[實(shí)用新型]一種硅片清洗水槽

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201820561804.2
• 申請(qǐng)日: 2018-04-19
• 公開（公告）號(hào): CN208407890U
• 公開（公告）日: 2019-01-22
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 陳忠海
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 蘇州德瑞姆超聲科技有限公司
• 主分類號(hào): B08B3/10
• 分類號(hào): B08B3/10;B08B13/00
• 代理公司: 蘇州凱謙巨邦專利代理事務(wù)所(普通合伙) 32303
• 代理人: 丁劍

本實(shí)用新型涉及硅片生產(chǎn)設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，且公開了一種硅片清洗水槽，包括水槽體，所述水槽體的內(nèi)部呈中空結(jié)構(gòu)，所述水槽體兩側(cè)的頂部均開設(shè)有撐桿槽，所述撐桿槽內(nèi)搭接有撐桿，所述撐桿的表面固定連接有固片裝置，所述撐桿遠(yuǎn)離水槽體的一端固定連接有轉(zhuǎn)軸，所述轉(zhuǎn)軸的兩側(cè)均活動(dòng)連接有聯(lián)軸器，所述聯(lián)軸器遠(yuǎn)離轉(zhuǎn)軸的一側(cè)與電機(jī)的輸出端活動(dòng)連接，所述轉(zhuǎn)軸的外表面套裝有固定塊，所述固定塊的下表面固定連接有伸縮桿，所述伸縮桿的下端插接有套管，所述套管的側(cè)面設(shè)置有固定螺栓，所述套管的下表面固定連接有穩(wěn)固座。該硅片清洗水槽具備清洗方便，調(diào)節(jié)性強(qiáng)，且能有效減少清洗過程中硅片破碎的發(fā)生的優(yōu)點(diǎn)。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及硅片生產(chǎn)設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，具體為一種硅片清洗水槽。

背景技術(shù)

硅片生產(chǎn)環(huán)節(jié)，通常分為鑄錠、開方(破錠)、倒角拋光、粘膠、切片和清洗五個(gè)工序，其中，清洗工序的目的是對(duì)線切割完成的硅片進(jìn)行清洗，該工序具體包括預(yù)清洗和深清洗。在預(yù)清洗脫膠后，需要將硅片插入硅片清洗籃，再進(jìn)入下一道清洗工序，一般情況下，硅片分插片包括人工手工插片和設(shè)備自動(dòng)插片，在這兩種插片過程中，硅片都是垂直或者傾斜往下進(jìn)入硅片清洗籃，由于硅片本身為硬脆性材料，而硅片清洗籃一般材質(zhì)硬度較高，在插片過程中，硅片端面觸碰到槽底時(shí)，經(jīng)常會(huì)引起硅片接觸點(diǎn)位置的崩缺、硅粉脫落和隱裂等現(xiàn)象，現(xiàn)有硅片清洗槽結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，且不能有效的保護(hù)硅片，硅片在清洗過程中破碎嚴(yán)重，給廠家的生產(chǎn)造成了不可估量的損失，故現(xiàn)提出一種清洗方便，調(diào)節(jié)性強(qiáng)，且能有效減少清洗過程中硅片破碎的發(fā)生。

實(shí)用新型內(nèi)容

(一)解決的技術(shù)問題

針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)的不足，本實(shí)用新型提供了一種硅片清洗水槽，具備清洗方便，調(diào)節(jié)性強(qiáng)，且能有效減少清洗過程中硅片破碎的發(fā)生等優(yōu)點(diǎn)，解決了上述背景技術(shù)中所提出的問題。

(二)技術(shù)方案

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供如下技術(shù)方案：一種硅片清洗水槽，包括水槽體，所述水槽體的內(nèi)部呈中空結(jié)構(gòu)，所述水槽體兩側(cè)的頂部均開設(shè)有撐桿槽，所述撐桿槽內(nèi)搭接有撐桿，所述撐桿的表面固定連接有固片裝置，所述撐桿遠(yuǎn)離水槽體的一端固定連接有轉(zhuǎn)軸，所述轉(zhuǎn)軸的兩側(cè)均活動(dòng)連接有聯(lián)軸器，所述聯(lián)軸器遠(yuǎn)離轉(zhuǎn)軸的一側(cè)與電機(jī)的輸出端活動(dòng)連接，所述轉(zhuǎn)軸的外表面套裝有固定塊，所述固定塊的下表面固定連接有伸縮桿，所述伸縮桿的下端插接有套管，所述套管的側(cè)面設(shè)置有固定螺栓，所述套管的下表面固定連接有穩(wěn)固座。

優(yōu)選的，所述固片裝置包括第一夾板、第二夾板和分片層，所述第一夾板的側(cè)面固定連接有分片層，所述分片層遠(yuǎn)離第一夾板的一側(cè)固定連接有第二夾板。

優(yōu)選的，所述分片層的兩側(cè)均固定連接有橡膠墊。

優(yōu)選的，所述分片層的數(shù)量為四個(gè)，且四個(gè)所述分片層兩兩間距相等。

優(yōu)選的，所述水槽體的下表面的一側(cè)開設(shè)有管口，所述管口內(nèi)貫穿有曝氣管，所述曝氣管貫穿管口并延伸至水槽體的內(nèi)部。

優(yōu)選的，所述曝氣管的上表面固定連接有曝氣頭，所述曝氣管遠(yuǎn)離水槽體的一側(cè)固定連接有鼓風(fēng)機(jī)。

(三)有益效果

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型提供了一種硅片清洗水槽，具備以下有益效果：

1、該硅片清洗水槽，通過固片裝置的設(shè)置第一夾板和第二夾板能有效的將硅片進(jìn)行固定，分片層能將硅片進(jìn)行分層，且分片層兩側(cè)的橡膠墊能有效的防止硅片受到過強(qiáng)的夾持力而導(dǎo)致的損壞。

2、該硅片清洗水槽，通過鼓風(fēng)機(jī)、曝氣管和曝氣頭的設(shè)置，在鼓風(fēng)機(jī)的作用下產(chǎn)生氣體吹向曝氣管，并通過曝氣管將氣體傳送至水槽體內(nèi)，通過曝氣頭對(duì)水槽體內(nèi)的水進(jìn)行曝氣，從而使水槽體內(nèi)的水進(jìn)行流動(dòng)，進(jìn)而對(duì)硅片進(jìn)行清洗，該清洗過程方便，且能有效的防止硅片因人工搓洗導(dǎo)致的碎壞。