[實用新型]一種基板夾緊定位機構及基板檢測裝置

有效

• 申請號: 201820550830.5
• 申請日: 2018-04-18
• 公開（公告）號: CN208580045U
• 公開（公告）日: 2019-03-05
• 發明（設計）人: 楊云仙;郭連俊;楊慎東
• 申請（專利權）人: 蘇州精瀨光電有限公司
• 主分類號: G01N21/95
• 分類號: G01N21/95;G01N21/01
• 代理公司: 北京品源專利代理有限公司 11332
• 代理人: 胡彬

1.一種基板夾緊定位機構，其特征在于，包括框架、設置在所述框架上的夾緊組件和定位組件，其中，

所述框架具有相對的兩個側板；

所述夾緊組件包括兩組升降夾緊單元，兩組所述升降夾緊單元分別設置在兩個所述側板上且相對，兩組所述升降夾緊單元能夠夾緊所述基板相對的兩端；

所述定位組件包括：

兩個固定組前后夾緊單元，兩個所述固定組前后夾緊單元分別相對的設置在兩個所述側板上并位于所述夾緊組件一側；

兩個活動組前后夾緊單元，兩個所述活動組前后夾緊單元分別相對的設置在兩個所述側板上并位于所述夾緊組件另一側；且兩個所述固定組前后夾緊單元與兩個所述活動組前后夾緊單元能夠分別抵靠所述基板相平行的兩個側邊的兩個端部上。

2.根據權利要求1所述的基板夾緊定位機構，其特征在于，所述基板夾緊定位機構還包括：

兩個固定組靠位單元，兩個所述固定組靠位單元設置在其中一個所述側板上并分別位于所述固定組前后夾緊單元與所述活動組前后夾緊單元下方；

兩個活動組靠位單元，兩個所述活動組靠位單元設置在另外一個所述側板上并分別位于所述固定組前后夾緊單元與所述活動組前后夾緊單元下方；且兩個所述固定組靠位單元與兩個所述活動組靠位單元能夠分別抵靠所述基板相平行的另外兩個側邊的兩個端部上。

3.根據權利要求1或2所述的基板夾緊定位機構，其特征在于，每組所述升降夾緊單元均包括相對設置的下壓板和上壓板，所述下壓板和所述上壓板能夠做升降運動及沿垂直于所述側板的方向運動。

4.根據權利要求3所述的基板夾緊定位機構，其特征在于，所述下壓板和所述上壓板均連接有驅動其沿垂直于所述側板的方向運動的第一氣缸，所述第一氣缸上安裝有第一支撐座，所述第一支撐座上連接有驅動其升降的第二氣缸，所述第二氣缸安裝在所述側板上。

5.根據權利要求2所述的基板夾緊定位機構，其特征在于，所述固定組前后夾緊單元包括第一擋臂、驅動所述第一擋臂沿所述側板水平移動的第三氣缸，所述第三氣缸安裝在所述側板上的第二支撐座上，且所述第三氣缸上設有限制其相對所述第二支撐座移動的第一緊固裝置。

6.根據權利要求2所述的基板夾緊定位機構，其特征在于，所述活動組前后夾緊單元包括第二擋臂、驅動所述第二擋臂沿所述側板水平移動的第四氣缸，所述第四氣缸安裝在所述側板上的第三支撐座上，且所述第四氣缸上設有能夠使其相對與所述第三支撐座移動的第一緩沖彈簧裝置。

7.根據權利要求2所述的基板夾緊定位機構，其特征在于，所述固定組靠位單元包括豎直設置的第一擋桿、驅動所述第一擋桿沿垂直于所述側板的方向運動的第五氣缸、安裝所述第五氣缸的第一安裝座，所述第一安裝座安裝在所述側板上的第四支撐座上，且所述第一安裝座上設有限制其相對所述第四支撐座移動的第二緊固裝置。

8.根據權利要求2所述的基板夾緊定位機構，其特征在于，所述活動組靠位單元包括豎直設置的第二擋桿、驅動所述第二擋桿沿垂直于所述側板的方向運動的第六氣缸、安裝所述第六氣缸的第二安裝座，所述第二安裝座安裝在所述側板上的第五支撐座上，且所述第二安裝座上設有能夠使其相對所述第五支撐座移動的第二緩沖彈簧裝置。

9.一種基板檢測裝置，包括支撐座以及旋轉機構，所述旋轉機構設置于所述支撐座上，其特征在于，還包含如權利要求1-8任意一項所述的基板夾緊定位機構，所述基板夾緊定位機構通過所述旋轉機構固定于所述支撐座上，并可在所述旋轉機構的帶動下繞水平軸向旋轉。

10.根據權利要求9所述的基板檢測裝置，其特征在于，還包含機架和自動光學檢測單元，所述自動光學檢測單元設置于所述機架上，且可在垂直方向和水平方向實現線性移動。