[實用新型]一種硅片脫膠工裝

有效

• 申請號: 201820563392.6
• 申請日: 2018-04-19
• 公開（公告）號: CN208407882U
• 公開（公告）日: 2019-01-22
• 發明（設計）人: 陳忠海
• 申請（專利權）人: 蘇州德瑞姆超聲科技有限公司
• 主分類號: B08B3/08
• 分類號: B08B3/08;B08B3/10;B08B3/02;B08B3/04
• 代理公司: 蘇州凱謙巨邦專利代理事務所(普通合伙) 32303
• 代理人: 丁劍

1.一種硅片脫膠工裝，包括第一支撐柱(4)，其特征在于：所述第一支撐柱(4)的頂部固定連接有支撐板(3)，所述支撐板(3)的頂部與酸液池(2)的底部固定連接，所述酸液池(2)通過其表面設置的轉軸與轉門(1)的一端轉動連接，所述酸液池(2)的表面固定連接有耐酸連接管(6)，所述耐酸連接管(6)的底部固定連接有噴頭(9)，所述耐酸連接管(6)的表面固定連接有箱體(5)，所述箱體(5)的底部與水浴室(20)的頂部固定連接，所述水浴室(20)內壁固定連接有加熱板(10)，所述水浴室(20)的底部與耐熱托板(11)的頂部固定連接，所述耐熱托板(11)底部的兩側均固定連接有第二支撐柱(12)，所述箱體(5)的內壁分別固定連接有攪拌扇(13)、防濺網(14)和固定卡扣(7)，所述固定卡扣(7)的表面卡接有籃具(15)，所述籃具(15)的頂部與升降固定桿(16)的底部固定連接，所述升降固定桿(16)的表面與升降氣桿(17)的頂部固定連接，所述升降氣桿(17)的底部與固定連接板(19)的頂部固定連接，所述固定連接板(19)的底部與箱體(5)的頂部固定連接。

2.根據權利要求1所述的一種硅片脫膠工裝，其特征在于：所述酸液池(2)和箱體(5)的表面均開設有大小與耐酸連接管(6)相適配的孔洞。

3.根據權利要求1所述的一種硅片脫膠工裝，其特征在于：所述攪拌扇(13)的數量為三個，并且攪拌扇(13)均位于防濺網(14)的內腔。

4.根據權利要求1所述的一種硅片脫膠工裝，其特征在于：所述箱體(5)的內壁固定連接有酸溫度感應裝置(8)，所述箱體(5)的外表面固定連接有控制顯示面板(18)。

5.根據權利要求1所述的一種硅片脫膠工裝，其特征在于：所述水浴室(20)的內部填充有水。

6.根據權利要求1所述的一種硅片脫膠工裝，其特征在于：所述固定卡扣(7)的形狀與籃具(15)相適配，所述箱體(5)的表面開設有大小與升降固定桿(16)相適配的孔洞。