州凱謙巨邦專利代理事務所(普通合伙) 32303
• 代理人: 丁劍

本實用新型提供一種硅片脫膠工裝，涉及工業領域。該一種硅片脫膠工裝，包括第一支撐柱，所述第一支撐柱的頂部固定連接有支撐板，所述支撐板的頂部與酸液池的底部固定連接，所述酸液池通過其表面設置的轉軸與轉門的一端轉動連接，所述酸液池的表面固定連接有耐酸連接管，所述耐酸連接管的底部固定連接有噴頭，所述耐酸連接管的表面固定連接有箱體，所述箱體的底部與水浴室的頂部固定連接。該一種硅片脫膠工裝，通過酸溫度感應裝置、酸液池、耐酸連接管、噴頭和控制顯示面板可以對裝置內部的酸度進行控制調整，通過兩個酸溫度感應裝置對裝置內的液體進行檢測，解決了不能對脫膠環境進行微調控制的問題。

技術領域

本實用新型涉及工業領域，具體為一種硅片脫膠工裝。

背景技術

脫膠清洗與噴淋壓力、環境溫度、酸的濃度和溫度、以及時間有一定的關系，噴淋的壓力要控制在2～3MPa之間，壓力不足會使得砂漿難以沖洗干凈，所以噴淋泵的選擇尤為重要；環境溫度要控制在20℃～25℃之間，環境溫度太低也會影響砂漿的脫離，所以好的設備會在噴淋前加一道在線加熱工序，保證在環境溫度較低的情況下對砂漿的清洗效果；酸的濃度和溫度是脫膠的關鍵，一般工廠使用的都是乳酸，比例在1∶2合適，溫度控制在70℃左右，在遇到不好脫的膠時適當的增加酸的濃度和提高酸液溫度可起到較好的效果，脫膠的時間不宜太長，一般控制在800～900s，時間過長會腐蝕到硅片的表面，反而影響下一步植絨的質量，但現有的裝置往往都是直接加熱，對溫度只能有一個大概的控制，當出現需要精細溫度控制時，往往達不到要求，酸度也是預先調配好，并且在脫膠過程中酸度會下降，不能對脫膠環境進行微調控制。

實用新型內容

(一)解決的技術問題

針對現有技術的不足，本實用新型提供了一種硅片脫膠工裝，解決了不能對脫膠環境進行微調控制的問題。

(二)技術方案

為實現以上目的，本實用新型通過以下技術方案予以實現：一種硅片脫膠工裝，包括第一支撐柱，所述第一支撐柱的頂部固定連接有支撐板，所述支撐板的頂部與酸液池的底部固定連接，所述酸液池通過其表面設置的轉軸與轉門的一端轉動連接，所述酸液池的表面固定連接有耐酸連接管，所述耐酸連接管的底部固定連接有噴頭，所述耐酸連接管的表面固定連接有箱體，所述箱體的底部與水浴室的頂部固定連接，所述水浴室內壁固定連接有加熱板，所述水浴室的底部與耐熱托板的頂部固定連接，所述耐熱托板底部的兩側均固定連接有第二支撐柱，所述箱體的內壁分別固定連接有攪拌扇、防濺網和固定卡扣，所述固定卡扣的表面卡接有籃具，所述籃具的頂部與升降固定桿的底部固定連接，所述升降固定桿的表面與升降氣桿的頂部固定連接，所述升降氣桿的底部與固定連接板的頂部固定連接，所述固定連接板的底部與箱體的頂部固定連接。

優選的，所述酸液池和箱體的表面均開設有大小與耐酸連接管相適配的孔洞。

優選的，所述攪拌扇的數量為三個，并且攪拌扇均位于防濺網的內腔。

優選的，所述箱體的內壁固定連接有酸溫度感應裝置，所述箱體的外表面固定連接有控制顯示面板。

優選的，所述水浴室的內部填充有水。

優選的，所述固定卡扣的形狀與籃具相適配，所述箱體的表面開設有大小與升降固定桿相適配的孔洞。

(三)有益效果

本實用新型提供了一種硅片脫膠工裝。具備以下有益效果：