[實用新型]一種硅片清洗水槽

有效

• 申請號: 201820561804.2
• 申請日: 2018-04-19
• 公開（公告）號: CN208407890U
• 公開（公告）日: 2019-01-22
• 發明（設計）人: 陳忠海
• 申請（專利權）人: 蘇州德瑞姆超聲科技有限公司
• 主分類號: B08B3/10
• 分類號: B08B3/10;B08B13/00
• 代理公司: 蘇州凱謙巨邦專利代理事務所(普通合伙) 32303
• 代理人: 丁劍

1.一種硅片清洗水槽，包括水槽體(1)，其特征在于：所述水槽體(1)的內部呈中空結構，所述水槽體(1)兩側的頂部均開設有撐桿槽(2)，所述撐桿槽(2)內搭接有撐桿(3)，所述撐桿(3)的表面固定連接有固片裝置(4)，所述撐桿(3)遠離水槽體(1)的一端固定連接有轉軸(5)，所述轉軸(5)的兩側均活動連接有聯軸器(6)，所述聯軸器(6)遠離轉軸(5)的一側與電機(7)的輸出端活動連接，所述轉軸(5)的外表面套裝有固定塊(8)，所述固定塊(8)的下表面固定連接有伸縮桿(9)，所述伸縮桿(9)的下端插接有套管(10)，所述套管(10)的側面設置有固定螺栓(11)，所述套管(10)的下表面固定連接有穩固座(12)。

2.根據權利要求1所述的一種硅片清洗水槽，其特征在于：所述固片裝置(4)包括第一夾板(401)、第二夾板(402)和分片層(403)，所述第一夾板(401)的側面固定連接有分片層(403)，所述分片層(403)遠離第一夾板(401)的一側固定連接有第二夾板(402)。

3.根據權利要求2所述的一種硅片清洗水槽，其特征在于：所述分片層(403)的兩側均固定連接有橡膠墊(13)。

4.根據權利要求2所述的一種硅片清洗水槽，其特征在于：所述分片層(403)的數量為四個，且四個所述分片層(403)兩兩間距相等。

5.根據權利要求1所述的一種硅片清洗水槽，其特征在于：所述水槽體(1)的下表面的一側開設有管口(14)，所述管口(14)內貫穿有曝氣管(15)，所述曝氣管(15)貫穿管口(14)并延伸至水槽體(1)的內部。

6.根據權利要求5所述的一種硅片清洗水槽，其特征在于：所述曝氣管(15)的上表面固定連接有曝氣頭(16)，所述曝氣管(15)遠離水槽體(1)的一側固定連接有鼓風機(17)。