[實用新型]用于電鍍設備的晶圓夾具

有效

• 申請號: 201820547150.8
• 申請日: 2018-04-17
• 公開（公告）號: CN208121226U
• 公開（公告）日: 2018-11-20
• 發明（設計）人: 姜力;于勇
• 申請（專利權）人: 姜力;于勇
• 主分類號: C25D17/06
• 分類號: C25D17/06;C25D7/12
• 代理公司: 隆天知識產權代理有限公司 72003
• 代理人: 聶慧荃;鄭特強

一種用于電鍍設備的晶圓夾具，包括一載具、至少一連動環、至少一電鍍載體、至少一上蓋以及至少一作動桿，載具于其側壁處以同圓心方式固定著電鍍載體及安裝著可被轉動的連動環，電鍍載體圓周外壁邊緣具有多個定位塊，連動環圓周外壁底緣局部區域具有一齒輪區段，外壁頂緣則具有多個下卡塊；上蓋為環狀蓋體，環內壁頂緣分布著多個定位凹槽，環內壁底緣則設有一固定環，固定環內具有多個上卡塊，作動桿縱向安裝于載具內，其局部區段具有一齒條，齒條與齒輪區段相嚙合。由此，當上蓋覆蓋于電鍍載體后，因定位塊位于定位凹槽內而被固定，操作者推動作動桿，利用齒條與齒輪區段嚙合，進而使得連動環被轉動，利用下卡塊契合于上卡塊進而旋緊上蓋。

技術領域

本實用新型涉及一種晶圓夾具的技術領域，尤其涉及一種用于電鍍設備中夾持晶圓的結構，能避免過度夾緊晶圓，且有利于后續自動化機械的操作。

背景技術

如圖1所示，為現有電鍍設備的晶圓夾持結構，其于一載具11上固定著一電鍍載體12，另外配合使用一內蓋13及一上蓋14。該電鍍載體12圓周外壁具有多個凸塊121，該上蓋14內壁邊緣則具有相對數目的多個上凸塊141。使用時，欲電鍍的晶圓A先放置于該電鍍載體12上，放置該內蓋13于該晶圓A上，該晶圓A中央祼露區域即為欲電鍍表面，再由該上蓋14覆蓋于該內蓋13及該電鍍載體12上并加以旋轉，利用該上凸塊141與該下凸塊121相對移動而產生相互迫緊效果，達到將該電鍍載體12、晶圓A、內蓋13及上蓋14相互卡緊固定的目的。

然而上述結構在使用上具有下列幾項缺點：

1.無法以自動化機械輔助操作：由于該上蓋14須進行旋轉才能鎖緊于該電鍍載體12，為避免該上蓋14刮傷該晶圓A表面，必須利用不會轉動的該內蓋13作為中間介質，但欲使用自動化機器輔助操作時，因該內蓋13的存在，機構運作容易產生干涉，因此目前此類晶圓夾持結構的操作流程皆采用人工進行上、下晶圓的動作，無法利用機器自動化運行；

2.夾緊過程中，容易造成晶圓邊緣破裂：在該上蓋14進行旋轉緊動作時，通常會利用工具輔助施力，容易造成每次施予的力量無法固定，當該上蓋14被過度旋緊，會壓迫該內蓋13施于該晶圓A邊緣過大的作用力，容易造成該晶圓A邊緣崩裂，產生嚴重的損失；或是反復多次使用后，過度的施力，也會造成部分上凸塊121及下凸塊141過度磨損，造成夾緊時于圓周無法提供均勻的施力。

3.載具內須設有多個電線，結構過于復雜：在電鍍作業中，該晶圓A為陰極，必須有相關電路與之作連接，使外部電力能傳輸至此，因此會于該載具11內隱藏及分布著電線，此會增加載具11加工的困難度及后續組裝上的麻煩。

有鑒于此，為了解決現有的缺點，本實用新型人憑借著多年的經驗，設計了此一用于電鍍設備的晶圓夾具。

實用新型內容

本實用新型的主要目的在于提供一種晶圓夾具，是運用于電鍍設備中，主要采用不同的作動方式，達到夾持晶圓的目的，并有利于后續自動化設備的運作。

為達上述的目的，本實用新型包括一載具、至少一連動環、至少一電鍍載體、至少一上蓋及至少一作動桿，該載具于其側壁處以同圓心方式固定著該電鍍載體及安裝著可被轉動的該連動環，該電鍍載體圓周外壁邊緣具有多個定位塊，該連動環圓周外壁底緣的局部區域具有一齒輪區段，外壁頂緣則具有多個下卡塊。該上蓋為環狀蓋體，環內壁頂緣分布著多個定位凹槽，壁內壁底緣則設有一固定環，該固定環內具有多個上卡塊，當該定位塊位于該定位凹槽內時，該上蓋與該電鍍載體將無法相對旋轉，該作動桿縱向安裝于該載具內，其局部區段具有一齒條，該齒條與該齒輪區段相嚙合。

本實用新型的操作方式為：當晶圓放置于該電鍍載體上，由該上蓋覆蓋于該電鍍載體，因該定位塊位于該定位凹槽內而使兩者被固定。另外操作者推動該作動桿，因該齒條嚙合于該齒輪區段而使得該連動環旋轉，由該上卡塊契合該下卡塊就能迫緊該上蓋，達到固定的目的，反之若改變該連動環的旋轉方向就為解除鎖固狀態。利用本實用新型的結構能省略該現有內蓋的結構，后續就能運用自動機器輔助，達到晶圓自動化上下片的目的。