[實(shí)用新型]一種基板夾緊定位機(jī)構(gòu)及基板檢測裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201820550830.5
• 申請日: 2018-04-18
• 公開（公告）號: CN208580045U
• 公開（公告）日: 2019-03-05
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 楊云仙;郭連俊;楊慎東
• 申請（專利權(quán)）人: 蘇州精瀨光電有限公司
• 主分類號: G01N21/95
• 分類號: G01N21/95;G01N21/01
• 代理公司: 北京品源專利代理有限公司 11332
• 代理人: 胡彬

1.一種基板夾緊定位機(jī)構(gòu)，其特征在于，包括框架、設(shè)置在所述框架上的夾緊組件和定位組件，其中，

所述框架具有相對的兩個(gè)側(cè)板；

所述夾緊組件包括兩組升降夾緊單元，兩組所述升降夾緊單元分別設(shè)置在兩個(gè)所述側(cè)板上且相對，兩組所述升降夾緊單元能夠夾緊所述基板相對的兩端；

所述定位組件包括：

兩個(gè)固定組前后夾緊單元，兩個(gè)所述固定組前后夾緊單元分別相對的設(shè)置在兩個(gè)所述側(cè)板上并位于所述夾緊組件一側(cè)；

兩個(gè)活動(dòng)組前后夾緊單元，兩個(gè)所述活動(dòng)組前后夾緊單元分別相對的設(shè)置在兩個(gè)所述側(cè)板上并位于所述夾緊組件另一側(cè)；且兩個(gè)所述固定組前后夾緊單元與兩個(gè)所述活動(dòng)組前后夾緊單元能夠分別抵靠所述基板相平行的兩個(gè)側(cè)邊的兩個(gè)端部上。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板夾緊定位機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述基板夾緊定位機(jī)構(gòu)還包括：

兩個(gè)固定組靠位單元，兩個(gè)所述固定組靠位單元設(shè)置在其中一個(gè)所述側(cè)板上并分別位于所述固定組前后夾緊單元與所述活動(dòng)組前后夾緊單元下方；

兩個(gè)活動(dòng)組靠位單元，兩個(gè)所述活動(dòng)組靠位單元設(shè)置在另外一個(gè)所述側(cè)板上并分別位于所述固定組前后夾緊單元與所述活動(dòng)組前后夾緊單元下方；且兩個(gè)所述固定組靠位單元與兩個(gè)所述活動(dòng)組靠位單元能夠分別抵靠所述基板相平行的另外兩個(gè)側(cè)邊的兩個(gè)端部上。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的基板夾緊定位機(jī)構(gòu)，其特征在于，每組所述升降夾緊單元均包括相對設(shè)置的下壓板和上壓板，所述下壓板和所述上壓板能夠做升降運(yùn)動(dòng)及沿垂直于所述側(cè)板的方向運(yùn)動(dòng)。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的基板夾緊定位機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述下壓板和所述上壓板均連接有驅(qū)動(dòng)其沿垂直于所述側(cè)板的方向運(yùn)動(dòng)的第一氣缸，所述第一氣缸上安裝有第一支撐座，所述第一支撐座上連接有驅(qū)動(dòng)其升降的第二氣缸，所述第二氣缸安裝在所述側(cè)板上。

5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的基板夾緊定位機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述固定組前后夾緊單元包括第一擋臂、驅(qū)動(dòng)所述第一擋臂沿所述側(cè)板水平移動(dòng)的第三氣缸，所述第三氣缸安裝在所述側(cè)板上的第二支撐座上，且所述第三氣缸上設(shè)有限制其相對所述第二支撐座移動(dòng)的第一緊固裝置。

6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的基板夾緊定位機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述活動(dòng)組前后夾緊單元包括第二擋臂、驅(qū)動(dòng)所述第二擋臂沿所述側(cè)板水平移動(dòng)的第四氣缸，所述第四氣缸安裝在所述側(cè)板上的第三支撐座上，且所述第四氣缸上設(shè)有能夠使其相對與所述第三支撐座移動(dòng)的第一緩沖彈簧裝置。

7.根據(jù)權(quán)利要求2所述的基板夾緊定位機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述固定組靠位單元包括豎直設(shè)置的第一擋桿、驅(qū)動(dòng)所述第一擋桿沿垂直于所述側(cè)板的方向運(yùn)動(dòng)的第五氣缸、安裝所述第五氣缸的第一安裝座，所述第一安裝座安裝在所述側(cè)板上的第四支撐座上，且所述第一安裝座上設(shè)有限制其相對所述第四支撐座移動(dòng)的第二緊固裝置。

8.根據(jù)權(quán)利要求2所述的基板夾緊定位機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述活動(dòng)組靠位單元包括豎直設(shè)置的第二擋桿、驅(qū)動(dòng)所述第二擋桿沿垂直于所述側(cè)板的方向運(yùn)動(dòng)的第六氣缸、安裝所述第六氣缸的第二安裝座，所述第二安裝座安裝在所述側(cè)板上的第五支撐座上，且所述第二安裝座上設(shè)有能夠使其相對所述第五支撐座移動(dòng)的第二緩沖彈簧裝置。

9.一種基板檢測裝置，包括支撐座以及旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)設(shè)置于所述支撐座上，其特征在于，還包含如權(quán)利要求1-8任意一項(xiàng)所述的基板夾緊定位機(jī)構(gòu)，所述基板夾緊定位機(jī)構(gòu)通過所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)固定于所述支撐座上，并可在所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的帶動(dòng)下繞水平軸向旋轉(zhuǎn)。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的基板檢測裝置，其特征在于，還包含機(jī)架和自動(dòng)光學(xué)檢測單元，所述自動(dòng)光學(xué)檢測單元設(shè)置于所述機(jī)架上，且可在垂直方向和水平方向?qū)崿F(xiàn)線性移動(dòng)。