[實(shí)用新型]一種基板夾緊定位機(jī)構(gòu)及基板檢測裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201820550830.5
• 申請日: 2018-04-18
• 公開（公告）號: CN208580045U
• 公開（公告）日: 2019-03-05
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 楊云仙;郭連俊;楊慎東
• 申請（專利權(quán)）人: 蘇州精瀨光電有限公司
• 主分類號: G01N21/95
• 分類號: G01N21/95;G01N21/01
• 代理公司: 北京品源專利代理有限公司 11332
• 代理人: 胡彬

本實(shí)用新型公開了一種基板夾緊定位機(jī)構(gòu)，利用兩個(gè)固定組前后夾緊單元和兩個(gè)活動組前后夾緊單元可在面板水平放置后，將面板在前后方向進(jìn)行夾緊定位，利用兩個(gè)固定組靠位單元和兩個(gè)活動組靠位單元，可將面板在左右方向進(jìn)行夾緊定位，利用升降夾緊單元可將定位好的面板進(jìn)行夾緊，如此，在翻轉(zhuǎn)面板時(shí)，面板不會從水平方向滑出，且翻轉(zhuǎn)后便于相機(jī)對面板拍照找原點(diǎn)。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及基板的檢測技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種基板夾緊定位機(jī)構(gòu)及基板檢測裝置。

背景技術(shù)

在光罩等基板的制造過程中，通常需要將其放置于宏觀檢查設(shè)備上進(jìn)行宏觀檢測，以檢查面板或基板上是否存在缺陷。

現(xiàn)有的光罩等基板的宏觀檢查設(shè)備的夾持機(jī)構(gòu)，只能簡單的實(shí)現(xiàn)垂直方向的夾緊。在檢查過程中，需要將基板夾緊后要進(jìn)行翻轉(zhuǎn)和拍照定位等動作，以檢查不同位置及不同角度的基板缺陷。而采用現(xiàn)有的夾持機(jī)構(gòu)在翻轉(zhuǎn)過程中稍有不慎基板就會從水平方向滑出，造成破片。另外拍照定位實(shí)現(xiàn)的前提是相機(jī)能夠找到基板的原點(diǎn)。現(xiàn)有的夾持機(jī)構(gòu)由于基板每次放置時(shí)，每片基板的放置位置都會有偏差，且不能對基板的位置進(jìn)行調(diào)整并準(zhǔn)確定位，因此拍照定位功能并不能實(shí)現(xiàn)。

有鑒于上述的缺陷，本設(shè)計(jì)人，積極加以研究創(chuàng)新，以期創(chuàng)設(shè)一種基板夾緊定位機(jī)構(gòu)及基板檢測裝置，使其更具有產(chǎn)業(yè)上的利用價(jià)值。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的在于提出一種基板夾緊定位機(jī)構(gòu)及基板檢測裝置，能夠穩(wěn)定地夾緊面板，避免其在翻轉(zhuǎn)過程中滑出，且在夾緊面板時(shí)能夠精確的對面板進(jìn)行定位，以便后續(xù)對面板拍照定位。

為達(dá)此目的，本實(shí)用新型采用以下技術(shù)方案：

一種基板夾緊定位機(jī)構(gòu)，包括框架、設(shè)置在所述框架上的夾緊組件和定位組件，其中，

所述框架具有相對的兩個(gè)側(cè)板；

所述夾緊組件包括兩組升降夾緊單元，兩組所述升降夾緊單元分別設(shè)置在兩個(gè)所述側(cè)板上且相對，兩組所述升降夾緊單元能夠夾緊所述基板相對的兩端；

所述定位組件包括：

兩個(gè)固定組前后夾緊單元，兩個(gè)所述固定組前后夾緊單元分別相對的設(shè)置在兩個(gè)所述側(cè)板上并位于所述夾緊組件一側(cè)；

兩個(gè)活動組前后夾緊單元，兩個(gè)所述活動組前后夾緊單元分別相對的設(shè)置在兩個(gè)所述側(cè)板上并位于所述夾緊組件另一側(cè)；且兩個(gè)所述固定組前后夾緊單元與兩個(gè)所述活動組前后夾緊單元能夠分別抵靠所述基板相平行的兩個(gè)側(cè)邊的兩個(gè)端部上。

進(jìn)一步的，所述基板夾緊定位機(jī)構(gòu)還包括：

兩個(gè)固定組靠位單元，兩個(gè)所述固定組靠位單元設(shè)置在其中一個(gè)所述側(cè)板上并分別位于所述固定組前后夾緊單元與所述活動組前后夾緊單元下方；

兩個(gè)活動組靠位單元，兩個(gè)所述活動組靠位單元設(shè)置在另外一個(gè)所述側(cè)板上并分別位于所述固定組前后夾緊單元與所述活動組前后夾緊單元下方；且兩個(gè)所述固定組靠位單元與兩個(gè)所述活動組靠位單元能夠分別抵靠所述基板相平行的另外兩個(gè)側(cè)邊的兩個(gè)端部上。

進(jìn)一步的，每組所述升降夾緊單元均包括相對設(shè)置的下壓板和上壓板，所述下壓板和所述上壓板能夠做升降運(yùn)動及沿垂直于所述側(cè)板的方向運(yùn)動。

進(jìn)一步的，所述下壓板和所述上壓板均連接有驅(qū)動其沿垂直于所述側(cè)板的方向運(yùn)動的第一氣缸，所述第一氣缸上安裝有第一支撐座，所述第一支撐座上連接有驅(qū)動其升降的第二氣缸，所述第二氣缸安裝在所述側(cè)板上。

進(jìn)一步的，所述固定組前后夾緊單元包括第一擋臂、驅(qū)動所述第一擋臂沿所述側(cè)板水平移動的第三氣缸，所述第三氣缸安裝在所述側(cè)板上的第二支撐座上，且所述第三氣缸上設(shè)有限制其相對所述第二支撐座移動的第一緊固裝置。